CN213401088U - X射线管、轴连轴承以及芯轴装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种X射线管、轴连轴承以及芯轴装置。其中X射线管，包括：阳极靶盘、支座以及设置于阳极靶盘和支座之间的轴连轴承，轴连轴承包括：芯轴装置以及设置于支座和芯轴装置之间的轴承机构，其中芯轴装置包括：连接件，连接件的前端与阳极靶盘连接；以及芯轴，芯轴从连接件的后侧套设于连接件，并且通过轴承机构与支座可旋转地连接，并且其中，在连接件与芯轴相对的第一表面以及芯轴与连接件相对的第二表面中的至少一个表面设置有隔热涂层。

Description

X射线管、轴连轴承以及芯轴装置

技术领域

本申请涉及X射线管技术领域，特别是涉及一种X射线管、轴连轴承以及芯轴装置。

背景技术

轴连轴承是普通旋转阳极X射线管常用的轴承支撑形式。它通过对双支承滚珠轴承进行简化，将前后支承轴承的内沟道开在同一根轴上，达到提高轴承装配精度、性能和使用寿命的目的。

在旋转阳极X射线管中，按照支承轴承与阳极靶盘之间的距离，可将轴连轴承分为前轴承和后轴承。当X射线管工作时，轴承的温度载荷主要来自于靶盘热量传递，由于前轴承距离靶盘更近，其承受温度载荷将近500度，远远高于后轴承。过高的温度载荷，导致前轴承强度降低，及其表面固体润滑剂过早开裂及变质，最终影响轴承的使用寿命，使轴承过早失效。通过对发生故障的 X射线管进行分解发现，前轴承失效卡死，是造成X射线管轴承故障的主要原因之一。

针对上述的现有技术中存在的现有的设置在旋转阳极X射线管中的轴连轴承的靠近阳极靶盘的前轴承由于承受的温度远远高于后轴承，使得前轴承相比于后轴承会过早失效，严重缩短X射线管的使用寿命的技术问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

本公开提供了一种X射线管、轴连轴承以及芯轴装置，以至少解决现有技术中存在的现有的设置在旋转阳极X射线管中的轴连轴承的靠近阳极靶盘的前轴承由于承受的温度远远高于后轴承，使得前轴承相比于后轴承会过早失效，严重缩短X射线管的使用寿命的技术问题。

根据本申请的一个方面，提供了一种X射线管，包括：阳极靶盘、支座以及设置于阳极靶盘和支座之间的轴连轴承，轴连轴承包括：芯轴装置以及设置于支座和芯轴装置之间的轴承机构，其中芯轴装置包括：连接件，连接件的前端与阳极靶盘连接；以及芯轴，芯轴从连接件的后侧套设于连接件，并且通过轴承机构与支座可旋转地连接，并且其中，在连接件与芯轴相对的第一表面以及芯轴与连接件相对的第二表面中的至少一个表面设置有隔热涂层。

可选地，芯轴的前端设置有第一安装孔，连接件包括设置于第一安装孔内的连接杆，其中第一表面包括连接杆的外表面，并且第二表面包括第一安装孔的内表面。

可选地，连接杆的后端设置有外螺纹，以及第一安装孔设置有与外螺纹对应的内螺纹；以及连接杆的后端与第一安装孔的后端通过钎焊的方式连接。

可选地，连接件还包括设置于连接杆的前端并且与阳极靶盘连接的第一法兰部，并且芯轴的前端设置有与第一法兰部相对的第二法兰部，其中第一表面包括第一法兰部与第二法兰部相对的表面，并且第二表面包括第二法兰部与第一法兰部相对的表面。

可选地，第一法兰部与第二法兰部相对的一侧的周缘设置有第一凸台，并且第二法兰部与第一法兰部相对的一侧的周缘设置有与第一凸台对应的第二凸台，其中第一凸台和第二凸台通过焊接的方式连接。

可选地，轴承机构包括：邻近芯轴装置的前端设置的第一轴承以及邻近芯轴装置的后端设置的第二轴承，并且第一轴承和第二轴承固定于设置在支座的第二安装孔内。

可选地，轴承机构还包括：轴套，设置于第一轴承和第二轴承之间；以及 C形卡环，设置于第二轴承和轴套之间或设置于第一轴承和轴套之间。

可选地，连接杆的后端与第一安装孔的后端通过过盈配合的方式进行嵌套连接；或隔热涂层为陶瓷隔热涂层。

根据本申请的另一个方面，提供了一种轴连轴承，包括：芯轴装置以及设置于支座和芯轴装置之间的轴承机构，其中芯轴装置包括：连接件，连接件的前端与阳极靶盘连接；以及芯轴，芯轴从连接件的后侧套设于连接件，并且通过轴承机构与支座可旋转地连接，并且其中，在连接件与芯轴相对的第一表面以及芯轴与连接件相对的第二表面中的至少一个表面设置有隔热涂层。

根据本申请的另一个方面，提供了一种芯轴装置，包括：连接件，连接件的前端与阳极靶盘连接；以及芯轴，芯轴从连接件的后侧套设于连接件，并且通过轴承机构与支座可旋转地连接，并且其中，在连接件与芯轴相对的第一表面以及芯轴与连接件相对的第二表面中的至少一个表面设置有隔热涂层。

从而根据本申请实施例提供了的一种X射线管，在与阳极靶盘连接的芯轴装置的连接件和芯轴的连接处任意一个表面设置陶瓷隔热涂层。从而当阳极靶盘的热量传递到芯轴装置的情况下，陶瓷隔热涂层可以阻止热量直接传递到滚珠上，并且增加热传导的路径，在较长的热传导路径上使得温度降低。因此达到了避免前轴承承受过高的温度载荷，增加X射线管的使用寿命的技术效果。进而解决了现有技术中存在的现有的设置在旋转阳极X射线管中的轴连轴承的靠近阳极靶盘的前轴承由于承受的温度远远高于后轴承，使得前轴承相比于后轴承会过早失效，严重缩短X射线管的使用寿命的技术问题。

根据下文结合附图对本申请的具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本申请的上述以及其他目的、优点和特征。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本申请的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是根据本申请实施例第一个方面所述的X射线管的示意图；

图2是图1所示的连接件的示意图；

图3是图1所示的芯轴的示意图；

图4是图1所示的连接件的另一示意图；

图5是图1所示的芯轴的另一示意图；

图6是图1所示的轴连轴承的示意图；以及

图7是根据本申请实施例第一个方面所述的连接件中的热量走向的示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本公开中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本公开。

为了使本技术领域的人员更好地理解本公开方案，下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本公开保护的范围。

需要说明的是，本公开的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的术语在适当情况下可以互换，以便这里描述的本公开的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

图1是根据本申请实施例第一个方面所述的X射线管的示意图。参考图1 所示，X射线管，包括：阳极靶盘10、支座20以及设置于阳极靶盘10和支座 20之间的轴连轴承30，轴连轴承30包括：芯轴装置310以及设置于支座20 和芯轴装置310之间的轴承机构320，其中芯轴装置310包括：连接件311，连接件311的前端与阳极靶盘10连接；以及芯轴312，芯轴312从连接件311的后侧套设于连接件311，并且通过轴承机构320与支座20可旋转地连接，并且其中，在连接件311与芯轴312相对的第一表面3111以及芯轴312与连接件 311相对的第二表面3121中的至少一个表面设置有隔热涂层313。

正如背景技术中的，在旋转阳极X射线管中，按照支承轴承与阳极靶盘之间的距离，可将轴连轴承分为前轴承和后轴承。当X射线管工作时，轴承的温度载荷主要来自于靶盘热量传递，由于前轴承距离靶盘更近，其承受温度载荷将近500度，远远高于后轴承。过高的温度载荷，导致前轴承强度降低，及其表面固体润滑剂过早开裂及变质，最终影响轴承的使用寿命，使轴承过早失效。通过对发生故障的X射线管进行分解发现，前轴承失效卡死，是造成X射线管轴承故障的主要原因之一。

有鉴于此，本申请实施例提供了一种X射线管(可以是旋转阳极X射线管)，在与阳极靶盘10连接的芯轴装置310的连接件311和芯轴312的相对应的任意一个表面设置隔热涂层313。从而当阳极靶盘10的热量传递到芯轴装置310的情况下，隔热涂层313增加热传导的路径，在较长的热传导路径上使得温度降低，可以阻止热量直接传递到轴承机构320的滚珠上。因此避免了轴承机构320 的前轴承承受过高的温度载荷，并且达到了增加X射线管的使用寿命的技术效果。进而解决了现有技术中存在的现有的设置在旋转阳极X射线管中的轴连轴承的靠近阳极靶盘的前轴承由于承受的温度远远高于后轴承，使得前轴承相比于后轴承会过早失效，严重缩短X射线管的使用寿命的技术问题。

此外，参考图1所示，连接件311并不限于与阳极靶盘10直接连接，其中连接件311可以通过转接杆40与阳极靶盘10连接。

此外，根据连接件311的直径以及隔热效果，绝热涂层313厚度可取 250-650um。该厚度的隔热涂层313在高温下环境下使用时，不会有气体产生。并且隔热涂层313的表面粗糙度小于Ra1.6。

可选地，参考图2所示，芯轴312的前端设置有第一安装孔3122，连接件 311包括设置于第一安装孔3122内的连接杆3112，其中第一表面3111包括连接杆3112的外表面31111，并且第二表面3121包括第一安装孔3122的内表面 31211。从而可以在连接件311和芯轴312相对的第一表面3111或者第二表面 3121设置隔热涂层313。当阳极靶盘10的热量传递到连接件311之后，隔热涂层313可以增加热传导路径的长度，阻止热量直接传递到轴承机构320的滚珠上。避免前轴承承受过高的温度载荷，达到了增加X射线管的使用寿命的技术效果。此外热量可以通过连接件311的连接杆3111向后侧传递，在热量向后传递的过程中，热量也会逐渐减小。

可选地，参考图2至图5所示，连接杆3112的后端设置有外螺纹31121，以及第一安装孔3122设置有与外螺纹31121对应的内螺纹31221。从而连接件 311的连接杆3112和芯轴312的第一安装孔3122可以通过外螺纹31121和内螺纹31221进行固定连接。

可选地，参考图2和图3所示，连接杆3112的后端与第一安装孔3122的后端通过钎焊的方式连接。连接杆3112和第一安装孔3122通过外螺纹31121 和内螺纹31221进行固定连接。但是为了防止螺纹松动，连接杆3112和第一安装孔3122通过螺纹连接后，在连接杆3112的后端与第一安装孔3122的后端进行钎焊。从而达到连接杆3112和第一安装孔3122稳固连接的技术效果。

可选地，参考图2和图3所示，连接件311还包括设置于连接杆3112的前端并且与阳极靶盘10连接的第一法兰部3113，并且芯轴312的前端设置有与第一法兰部3113相对的第二法兰部3123，其中第一表面3111包括第一法兰部 3113与第二法兰部3123相对的第三表面31112，并且第二表面3121包括第二法兰部3123与第一法兰部3113相对的第四表面31212。从而可以在连接件311 和芯轴312相对的第一表面3111或者第二表面3121设置隔热涂层313。当阳极靶盘10的热量传递到连接件311之后，隔热涂层313可以增加热传导路径的长度，阻止热量直接传递到轴承机构320的滚珠上。避免前轴承承受过高的温度载荷，达到了增加X射线管的使用寿命的技术效果。

可选地，参考图2和图3所示，第一法兰部3113与第二法兰部3123相对的一侧的周缘设置有第一凸台31131，并且第二法兰部3123与第一法兰部3113 相对的一侧的周缘设置有与第一凸台31131对应的第二凸台31231，其中第一凸台31131和第二凸台31231通过焊接的方式连接。在连接件311的第一法兰部3113和芯轴312的第二法兰部3123外部连接处设置第一凸台31131以及第二凸台31231，并且通过焊接的方式对其进行固定连接。达到连接件311和芯轴312之间稳固连接的技术效果。

可选地，轴承机构320包括：邻近芯轴装置310的前端设置的第一轴承321 以及邻近芯轴装置310的后端设置的第二轴承322，并且第一轴承321和第二轴承322固定于设置在支座20的第二安装孔210内。通过第一轴承321和第二轴承322实现芯轴装置310和轴承机构320之间的相对旋转。此外，制作20 设置有第二安装孔210，从而支座20可以从后侧嵌套在轴承机构320上。

可选地，参考图6所示，轴承机构320还包括：轴套323，设置于第一轴承321和第二轴承322之间；以及C形卡环324，设置于第二轴承322和轴套 323之间或设置于第一轴承321和轴套323之间。轴套323设置于第一轴承321 和第二轴承322之间，但是由于轴套323的长度为预先设置的，所以当安装好轴承机构320的第一轴承321、轴套323和第二轴承322之后，轴套323与第一轴承321和第二轴承322之间存在空隙。因此在第二轴承322和轴套323之间或者第一轴承321和轴套323之间加入一个适当的C形卡环324，使得轴承机构320之间紧密连接，避免影响轴连轴承30的使用。

此外，C形卡环324根据轴套323与第一轴承321和第二轴承322之间的孔隙大小进行添加，添加C形卡环324之后使得轴套323与第一轴承321和第二轴承322之间紧密连接。

此外，参考图5所示，第一轴承321可以设置在芯轴312的外表面的前侧第一凹槽3124，以及第二轴承322可以设置在芯轴312的外表面的后侧第二凹槽3125处。从而第一轴承321和第二轴承322的滚珠可以沿着第一凹槽3124 和第二凹槽3125转动。

可选地，参考图1和图6所示，连接杆3112的后端与第一安装孔3122的后端通过过盈配合的方式进行嵌套连接。连接杆3112的外径和芯轴312的内径为包含隔热涂层313厚度之后的尺寸，并且连接杆3112的外径略大于芯轴312 的内径。从而在高温条件下，使得连接杆3112的外径和芯轴312的内径过盈配合，其中过盈量为0-0.02mm。

可选地，参考图7所示，隔热涂层313为陶瓷隔热涂层。其中陶瓷隔热涂层可以是超薄的陶瓷隔热涂层，从而达到阻止热量传递的技术效果。

此外，参考图7所示，箭头指出阳极靶盘10传递到连接件311的热量的传递方向。由于隔热涂层的存在，热传导路径增加，第一轴承321(前轴承)的温度载荷将显著下降。从而通过设置隔热涂层323防止热量通过连接件311直接传递到第一轴承321，避免了第一轴承321的使用寿命变短。

此外，本实施例的第二个方面提供了一种轴连轴承30，轴连轴承30包括：芯轴装置310以及设置于支座20和芯轴装置310之间的轴承机构320，其中芯轴装置310包括：连接件311，连接件311的前端与阳极靶盘10连接；以及芯轴312，芯轴312从连接件311的后侧套设于连接件311，并且通过轴承机构 320与支座20可旋转地连接，并且其中，在连接件311与芯轴312相对的第一表面3111以及芯轴312与连接件311相对的第二表面3121中的至少一个表面设置有隔热涂层313。

具体地，关于轴连轴承30的描述参考本申请实施例第一个方面所述的内容，此处就不在一一赘述。

此外，本实施例的第三个方面提供了一种芯轴装置310，芯轴装置310，包括：连接件311，连接件311的前端与阳极靶盘10连接；以及芯轴312，芯轴 312从连接件311的后侧套设于连接件311，并且通过轴承机构320与支座20 可旋转地连接，并且其中，在连接件311与芯轴312相对的第一表面3111以及芯轴312与连接件311相对的第二表面3121中的至少一个表面设置有隔热涂层 313。

具体地，关于芯轴装置310的描述参考本申请实施例第一个方面所述的内容，此处就不在一一赘述。

从而根据本申请实施例提供了的一种X射线管，在与阳极靶盘10连接的芯轴装置310的连接件311和芯轴312的连接处任意一个表面设置隔热涂层 313。从而当阳极靶盘10的热量传递到芯轴320结构的情况下，隔热涂层313 可以阻止热量直接传递到滚珠330上，并且增加热传导的路径，在较长的热传导路径上使得温度降低。因此达到了避免前轴承承受过高的温度载荷，增加X 射线管的使用寿命的技术效果。进而解决了现有技术中存在的现有的设置在旋转阳极X射线管中的轴连轴承的靠近阳极靶盘的前轴承由于承受的温度远远高于后轴承，使得前轴承相比于后轴承会过早失效，严重缩短X射线管的使用寿命的技术问题。

此外，连接件311和芯轴312左右两端采用焊接、螺纹连接，中间部位采用过盈配合的连接方式，整个组件的强度显著提高。这样，就可以做到在兼顾整个X射线管组件的连接强度以及轴连轴承30结构强度的前提下，降低第一轴承321(前轴承)的温度载荷，提高射线管的使用寿命。

此外，本发明通过对轴连轴承30的芯轴装置310进行改进，将传统的芯轴装置310分为连接件311和芯轴312两部分。分别在连接件311和芯轴312接触面上涂隔热涂层，连接件311和芯轴312左右两端采用焊接、螺纹连接，中间部位采用过盈配合的连接方式。这样就可以在不影响X射线管以及轴连轴承 30零件结构强度的前提下，显著降低第一轴承321的温度载荷。对降低X射线管前轴承故障率，延长前轴承失效时间，进一步提高第一轴承321以及X射线管的使用寿命，有很好的效果。

除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本公开的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

在本公开的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

以上所述，仅为本申请较佳的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种X射线管，包括：阳极靶盘(10)、支座(20)以及设置于所述阳极靶盘(10)和所述支座(20)之间的轴连轴承(30)，其特征在于，所述轴连轴承(30)包括：芯轴装置(310)以及设置于所述支座(20)和所述芯轴装置(310)之间的轴承机构(320)，其中

所述芯轴装置(310)包括：连接件(311)，所述连接件(311)的前端与所述阳极靶盘(10)连接；以及芯轴(312)，所述芯轴(312)从所述连接件(311)的后侧套设于所述连接件(311)，并且通过所述轴承机构(320)与所述支座(20)可旋转地连接，并且其中，

在所述连接件(311)与所述芯轴(312)相对的第一表面(3111)以及所述芯轴(312)与所述连接件(311)相对的第二表面(3121)中的至少一个表面设置有隔热涂层(313)。

2.根据权利要求1所述的X射线管，其特征在于，所述芯轴(312)的前端设置有第一安装孔(3122)，所述连接件(311)包括设置于所述第一安装孔(3122)内的连接杆(3112)，其中

所述第一表面(3111)包括所述连接杆(3112)的外表面(31111)，并且所述第二表面(3121)包括所述第一安装孔(3122)的内表面(31211)。

3.根据权利要求2所述的X射线管，其特征在于，所述连接杆(3112)的后端设置有外螺纹(31121)，以及所述第一安装孔(3122)设置有与所述外螺纹(31121)对应的内螺纹(31221)；以及

所述连接杆(3112)的后端与所述第一安装孔(3122)的后端通过钎焊的方式连接。

4.根据权利要求2所述的X射线管，其特征在于，所述连接件(311)还包括设置于所述连接杆(3112)的前端并且与所述阳极靶盘(10)连接的第一法兰部(3113)，并且所述芯轴(312)的前端设置有与所述第一法兰部(3113)相对的第二法兰部(3123)，其中

所述第一表面(3111)包括所述第一法兰部(3113)与所述第二法兰部(3123)相对的第三表面(31112)，并且所述第二表面(3121)包括所述第二法兰部(3123)与所述第一法兰部(3113)相对的第四表面(31212)。

5.根据权利要求4所述的X射线管，其特征在于，所述第一法兰部(3113)与所述第二法兰部(3123)相对的一侧的周缘设置有第一凸台(31131)，并且所述第二法兰部(3123)与所述第一法兰部(3113)相对的一侧的周缘设置有与所述第一凸台(31131)对应的第二凸台(31231)，其中

所述第一凸台(31131)和所述第二凸台(31231)通过焊接的方式连接。

6.根据权利要求1所述的X射线管，其特征在于，所述轴承机构(320)包括：邻近所述芯轴装置(310)的前端设置的第一轴承(321)以及邻近所述芯轴装置(310)的后端设置的第二轴承(322)，并且

所述第一轴承(321)和所述第二轴承(322)固定于设置在所述支座(20)的第二安装孔(210)内。

7.根据权利要求6所述的X射线管，其特征在于，所述轴承机构(320)还包括：

轴套(323)，设置于所述第一轴承(321)和所述第二轴承(322)之间；以及

C形卡环(324)，设置于所述第二轴承(322)和所述轴套(323)之间或设置于所述第一轴承(321)和所述轴套(323)之间。

8.根据权利要求2所述的X射线管，其特征在于，

所述连接杆(3112)的后端与所述第一安装孔(3122)的后端通过过盈配合的方式进行嵌套连接；或

所述隔热涂层(313)为陶瓷隔热涂层。

9.一种轴连轴承(30)，其特征在于，包括：芯轴装置(310)以及设置于支座(20)和所述芯轴装置(310)之间的轴承机构(320)，其中

所述芯轴装置(310)包括：连接件(311)，所述连接件(311)的前端与阳极靶盘(10)连接；以及芯轴(312)，所述芯轴(312)从所述连接件(311)的后侧套设于所述连接件(311)，并且通过所述轴承机构(320)与所述支座(20)可旋转地连接，并且其中，

在所述连接件(311)与所述芯轴(312)相对的第一表面(3111)以及所述芯轴(312)与所述连接件(311)相对的第二表面(3121)中的至少一个表面设置有隔热涂层(313)。

10.一种芯轴装置(320)，其特征在于，包括：连接件(311)，所述连接件(311)的前端与阳极靶盘(10)连接；以及芯轴(312)，所述芯轴(312)从所述连接件(311)的后侧套设于所述连接件(311)，并且通过轴承机构(320)与支座(20)可旋转地连接，并且其中，

在所述连接件(311)与所述芯轴(312)相对的第一表面(3111)以及所述芯轴(312)与所述连接件(311)相对的第二表面(3121)中的至少一个表面设置有隔热涂层(313)。

Images