CN213482285U - 一种可夹持薄片的原子力显微镜样品台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可夹持薄片的原子力显微镜样品台，包括：底座，所述底座上表面固定连接两导板，两导板相互平行，两导板端部相互对齐，两导板相对的面上设有滑槽，滑槽与底座上表面平行；定位块，所述定位块包括2块，定位块两侧固定连接滑块，滑块与滑槽相匹配，定位块两侧的滑块端面间距与定位块两侧的滑槽间距相匹配，定位块通过两侧的滑块滑动安装在滑槽内，滑块为永磁体，2块定位块相对的面磁极相反。以解决现有技术样品台无法将薄片状的半导体样品稳定的固定在样品台上并且使窄面朝上的问题。

Description

一种可夹持薄片的原子力显微镜样品台

技术领域

本实用新型涉及原子力显微镜技术领域，尤其涉及一种可夹持薄片的原子力显微镜样品台。

背景技术

原子力显微镜被广泛的用于半导体特性的研究中，但现有的原子力显微镜的样品台为一个圆形平台，可用于放置薄片状半导体样品，使得薄片状半导体样品的宽面可被观察。但是实际的科研工作中，研究人员发现仅仅观察半导体样品的宽面还不够，很多时候需要观察半导体样品的窄面，但是由于半导体样品窄面较窄，现有的样品台无法将薄片状的半导体样品稳定的固定在样品台上并且使窄面朝上。

发明内容

为了解决以上现有技术的缺点和不足之处，本实用新型的目的是提供一种可夹持薄片的原子力显微镜样品台。

本实用新型的技术方案是：一种可夹持薄片的原子力显微镜样品台，包括：

底座，所述底座上表面固定连接两导板，两导板相互平行，两导板端部相互对齐，两导板相对的面上设有滑槽，滑槽与底座上表面平行；

定位块，所述定位块包括2块，定位块两侧固定连接滑块，滑块与滑槽相匹配，定位块两侧的滑块端面间距与定位块两侧的滑槽间距相匹配，定位块通过两侧的滑块滑动安装在滑槽内，滑块为永磁体，2块定位块相对的面磁极相反。

进一步地，所述定位块相对的面上固定连接一层缓冲垫。

进一步地，还包括：

深度定位孔，所述深度定位孔开设在定位块上，深度定位孔贯通定位块的前后侧面，深度定位孔为矩形，深度定位孔上下侧面与定位块下表面平行，深度定位孔沿定位块高度方向均匀分布；

深度定位块，所述深度定位块与深度定位孔相匹配，深度定位块活动插接在深度定位孔内。

进一步地，所述深度定位块前后方向长度大于深度定位孔前后方向长度。

进一步地，所述底座下表面铺设一层纳米微吸胶。

本实用新型的有益效果是：与现有技术相比，

1）本实用新型通过底座上的导板，使得两定位块的运动方向被限制在沿滑槽长度方向，这样对半导体样品位置的改变可通过转动底座和调节半导体样品在滑槽上的位置实现，转动底座和调节半导体样品在滑槽上的位置相互独立互不影响，使得半导体样品位置的调节更加准确；并且当半导体样品被夹持在两定位块之间时，两定位块相对的面依然保持平行，这样不会导致两定位块与半导体样品的接触面过小破坏半导体样品；而两定位块间的吸引力将两定位块吸附在一起，位于两定位块之间的半导体样品被两定位块稳定的夹持在中间，通过这样的方式使半导体样品窄面向上，便于原子力显微镜观察半导体样品窄面，本实用新型具有能够固定薄片状的半导体样品，使薄片状半导体样品窄面向上的优点；

2）本实用新型通过缓冲垫，使得半导体样品不与坚硬的定位块直接接触，保护半导体样品；

3）本实用新型通过改变深度定位块在深度定位孔中的位置，使得两定位块之间的夹缝深度改变，对于较小的半导体样品，可将深度定位块插在较高的深度定位孔中，避免半导体样品落入两定位块间的夹缝深处，对于较大的半导体样品，可将深度定位块插在较矮的深度定位孔中，避免半导体样品只被夹住一小部分面积固定不稳；

4）本实用新型通过使深度定位块前后方向长度大于深度定位孔前后方向长度，使得深度定位块不会完全没入深度定位孔中难以操作，而是露出一部分，便于使用者将深度定位块抽出和插入；

5）本实用新型通过在底座下表面铺设一层纳米微吸胶，使得底座与原子力显微镜的原样品台间吸附力更强，底座固定在原子力显微镜的原样品台更加稳定。

附图说明

图1为本实用新型的前视图；

图2为本实用新型的立体视图；

图3为本实用新型的夹持座处的爆炸视图；

图4为图3中B处的局部视图。

具体实施方式

下面结合附图及具体的实施例对实用新型进行进一步介绍：

本实用新型中方位词前、后、左、右基于图1。

实施实例1：参考图1至图4，本实施例一种可夹持薄片的原子力显微镜样品台，包括：底座1，所述底座1上表面焊接连接两导板3，两导板3相互平行，两导板3端部相互对齐，两导板3相对的面上设有滑槽3-1，滑槽3-1与底座1上表面平行；定位块2，所述定位块2包括2块，定位块2两侧焊接连接滑块2-1，滑块2-1与滑槽3-1相匹配，定位块2两侧的滑块2-1端面间距与定位块2两侧的滑槽3-1间距相匹配，定位块2通过两侧的滑块2-1滑动安装在滑槽3-1内，滑块2-1为永磁体，2块定位块2相对的面磁极相反。

进一步地，所述定位块2相对的面上粘接连接一层缓冲垫4。

进一步地，还包括：深度定位孔2-2，所述深度定位孔2-2开设在定位块2上，深度定位孔2-2贯通定位块2的前后侧面，深度定位孔2-2为矩形，深度定位孔2-2上下侧面与定位块2下表面平行，深度定位孔2-2沿定位块2高度方向均匀分布；深度定位块2，所述深度定位块2与深度定位孔2-2相匹配，深度定位块2活动插接在深度定位孔2-2内。

进一步地，所述深度定位块2前后方向长度大于深度定位孔2-2前后方向长度。

进一步地，所述底座1下表面铺设一层纳米微吸胶6。

本实用新型的优点是：

1）本实用新型通过底座1上的导板3，使得两定位块2的运动方向被限制在沿滑槽3-1长度方向，这样对半导体样品位置的改变可通过转动底座1和调节半导体样品在滑槽3-1上的位置实现，转动底座1和调节半导体样品在滑槽3-1上的位置相互独立互不影响，使得半导体样品位置的调节更加准确；并且当半导体样品被夹持在两定位块2之间时，两定位块2相对的面依然保持平行，这样不会导致两定位块2与半导体样品的接触面过小破坏半导体样品；而两定位块2间的吸引力将两定位块2吸附在一起，位于两定位块2之间的半导体样品被两定位块2稳定的夹持在中间，通过这样的方式使半导体样品窄面向上，便于原子力显微镜观察半导体样品窄面，本实用新型具有能够固定薄片状的半导体样品，使薄片状半导体样品窄面向上的优点；

2）本实用新型通过缓冲垫4，使得半导体样品不与坚硬的定位块2直接接触，保护半导体样品；

3）本实用新型通过改变深度定位块2在深度定位孔2-2中的位置，使得两定位块2之间的夹缝深度改变，对于较小的半导体样品，可将深度定位块2插在较高的深度定位孔2-2中，避免半导体样品落入两定位块2间的夹缝深处，对于较大的半导体样品，可将深度定位块2插在较矮的深度定位孔2-2中，避免半导体样品只被夹住一小部分面积固定不稳；

4）本实用新型通过使深度定位块2前后方向长度大于深度定位孔2-2前后方向长度，使得深度定位块2不会完全没入深度定位孔2-2中难以操作，而是露出一部分，便于使用者将深度定位块2抽出和插入；

5）本实用新型通过在底座1下表面铺设一层纳米微吸胶6，使得底座1与原子力显微镜的原样品台间吸附力更强，底座1固定在原子力显微镜的原样品台更加稳定。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种可夹持薄片的原子力显微镜样品台，其特征在于，包括：

底座（1），所述底座（1）上表面固定连接两导板（3），两导板（3）相互平行，两导板（3）端部相互对齐，两导板（3）相对的面上设有滑槽（3-1），滑槽（3-1）与底座（1）上表面平行；

定位块（2），所述定位块（2）包括2块，定位块（2）两侧固定连接滑块（2-1），滑块（2-1）与滑槽（3-1）相匹配，定位块（2）两侧的滑块（2-1）端面间距与定位块（2）两侧的滑槽（3-1）间距相匹配，定位块（2）通过两侧的滑块（2-1）滑动安装在滑槽（3-1）内，滑块（2-1）为永磁体，2块定位块（2）相对的面磁极相反。

2.根据权利要求1所述可夹持薄片的原子力显微镜样品台，其特征在于，所述定位块（2）相对的面上固定连接一层缓冲垫（4）。

3.根据权利要求1或2所述可夹持薄片的原子力显微镜样品台，其特征在于，还包括：

深度定位孔（2-2），所述深度定位孔（2-2）开设在定位块（2）上，深度定位孔（2-2）贯通定位块（2）的前后侧面，深度定位孔（2-2）为矩形，深度定位孔（2-2）上下侧面与定位块（2）下表面平行，深度定位孔（2-2）沿定位块（2）高度方向均匀分布；

深度定位块（2），所述深度定位块（2）与深度定位孔（2-2）相匹配，深度定位块（2）活动插接在深度定位孔（2-2）内。

4.根据权利要求3所述可夹持薄片的原子力显微镜样品台，其特征在于，所述深度定位块（2）前后方向长度大于深度定位孔（2-2）前后方向长度。

5.根据权利要求1或2所述可夹持薄片的原子力显微镜样品台，其特征在于，所述底座（1）下表面铺设一层纳米微吸胶（6）。

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