CN219044965U - 一种可多个物品镀膜的真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可多个物品镀膜的真空镀膜机，包括真空室、可调节夹具和镀膜供料组件，所述真空室的内部上下两侧安装有烘烤设备，且真空室的内部左右两侧安装有调节滑轨，所述可调节夹具架设于调节滑轨的表面，所述真空发生模组的底部安装有干燥除尘设备，所述真空室的正立面安装有密封仓门。该可多个物品镀膜的真空镀膜机，利用调节滑轨和可调节夹具的组合协作，极大优化了设备单次可处理物料的数量，同时还能根据物料的尺寸作出适当调节，利用烘烤设备的结构设置可以在物料镀膜后更具需要进行镀膜的强化烘烤，利用密封仓门与干燥除尘设备，一方面在设备运作时可提供良好的内部可视性，同时还能为真空室尽可能提供无尘无潮湿的工作环境。

Description

一种可多个物品镀膜的真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种可多个物品镀膜的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种,其中蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

如申请号CN201720806632.6的实用新型公开了一种真空镀膜机，该实用新型结构合理，操作便捷，实现了自动化，设备具备自己送入，镀膜完成后自动收料功能，大大节省了人工搬运的时间，提高了生产效率，但类似于上述文件中的真空镀膜机在单次加工物料的数量上需要进一步优化，从而实现单次作业中同时批量加工作业。

于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提出一种可多个物品镀膜的真空镀膜机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可多个物品镀膜的真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可多个物品镀膜的真空镀膜机，包括真空室、可调节夹具和镀膜供料组件，所述真空室的内部上下两侧安装有烘烤设备，且真空室的内部左右两侧安装有调节滑轨，所述可调节夹具架设于调节滑轨的表面，且调节滑轨的上下两端均设置有电子蒸发枪，所述真空室的外部底侧安装有底座，且底座中央安装有真空发生模组，所述真空发生模组的底部安装有干燥除尘设备，所述真空室的正立面安装有密封仓门，所述镀膜供料组件安装于真空室的外部左侧，且真空室的外部安装有控制台，所述可调节夹具包括放置隔板、滑槽、弹簧夹杆和硅胶夹板，所述放置隔板的顶部表面设置有滑槽，且滑槽的内部放置有弹簧夹杆，所述弹簧夹杆的中间安插有硅胶夹板。

进一步的，所述烘烤设备包括加热管、热源辐射板、连接管和温度发生器，所述加热管的上下两侧安装有热源辐射板，且加热管的左右两侧连接有连接管，所述连接管远离加热管的一侧安装有温度发生器。

进一步的，所述真空发生模组包括机械增压泵、抽气阀、送气管和排气口，所述机械增压泵的输出端连接有抽气阀，且抽气阀远离机械增压泵的一端连接有送气管，所述送气管贯穿真空室的底部，且送气管远离抽气阀的一端安装有排气口。

进一步的，所述密封仓门包括门框体、透明强化玻璃、密封圈和锁定把手，所述门框体的中央安装有透明强化玻璃，且门框体的四周设置有密封圈，所述锁定把手安装于门框体的一侧中央。

进一步的，所述镀膜供料组件包括储液罐、输液泵和导液管，所述储液罐的上下两端安装有输液泵，且输液泵远离储液罐的一侧连接有导液管，所述输液泵以储液罐的水平中轴线对称安装。

进一步的，所述烘烤设备以真空室的水平中轴线对称安装，所述调节滑轨以真空室的垂直中轴线对称安装。

进一步的，所述密封仓门以真空室的垂直中轴线对称安装，所述真空发生模组以底座的垂直中轴线对称安装。

本实用新型提供了一种可多个物品镀膜的真空镀膜机，具备以下有益效果：利用调节滑轨和可调节夹具的组合协作，极大优化了设备单次可处理物料的数量，同时还能更具物料的大小尺寸作出适当的调节，利用烘烤设备的结构设置可以在物料镀膜后更具需要进行镀膜的强化烘烤，利用密封仓门与干燥除尘设备，一方面在设备运作时可提供良好的内部可视性，同时还能为真空室尽可能提供无尘无潮湿的工作环境。

1、本实用新型，通过设置了调节滑轨和可调节夹具，利用在真空室内壁两侧安装了调节滑轨，进而实现了架设多组可调节夹具的组合结构，常规的为手机加工的真空镀膜机只能一次处理单个物件，无法同时为多个或数个手机进行镀膜加工，利用架设了多层的可调节夹具，同时每一层可调节夹具啥设置有有多组硅胶夹板，使得每一层在可以固定放置手机的数量进一步增加而调节滑轨可以为可调节夹具提供垂直方向上的移动空间，根据需求的不同进行适当的调整。

2、本实用新型，通过设置了烘烤设备，由于真空室内部加工处理的物料因其自身结构设计以及大小尺寸的不同，有的可能需要反复的镀膜加工，当这种情况下，为了保证镀膜的牢固性与稳定性，则需要进一步的烘烤加工处理，利用温度发生器为加热管供能后通过热源辐射板将热量辐射到整个真空室的内部，从而快速烘烤物料表面，强化其表面的纳米镀膜。

3、本实用新型，通过设置了密封仓门与干燥除尘设备，一方面密封仓门为真空室提供了大面积可开合的门体，方便为真空室内部放置各种不同尺寸的加工物，另一方面利用大面积的透明强化玻璃可以有效的观察真空室内部的运作情况，能够及时发现可能会出现的故障并第一时间处理。

附图说明

图1为本实用新型一种可多个物品镀膜的真空镀膜机的支架本体侧视结构示意图；

图2为本实用新型一种可多个物品镀膜的真空镀膜机的烘烤设备结构示意图；

图3为本实用新型一种可多个物品镀膜的真空镀膜机的可调节夹具结构示意图；

图4为本实用新型一种可多个物品镀膜的真空镀膜机的电子蒸发枪结构示意图。

图中：1、真空室；2、烘烤设备；201、加热管；202、热源辐射板；203、连接管；204、温度发生器；3、调节滑轨；4、可调节夹具；401、放置隔板；402、滑槽；403、弹簧夹杆；404、硅胶夹板；5、电子蒸发枪；6、底座；7、真空发生模组；701、机械增压泵；702、抽气阀；703、送气管；704、排气口；8、干燥除尘设备；9、密封仓门；901、门框体；902、透明强化玻璃；903、密封圈；904、锁定把手；10、镀膜供料组件；1001、储液罐；1002、输液泵；1003、导液管；11、控制台。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

如图1-2所示，一种可多个物品镀膜的真空镀膜机，包括真空室1、可调节夹具4和镀膜供料组件10，真空室1的内部上下两侧安装有烘烤设备2，且真空室1的内部左右两侧安装有调节滑轨3，可调节夹具4架设于调节滑轨3的表面，且调节滑轨3的上下两端均设置有电子蒸发枪5，真空室1的外部底侧安装有底座6，且底座6中央安装有真空发生模组7，真空发生模组7的底部安装有干燥除尘设备8，真空室1的正立面安装有密封仓门9，镀膜供料组件10安装于真空室1的外部左侧，且真空室1的外部安装有控制台11，可调节夹具4包括放置隔板401、滑槽402、弹簧夹杆403和硅胶夹板404，放置隔板401的顶部表面设置有滑槽402，且滑槽402的内部放置有弹簧夹杆403，弹簧夹杆403的中间安插有硅胶夹板404，烘烤设备2以真空室1的水平中轴线对称安装，调节滑轨3以真空室1的垂直中轴线对称安装，通过设置了调节滑轨3和可调节夹具4，利用在真空室1内壁两侧安装了调节滑轨3，从而通过滑动连接使得可调节夹具4架设于两侧的调节滑轨3之间，并且调节滑轨3可以使整个可调节夹具4沿着调节滑轨3在垂直方向上上下移动，由于设置有多层的可调节夹具4，可以根据具体放置的需要镀膜的物料的大小储存，适当的调节每一层可调节夹具4之间的层高，同时每一层可调节夹具4的表面还设置有有多组硅胶夹板404，使得每一层在可以固定放置手机的数量进一步增加，而放置隔板401表面的滑槽402可以根据每一层放置数量的不同，对弹簧夹杆403和硅胶夹板404进行水平方向上的位置做出适当的调整。

烘烤设备2包括加热管201、热源辐射板202、连接管203和温度发生器204，加热管201的上下两侧安装有热源辐射板202，且加热管201的左右两侧连接有连接管203，连接管203远离加热管201的一侧安装有温度发生器204，通过设置了烘烤设备2，利用温度发生器204为加热管201供能后通过热源辐射板202将热量辐射到整个真空室1的内部，从而快速烘烤物料表面，强化其表面的纳米镀膜。

真空发生模组7包括机械增压泵701、抽气阀702、送气管703和排气口704，机械增压泵701的输出端连接有抽气阀702，且抽气阀702远离机械增压泵701的一端连接有送气管703，送气管703贯穿真空室1的底部，且送气管703远离抽气阀702的一端安装有排气口704，镀膜供料组件10包括储液罐1001、输液泵1002和导液管1003，储液罐1001的上下两端安装有输液泵1002，且输液泵1002远离储液罐1001的一侧连接有导液管1003，输液泵1002以储液罐1001的水平中轴线对称安装，利用输液泵1002将储液罐1001内部的纳米镀膜经过导液管1003然后通过内部管道输送到电子蒸发枪5，将纳米镀膜液雾化喷出，而机械增压泵701连接抽气阀702通过送气管703与排气口704的传输，会在短时间内将真空室1内部抽至气压为0.1Pa，而对称设置的两组真空发生模组7则是加大了真空处理速度。

密封仓门9包括门框体901、透明强化玻璃902、密封圈903和锁定把手904，门框体901的中央安装有透明强化玻璃902，且门框体901的四周设置有密封圈903，锁定把手904安装于门框体901的一侧中央，密封仓门9以真空室1的垂直中轴线对称安装，真空发生模组7以底座6的垂直中轴线对称安装，通过设置了密封仓门9与干燥除尘设备8，一方面密封仓门9为真空室1提供了大面积可开合的门框体901，方便为真空室1内部放置各种不同尺寸的加工物，而密封圈903则在门框体901关合后为其四周提供极强的密封效果，避免出现气压泄露而导致真空室内部无法正常运作，另一方面利用大面积的透明强化玻璃902可以有效的观察真空室1内部的运作情况，能够及时发现可能会出现的故障并第一时间处理。

综上，如图1-3所示，该可多个物品镀膜的真空镀膜机，使用时，首先将需要加工镀膜的手机表面附着的灰尘清除干净，再用酒精擦拭干净，然后将其放置在硅胶夹板404之间，由于硅胶夹板404的底部两侧安装有弹簧夹杆403会使得手机被牢固的夹持在硅胶夹板404之间，如果单次放入的物料数量较多，可以根据需要将可调节夹具4沿着调节滑轨3在垂直方向上上下移动，适当的调节每一层可调节夹具4之间的层高，同时每一层可调节夹具4的表面还设置有有多组硅胶夹板404，利用放置隔板401表面的滑槽402可以根据每一层放置数量的不同，对弹簧夹杆403和硅胶夹板404进行水平方向上的位置做出适当的调整；

接着关闭密封仓门9，通过门框体901一侧中央的锁定把手904将两扇密封仓门9完全锁定，而密封圈903则在门框体901关合后为其四周提供极强的密封性，随后在控制台11上进行设置操作，启动整个装置，首先干燥除尘设备8会对内部的空气除湿除尘，随后机械增压泵701连接抽气阀702通过送气管703与排气口704的传输，会在短时间内将真空室1内部抽至气压为0.1Pa，而对称设置的两组真空发生模组7则是加大了真空处理速度，接着利用输液泵1002将储液罐1001内部的纳米镀膜经过导液管1003然后通过内部管道输送到电子蒸发枪5，将纳米镀膜液雾化喷出开始对内部物料进行镀膜，在镀膜过程中，透过透明强化玻璃902可以有效的观察真空室1内部的运作情况，当发现内部纳米镀膜液雾化情况有异常或是控制台11提示气压异常时，务必第一时间在终端操作，当镀膜完成之后，根据实际的物料镀膜的情况，可以开启烘烤设备2，利用温度发生器204为加热管201供能后通过热源辐射板202将热量辐射到整个真空室1的内部，从而快速烘烤物料表面，强化其表面的纳米镀膜，当烘烤结束之后打开密封仓门9取出物料即可完成整个镀膜操作。

本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (7)

1.一种可多个物品镀膜的真空镀膜机，包括真空室(1)、可调节夹具(4)和镀膜供料组件(10)，其特征在于：所述真空室(1)的内部上下两侧安装有烘烤设备(2)，且真空室(1)的内部左右两侧安装有调节滑轨(3)，所述可调节夹具(4)架设于调节滑轨(3)的表面，且调节滑轨(3)的上下两端均设置有电子蒸发枪(5)，所述真空室(1)的外部底侧安装有底座(6)，且底座(6)中央安装有真空发生模组(7)，所述真空发生模组(7)的底部安装有干燥除尘设备(8)，所述真空室(1)的正立面安装有密封仓门(9)，所述镀膜供料组件(10)安装于真空室(1)的外部左侧，且真空室(1)的外部安装有控制台(11)，所述可调节夹具(4)包括放置隔板(401)、滑槽(402)、弹簧夹杆(403)和硅胶夹板(404)，所述放置隔板(401)的顶部表面设置有滑槽(402)，且滑槽(402)的内部放置有弹簧夹杆(403)，所述弹簧夹杆(403)的中间安插有硅胶夹板(404)。

2.根据权利要求1所述的一种可多个物品镀膜的真空镀膜机，其特征在于，所述烘烤设备(2)包括加热管(201)、热源辐射板(202)、连接管(203)和温度发生器(204)，所述加热管(201)的上下两侧安装有热源辐射板(202)，且加热管(201)的左右两侧连接有连接管(203)，所述连接管(203)远离加热管(201)的一侧安装有温度发生器(204)。

3.根据权利要求1所述的一种可多个物品镀膜的真空镀膜机，其特征在于，所述真空发生模组(7)包括机械增压泵(701)、抽气阀(702)、送气管(703)和排气口(704)，所述机械增压泵(701)的输出端连接有抽气阀(702)，且抽气阀(702)远离机械增压泵(701)的一端连接有送气管(703)，所述送气管(703)贯穿真空室(1)的底部，且送气管(703)远离抽气阀(702)的一端安装有排气口(704)。

4.根据权利要求1所述的一种可多个物品镀膜的真空镀膜机，其特征在于，所述密封仓门(9)包括门框体(901)、透明强化玻璃(902)、密封圈(903)和锁定把手(904)，所述门框体(901)的中央安装有透明强化玻璃(902)，且门框体(901)的四周设置有密封圈(903)，所述锁定把手(904)安装于门框体(901)的一侧中央。

5.根据权利要求1所述的一种可多个物品镀膜的真空镀膜机，其特征在于，所述镀膜供料组件(10)包括储液罐(1001)、输液泵(1002)和导液管(1003)，所述储液罐(1001)的上下两端安装有输液泵(1002)，且输液泵(1002)远离储液罐(1001)的一侧连接有导液管(1003)，所述输液泵(1002)以储液罐(1001)的水平中轴线对称安装。

6.根据权利要求1所述的一种可多个物品镀膜的真空镀膜机，其特征在于，所述烘烤设备(2)以真空室(1)的水平中轴线对称安装，所述调节滑轨(3)以真空室(1)的垂直中轴线对称安装。

7.根据权利要求1所述的一种可多个物品镀膜的真空镀膜机，其特征在于，所述密封仓门(9)以真空室(1)的垂直中轴线对称安装，所述真空发生模组(7)以底座(6)的垂直中轴线对称安装。

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