CN213739667U - 一种金属加工用多工位连续式真空镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种金属加工用多工位连续式真空镀膜设备，包括镀膜箱、第一工位、第二工位、第三工位和第四工位，所述镀膜箱上端安装电机，镀膜箱内设置有阴极板、第一转轴、料架、第一真空罐、第二真空罐、第三真空罐和第四真空罐。本金属加工用多工位连续式真空镀膜设备，过渡箱通过真空管对镀膜箱上的第一真空罐进行抽真空，之后系统通过阴极板对物料进行镀膜，共设置有第一工位、第二工位、第三工位和第四工位，从而可以实现多工位同时工作，镀膜箱内设置有第一真空罐、第二真空罐、第三真空罐和第四真空罐，均为独立安装，各自完成不同的工艺，均可以同时操作，互相不影响，因而大大节省了生产时间，从而相应减少了成本，加大了产量。
Description
技术领域
本实用新型涉及金属加工用多工位连续式真空镀膜设备技术领域，具体为一种金属加工用多工位连续式真空镀膜设备。
背景技术
空镀膜领域，一般将需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷状结构-层状生长)形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜，真空镀膜需要经过多个工序，通常都是针对每一工序采用一种真空镀膜设备，该工序完成后将产品从该镀膜设备中取出，然后将产品放入下一镀膜设备。产品的取出要破真空，而产品的放入要抽真空，因而大大增加了产品的生产时间，从而相应增加了生产成本。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种金属加工用多工位连续式真空镀膜设备，第一工位、第二工位、第三工位和第四工位，从而可以实现多工位同时工作，镀膜箱内设置有第一真空罐、第二真空罐、第三真空罐和第四真空罐，均为独立安装，各自完成不同的工艺，均可以同时操作，互相不影响，因而大大节省了生产时间，从而相应减少了成本，加大了产量，可以解决现有技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种金属加工用多工位连续式真空镀膜设备，包括镀膜箱、第一工位、第二工位、第三工位和第四工位，所述镀膜箱上端安装电机，镀膜箱内设置有阴极板、第一转轴、料架、第一真空罐、第二真空罐、第三真空罐和第四真空罐，镀膜箱内壁上端安装阴极板，料架安装在镀膜箱内壁底端，第一转轴顶端与镀膜箱内壁上端相连，第一转轴底端与镀膜箱内壁底端相连；
所述第一工位包括过渡箱、真空管、入料口、密封门、转盘、机械臂、第二转轴和工位台，过渡箱一端与第一真空罐相连，过渡箱外壁一侧设置有真空管，过渡箱另一端与工位台外壁一侧相连，工位台内设置有入料口，入料口一端安装密封门，密封门前端安装机械臂，机械臂两侧安装第二转轴，机械臂安装在转盘外壁上端。
优选的，所述转盘安装在工位台中心处。
优选的，所述密封门共设置有两扇，并且通过滑轨安装在转盘上。
优选的，所述第二工位、第三工位和第四工位内的组件与第一工位相同。
优选的，所述第二工位一端与第二真空罐相连，第三工位与第三真空罐相连，第四工位与第四真空罐相连。
优选的，所述镀膜箱内壁的顶部通过连接件固定连接有阴极板。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
本金属加工用多工位连续式真空镀膜设备，过渡箱通过真空管对镀膜箱上的第一真空罐进行抽真空，之后将物料放入至入料口中，当镀膜箱抽真空达到系统要求后，控制密封门打开，再通过机械臂将物料夹取至转盘上，之后系统通过阴极板对物料进行镀膜，共设置有第一工位、第二工位、第三工位和第四工位，从而可以实现多工位同时工作，镀膜箱内设置有第一真空罐、第二真空罐、第三真空罐和第四真空罐，均为独立安装，各自完成不同的工艺，均可以同时操作，互相不影响，因而大大节省了生产时间，从而相应减少了成本，加大了产量。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的镀膜箱结构剖视图；
图3为本实用新型的镀膜箱结构俯视图；
图4为本实用新型的第一工位结构示意图。
图中：1、镀膜箱；11、电机；101、阴极板；102、第一转轴；103、料架；104、第一真空罐；105、第二真空罐；106、第三真空罐；107、第四真空罐；2、第一工位；21、过渡箱；22、真空管；23、入料口；24、密封门；25、转盘；26、机械臂；27、第二转轴；28、工位台；3、第二工位；4、第三工位；5、第四工位。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，一种金属加工用多工位连续式真空镀膜设备，包括镀膜箱1、第一工位2、第二工位3、第三工位4和第四工位5，其中镀膜箱1上端安装电机11，镀膜箱1内设置有阴极板101、第一转轴102、料架103、第一真空罐104、第二真空罐105、第三真空罐106和第四真空罐107，镀膜箱1内壁上端安装阴极板101，镀膜箱1内壁的顶部通过连接件固定连接有阴极板101，阴极板101对物料进行镀膜，料架103安装在镀膜箱1内壁底端，第一转轴102顶端与镀膜箱1内壁上端相连，第一转轴102底端与镀膜箱1内壁底端相连，第二工位3、第三工位4和第四工位5内的组件与第一工位2相同，第一工位2、第二工位3、第三工位4和第四工位5，从而可以实现多工位同时工作，第二工位3一端与第二真空罐105相连，第三工位4与第三真空罐106相连，第四工位5与第四真空罐107相连，第一真空罐104进行抽真空，之后将物料放入至入料口23中，第一真空罐104、第二真空罐105、第三真空罐106和第四真空罐107，均为独立安装，各自完成不同的工艺，均可以同时操作，互相不影响；
其中第一工位2包括过渡箱21、真空管22、入料口23、密封门24、转盘25、机械臂26、第二转轴27和工位台28，过渡箱21一端与第一真空罐104相连，过渡箱21外壁一侧设置有真空管22，过渡箱21另一端与工位台28外壁一侧相连，工位台28内设置有入料口23，入料口23一端安装密封门24，镀膜箱1抽真空达到系统要求后，控制密封门24打开，再通过机械臂26将物料夹取至转盘25上，密封门24前端安装机械臂26，机械臂26两侧安装第二转轴27，机械臂26安装在转盘25外壁上端，密封门24共设置有两扇，并且通过滑轨安装在转盘25上，转盘25安装在工位台28中心处。
综上所述，本金属加工用多工位连续式真空镀膜设备，过渡箱21通过真空管22对镀膜箱1上的第一真空罐104进行抽真空，之后将物料放入至入料口23中，当镀膜箱1抽真空达到系统要求后，控制密封门24打开，再通过机械臂26将物料夹取至转盘25上，之后系统通过阴极板101对物料进行镀膜，共设置有第一工位2、第二工位3、第三工位4和第四工位5，从而可以实现多工位同时工作，镀膜箱1内设置有第一真空罐104、第二真空罐105、第三真空罐106和第四真空罐107，均为独立安装，各自完成不同的工艺，均可以同时操作，互相不影响，因而大大节省了生产时间，从而相应减少了成本，加大了产量。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种金属加工用多工位连续式真空镀膜设备，包括镀膜箱(1)、第一工位(2)、第二工位(3)、第三工位(4)和第四工位(5)，其特征在于：所述镀膜箱(1)上端安装电机(11)，镀膜箱(1)内设置有阴极板(101)、第一转轴(102)、料架(103)、第一真空罐(104)、第二真空罐(105)、第三真空罐(106)和第四真空罐(107)，镀膜箱(1)内壁上端安装阴极板(101)，料架(103)安装在镀膜箱(1)内壁底端，第一转轴(102)顶端与镀膜箱(1)内壁上端相连，第一转轴(102)底端与镀膜箱(1)内壁底端相连；
所述第一工位(2)包括过渡箱(21)、真空管(22)、入料口(23)、密封门(24)、转盘(25)、机械臂(26)、第二转轴(27)和工位台(28)，过渡箱(21)一端与第一真空罐(104)相连，过渡箱(21)外壁一侧设置有真空管(22)，过渡箱(21)另一端与工位台(28)外壁一侧相连，工位台(28)内设置有入料口(23)，入料口(23)一端安装密封门(24)，密封门(24)前端安装机械臂(26)，机械臂(26)两侧安装第二转轴(27)，机械臂(26)安装在转盘(25)外壁上端。
2.根据权利要求1所述的一种金属加工用多工位连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述转盘(25)安装在工位台(28)中心处。
3.根据权利要求1所述的一种金属加工用多工位连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述密封门(24)共设置有两扇，并且通过滑轨安装在转盘(25)上。
4.根据权利要求1所述的一种金属加工用多工位连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述第二工位(3)、第三工位(4)和第四工位(5)内的组件与第一工位(2)相同。
5.根据权利要求1所述的一种金属加工用多工位连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述第二工位(3)一端与第二真空罐(105)相连，第三工位(4)与第三真空罐(106)相连，第四工位(5)与第四真空罐(107)相连。
6.根据权利要求1所述的一种金属加工用多工位连续式真空镀膜设备，其特征在于：所述镀膜箱(1)内壁的顶部通过连接件固定连接有阴极板(101)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202022782009.6U CN213739667U (zh) | 2020-11-26 | 2020-11-26 | 一种金属加工用多工位连续式真空镀膜设备 |
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Publications (1)
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| CN213739667U true CN213739667U (zh) | 2021-07-20 |
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Family Applications (1)
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| CN202022782009.6U Active CN213739667U (zh) | 2020-11-26 | 2020-11-26 | 一种金属加工用多工位连续式真空镀膜设备 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN213739667U (zh) |
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2020
- 2020-11-26 CN CN202022782009.6U patent/CN213739667U/zh active Active
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