CN201252093Y - 晶片抓取手臂 - Google Patents

晶片抓取手臂 Download PDF

Info

Publication number
CN201252093Y
CN201252093Y CNU2008201321851U CN200820132185U CN201252093Y CN 201252093 Y CN201252093 Y CN 201252093Y CN U2008201321851 U CNU2008201321851 U CN U2008201321851U CN 200820132185 U CN200820132185 U CN 200820132185U CN 201252093 Y CN201252093 Y CN 201252093Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
wafer
arm
air flue
utility
model
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNU2008201321851U
Other languages
English (en)
Inventor
林进达
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CNU2008201321851U priority Critical patent/CN201252093Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201252093Y publication Critical patent/CN201252093Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本实用新型晶片抓取手臂，包括有本体、盖板以及通气管，其中盖板位于本体的底面，而通气管位于本体的尾端，且盖板的外表面与本体的底面齐平，如此一来，在晶片抓取手臂伸入于卡匣中欲吸取晶片时，便不会刮伤层叠存放下方的晶片表面。

Description

晶片抓取手臂
技术领域
本实用新型有关于一种晶片抓取手臂的设计。
背景技术
请参阅图1所示，为习用的吸取手臂吸取晶片的示意图，在目前习用的晶片90(或晶圆)的取放方式，多是利用一个吸取手臂80伸入于叠置有复数个晶片90的卡匣中，当要取放晶片90时，驱动件70将驱动吸取手臂80伸于叠置的晶片90间，再经由通气管60抽真空，使吸取手臂80前端形成负压状态，此时晶片90便会吸附于吸取手臂80的前端上，再由驱动件70将吸取手臂抽出并将晶片90转送到待加工区。
而为了要使吸取手臂80前端可形成有负压的状态，在吸取手臂80上必需要设置有气槽81，请参阅图2所示，习用的吸取手臂剖面示意图，在图2上可看到，吸取手臂80主要为一个板体，而板体的一端即为用于吸取晶片90的伸入板82，另外，在吸取手臂80的底面即为气槽81的配置处，且气槽81的一端与通气管60连通，而另一端则连通至位于伸入板82顶面的吸附沟槽83。由于气槽81必需要密封，故于吸取手臂80的底面会加设有一片铝板50，藉以密封气槽81，但因为加设的铝板50会凸出于吸取手臂80的底面，当吸取手臂80伸入于卡匣中欲吸取晶片90时，容易刮伤层叠存放下方的晶片表面，所以仍有改善的空间。
实用新型内容
本实用新型所解决的技术问题在于提供一种晶片抓取手臂，以解决习知的吸取手臂容易产生刮伤晶片的问题。
本实用新型的一实施例所提供的晶片抓取手臂，包括有本体、盖板以及通气管，其中盖板位于本体的底面，而通气管位于本体的尾端，且盖板的外表面与本体的底面齐平，如此一来，在晶片抓取手臂伸入于卡匣中欲吸取晶片时，便不会刮伤层叠存放下方的晶片表面。
因此本实用新型的有益效果就是在提供一种晶片抓取手臂，于可吸取晶片时，不会刮伤层叠存放下方的晶片表面。
附图说明
图1为习用的吸取手臂吸取晶片的示意图；
图2为习用的吸取手臂剖面示意图；
图3为本实用新型晶片抓取手臂实施例的立体示意图一；
图4为本实用新型晶片抓取手臂实施例的立体示意图二；
图5为本实用新型晶片抓取手臂实施例的结构分解示意图；
图6为本实用新型晶片抓取手臂实施例的局部剖面示意图。
【图号说明】
本体10               凹槽11
第一气道111          伸入板12
第二气道121          连通孔13
盖板20               通气管30
铝板50               通气管60
驱动件70             吸取手臂80
气槽81               伸入板82
吸附沟槽83           晶片90
具体实施方式
为了能使本实用新型的特征更为清楚，以下将揭露本实用新型的一种较佳实施例，而所描述的特定组件与安排仅为简化本案说明，然其并非用以限定本实用新型。
请共同参照图3及图4，绘示依照本实用新型一较佳实施例的一种晶片抓取手臂的立体示意图一、二，其中图3为本实用新型实施例的正面视图，而图4为本实用新型实施例的底面视图，如图所示：本实用新型晶片抓取手臂的实施例包括有本体10、盖板20以及通气管30，其中盖板20位于本体10的底面，而通气管30位于本体10的尾端。
再请同时参阅图5及图6，分别绘示本实用新型晶片抓取手臂实施例的结构分解示意图以及本实用新型晶片抓取手臂实施例的局部剖面示意图，如图所示：在本体10的底面设置有一个凹槽11，且在凹槽11的表面上再形成有一个第一气道111，而在本体10的前端处则具有一个伸入板12，且在伸入板12的顶面上形成有一个第二气道121，此外，第一气道111的一端与第二气道121间更具有一个大致位于伸入板12与本体10交界处，也就是位于伸入板12的尾端靠近于凹槽11地方的连通孔13，且连通孔13的二端分别与第一气道111的一端与第二气道121的一端连通，藉此，第一气道111与第二气道121即形成连通的态样。
另外，上述的盖板20可以为铝材，并对应盖合于凹槽11上，且盖板20的外表面与本体10的底面齐平，也就是说在本实施例中盖板20的形状与凹槽11的完全吻合，使盖板20可完全的盖合于凹槽11上，且完成盖合后，本体10的底面将形成一个齐整的平面，不会有突出于本体10底面的部体，且盖板20将密封于凹槽11上，使第一气道111成为密封于本体10内的一个空气流道，而上述的通气管30组接于本体10的尾端，并与第一气道111的另一端连通，如此一来，在通气管30与第一气道111的一端连通，而第一气道111的另一端则经由连通孔13与第二气道121连通，故通气管30、第一气道111、连通孔13与第二气道121间即形成一个连通的空气流道，当经由通气管30通气或排气时，在具有第二气道121的伸入板12表面便会具有一股真空推力或真空吸附力，藉以吹离晶片或吸附固定晶片。
是以，本实用新型所提供的晶片抓取手臂，最重要的是本体底部为一个齐平的平面，在晶片抓取手臂伸入于卡匣中欲吸取晶片时，不会刮伤层叠存放下方的晶片表面。
虽然本实用新型已以实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型，任何具有本实用新型所属技术领域的通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种更动与润饰，并可思揣其它不同的实施例，因此本实用新型的保护范围当视后附申请专利范围所界定者为准。

Claims (4)

1、一种晶片抓取手臂，其特征在于，包括：
一本体，具有一凹槽设置于该本体的底面，而该凹槽的表面上形成有一第一气道；
一盖板，对应盖合于该凹槽上以封闭第一气道，且该盖板的外表面与该本体的底面齐平；以及
一通气管，组接于该本体的尾端并与第一气道连通。
2、如权利要求1所述的晶片抓取手臂，其特征在于，该本体的前端则形成有一伸入板，并于该伸入板上具有一第二气道，且该第一气道与该第二气道连通。
3、如权利要求2所述的晶片抓取手臂，其特征在于，该第一气道与该第二气道间具有一连通孔，且该连通孔位于该伸入板与该本体的交界处。
4、如权利要求1所述的晶片抓取手臂，其特征在于，该盖板为铝材。
CNU2008201321851U 2008-08-04 2008-08-04 晶片抓取手臂 Expired - Fee Related CN201252093Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2008201321851U CN201252093Y (zh) 2008-08-04 2008-08-04 晶片抓取手臂

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2008201321851U CN201252093Y (zh) 2008-08-04 2008-08-04 晶片抓取手臂

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201252093Y true CN201252093Y (zh) 2009-06-03

Family

ID=40747766

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNU2008201321851U Expired - Fee Related CN201252093Y (zh) 2008-08-04 2008-08-04 晶片抓取手臂

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201252093Y (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103056889A (zh) * 2013-02-01 2013-04-24 浙江大学台州研究院 石英晶片抓取用多孔金属吸头
CN105522586A (zh) * 2016-02-22 2016-04-27 北京锐洁机器人科技有限公司 半导体机器人末端执行机构
WO2019000295A1 (zh) * 2017-06-29 2019-01-03 深圳市汇顶科技股份有限公司 芯片拾取装置
CN111540703A (zh) * 2020-07-13 2020-08-14 山东元旭光电股份有限公司 一种晶圆自动分选机

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103056889A (zh) * 2013-02-01 2013-04-24 浙江大学台州研究院 石英晶片抓取用多孔金属吸头
CN103056889B (zh) * 2013-02-01 2015-04-01 浙江大学台州研究院 石英晶片抓取用多孔金属吸头
CN105522586A (zh) * 2016-02-22 2016-04-27 北京锐洁机器人科技有限公司 半导体机器人末端执行机构
WO2019000295A1 (zh) * 2017-06-29 2019-01-03 深圳市汇顶科技股份有限公司 芯片拾取装置
CN111540703A (zh) * 2020-07-13 2020-08-14 山东元旭光电股份有限公司 一种晶圆自动分选机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN201252093Y (zh) 晶片抓取手臂
CA2534311A1 (en) Medical connector system
CN204868890U (zh) 高效率吸取装置
CN110668067B (zh) 一种手动空气吸附式取件器
CN110744578A (zh) 一种夹具吸盘负压箱体及其副手夹具
CN202303294U (zh) 护栏管防水透气堵头
CN209407998U (zh) 一种吸附定位治具
CN201068277Y (zh) 真空压缩袋
CN201761731U (zh) 收纳袋的排气阀
CN101554942A (zh) 一种真空包装袋
CN205222053U (zh) 玻璃面板转移工具
CN202665162U (zh) 真空吸附装置
CN202113351U (zh) 具有防胀气自动吸管组的奶瓶
CN211388843U (zh) 一种夹具吸盘负压箱体及其副手夹具
CN206936908U (zh) 一种用于机械加工的固定工装
CN215248108U (zh) 一种简易真空卸料装置
CN214273395U (zh) 洁净室气密窗
CN205994145U (zh) 一种新型花瓶贴
CN205060230U (zh) 印制板存放架
CN219267629U (zh) 硅片双面吸笔
CN216511366U (zh) 一种多功能复合吸盘
CN212951857U (zh) 一种具有底部吸附功能的试剂盒
CN203159475U (zh) 一种改善汽车夹层玻璃合片质量的抽气胶圈
CN202179414U (zh) 迷宫吸盘
CN216035380U (zh) 一种车载触控模组的贴膜治具

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20090603

Termination date: 20110804