CN213397146U - 一种载物设备及处理设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种载物设备，包括壳体和设置在壳体内的承载装置，所述承载装置用于承载待承载对象，其特征在于，所述壳体包括主体支架和多个盖板，所述主体支架包括至少一底板和多个支柱，所述承载装置设于所述底板，多个所述盖板均与所述主体支架可拆卸连接。通过以上设置，通过以上设置，可以快速将盖板安装在主体支架上或者从主体支架上拆除，从而便于对设置在壳体内的承载装置进行维修，省时便利。

Description

一种载物设备及处理设备

技术领域

本实用新型涉及检测载物设备技术领域，具体涉及一种载物设备及处理设备。

背景技术

处理设备包括承载装置和光学检测装置，其中，承载装置用于固定待测对象，甚至带动待测对象运动，如直线运动或旋转运动；光学检测装置用于对待测对象进行光学检测，获取检测信息。承载装置包括固定吸盘和移动机构，固定吸盘设置在移动机构上，移动机构可带动固定吸盘运动，由于移动机构长期运动，发生故障的可能性较大，当承载装置发生故障后需及时对其进行维修，目前存在的主要问题为承载装置维修比较费时费力。

实用新型内容

针对现有技术中，载物设备中承载装置存在的维修费时的缺陷，本实用新型提供一种载物设备，包括壳体和设置在壳体内的承载装置，所述承载装置用于承载待承载对象，其特征在于，所述壳体包括主体支架和多个盖板，所述主体支架包括至少一底板和多个支柱，所述承载装置设于所述底板上，多个所述盖板均与所述主体支架可拆卸连接。

通过以上设置，通过以上设置，可以快速将盖板安装在主体支架上或者从主体支架上拆除，从而便于对设置在壳体内的承载装置进行维修，省时便利。

在一种实施方式中，所述盖板包括第一盖板，所述第一盖板与所述主体的所述底板相对设置，与所述支柱远离所述底板的端面固定连接。

在一种实施方式中，所述第一盖板设有处理窗口。

在一种实施方式中，所述盖板还包括两组相对设置的第二盖板，所述第二盖板固定于相邻两个所述支柱。

在一种实施方式中，至少一个所述第二盖板设有进风口组，所述进风口组包括至少一个进风口，所述进风口与供风装置连接。

在一种实施方式中，至少一个所述第二盖板设有送样窗口，所述待承载对象通过所述送样窗口移出或移入至所述载物设备。

在一种实施方式中，至少一个所述盖板设有观测窗口，所述观测窗口设有观测门和卡扣，所述卡扣用于锁紧或者打开所述观测门。

在一种实施方式中，所述第二盖板设有出风口组，所述出风口组设置在靠近所述底板的一端，所述出风口组包括至少一个出风口，所述出风口用于排出所述载物设备内的吹扫气体，所述出风口与抽排装置连接。

在一种实施方式中，所述承载装置包括承载平台和位移机构，所述承载平台包括用于承载所述待承载对象的承载面，所述位移机构与所述承载平台连接，用于带动所述承载平台移动。

在一种实施方式中，所述位移机构包括第一位移机构和第二位移机构，所述第一位移机构用于带动所述承载平台平移，所述第二位移机构用于带动所述承载平台转动。

在一种实施方式中，还包括吹扫装置，所述吹扫装置与所述进风口组连接，所述吹扫装置用于所述承载装置的承载面和/或所述承载装置的承载面上方空间提供吹扫气体，所述吹扫装置包括吹风孔，所述吹风孔的位置高于或齐平于所述待承载对象的表面。

在一种实施方式中，其特征在于，所述吹扫装置包括风板，所述风板包括长条形吹风面，所述吹风孔位于所述吹风面，且沿所述吹风面延伸方向均匀排布。

本实用新型还一种处理设备，其特征在于，包括如上任一项所述的载物设备和处理单元。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的载物设备的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的载物设备拆除所有盖板后的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的载物设备拆除第一盖板后的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参考图1和图2，图1为本实用新型实施例提供的载物设备的结构示意图，图2为本实用新型实施例提供的载物设备拆除盖板后的结构示意图，图3为本实用新型实施例提供的载物设备拆除第一盖板后的结构示意图。为解决现有及时中，载物设备维修费时的技术问题，本实用新型提供一种载物设备，该载物设备包括壳体和设置在壳体内的承载装置210。该承载装置210用于承载待测对象；该壳体包括主体支架110和多个盖板，该主体支架110包括至少一底板和多个支柱112，承载装置210设于底板上，多个盖板均与主体支架110可拆卸连接。

通过以上设置，可以快速将盖板安装在主体支架上或者从主体支架上拆除，从而便于对设置在壳体内的承载装置进行维修，省时便利。

在本实用新型实施例中，待承载对象包括晶圆，可以是未加工处理的晶圆，也可以是经加工处理图案化的晶圆；在其他实施例中，待承载对象还包括玻璃、显示面板、手机中框、手机盖板等。

请参阅图2，主体支架110包括底板111和多个支架112，多个支架112分别设置在底板111的顶角处，在本实施例中，底板111为长方形，支架112的数量为4个，分别设置在底板111的四个顶角处；在其他实施例中，支架也可以设置在底板的边缘处。底板111和多个支架112可以是一体成型的，也可以是组装而成的。主体支架可以由大理石或者金属等材料制备而成，主体支架具有较高的抗振动性能，防止载物设备振动，使其保持较高的稳定性。

在本实施例中，底板111的短边对应的两个支柱之间还设有横梁113，该横梁113可以进一步加强主体支架110的稳定性。

在本实施例中，盖板包括第一盖板130和多个第二盖板120，第一盖板130和多个第二120均与主体支架110固定连接，主体支架110与多个盖板形成闭合空间，防止外界污染物进入载物设备污染被承载对象。盖板有金属材料制备而成。在其他实施方式中，主体支架110与多个盖板形成非闭合空间，即载物设备的一侧或多侧具有开口。

在本实施例中，第一盖板130与主体支架110的底板111相对设置，第一盖板130为方形，第一盖板的尺寸与底板111的尺寸相同。第一盖板130固定在支柱112远离底板的端面，该端面设有螺孔，用于固定螺钉；对应地，第一盖板130的四个顶角设有通孔，螺钉贯穿该通孔将第一盖板130与支柱112固定连接。采用螺钉连接，可以解决后期的拆卸以及再安装的问题。在本实施例中，也可以采用其他固定连接方式，如采用胶水连接，只要能满足可拆卸连接的要求即可。

在本实施例中，第二盖板120的数量为4，也就是说，包括两组相对设置的第二盖板120，第二盖板120的两个侧端分别与相邻两个支柱112固定连接，第二盖板120的底端与介于该相邻两个支柱112之间的底板111的一侧边固定连接，请再次参阅图2，支柱112和底板111均设有L型台阶，用于安装盖板；进一步地，在L型台阶垂直于底板111的一面设有螺孔，用于固定螺钉；对应地，第二盖板120上设有对应的通孔，螺钉贯穿通孔将第二盖板120与主体支架110固定连接。此外，第二盖板120的上端与第一盖板130的一侧边相抵。主体支架110与第一盖板130和第二盖板120形成一闭合空间，防止外界杂质进入载物设备而污染待承载对象。采用螺钉连接，可以解决后期的拆卸以及再安装的问题。在本实施例中，也可以采用其他固定连接方式，如采用胶水连接，只要能满足可拆卸连接的要求即可。

以下将对第一盖板130和第二盖板120进行详细的描述。请再次参阅图1和图3。第一盖板130上设置有处理窗口131，通过该处理窗口131可以对承载于载物设备内的待承载对象进行处理，如对待承载对象进行刻蚀加工、或者对待承载对象进行光学检测等。通过该设置，可以使得待承载对象在加工或者检测过程中始终位于载物设备内防止其被污染。该处理窗口131的形状和大小可以根据需求而定，可以满足加工处理或检测处理即可。

此外，两组第二盖板120中，至少一个第二盖板120设有进风口组121，该进风口组121包括至少一个进风口，该进风口用于与供风装置连接，为载物设备提供吹扫气体。进风口组121设置在第二盖板120远离底板111的一端，也就是说，进风口组121设置在第二盖板120的上端。在本实施例中，底板111的短边对应的一组第二盖板120设有进风口组121；当然，在其他情况下，也可以在其他第二盖板120设有进风口组，满足使用需求即可。更具体地，第二盖板120的上端设有第一开口，该进风口组121设置在该第一开口处，该进风口组121可以通过螺钉固定连接在该第一开口处，也可以通过其他方式固定连接在该第一开口处，使得进风口组121后期可顺利从该第一开口处拆卸及在固定安装在该第一开口处。

两组第二盖板120中，至少一个第二盖板120设有出风口组124，该出风口124包括至少一个出风口，出风口用于与抽排装置连接，用于排出该载物设备内的吹扫气体。该出风口组124设置在第二盖板120靠近底板111的一端，即该出风口组124设置在第二盖板120的下端，通过将进风口组121设置在第二盖板120的上端，排风口组124设置在第二盖板120的下端，使得进入该载物设备内的吹扫气体能从上往下进行吹扫，防止杂质在该载物设备内乱窜。在本实施例中，四个第二盖板120均设有出风口组124，如此设置，在使用时可以根据需求选择性使用该出风口组124，如可以选择性使用设置在与底边111上边对应的一组第二盖板120上的出风口组124，也可以选择性使用任意一第二盖板120上的出风口组124，满足使用需求即可。更具体地，第二盖板120靠近下端处设有第一通孔，出风口组124设置在该通孔处，出风口组124通过螺钉固定在该第一通孔处，也可以采用其他方式固定连接在第一通孔处，使得出风口组124后期可以顺利从该第一通孔处拆卸以及再固定安装至该第一通孔处。

此外，至少一个第二盖板120设有送样窗口，待承载对象通过该送样窗口移入或者移出该载物设备，该送样窗口的大小与机械手臂和待承载对象的大小相匹配，若送样窗口的尺寸过大，外界杂质容易通过送样窗口进入该载物设备；若送样窗口的尺寸过小，机械手臂或待承载对象无法顺利通过该送样窗口进入该载物设备内。在本实施例中，底板111长边对应的第二盖板120设有送样窗口，该送样窗口为长条形，且该送样窗口设置在第二盖板120远离底板111的一端，通过该送样窗口可顺利将待承载对象放置于承载装置210上，或者将待承载对象从承载装置210上取走。

进一步地，至少一个第二盖板120设有观测窗口，该观测窗口包括观测门122和卡扣123，该卡扣123用于锁紧或者打开该观测门122，第二盖板120在靠近上端处设有第二通孔或者第二开口，观测门122通过卡扣123固定在该第二通孔或者第二开口处形成观测窗口。在本实施例中，观测门122可以是由透明材料制备而成，也可以有非透明材料制备而成。该观测门122上进一步设有把手，便于取放该观测门122。将观测门122取下后，可以通过观测窗口观察载物设备内承载装置的状态以及承载装置上承载的待承载对象的状态，以便及时了解该载物设备内的状况。在本实施例中，观测窗口与送样窗口对应设置，也就是说，观测窗口和送样窗口分别设置在相对设置的一组第二盖板120上。且该观测窗口设置在该第二盖板远离底板111的一端，通过观测窗口，一方面可以观测承载装置210上待承载对象的所处状态，另一方面可以观测承载装置本身的状态。

在本实施例中，该载物设置进一步包括吹扫装置230，该吹扫装置230与进风口组121连通，吹扫装置230用于向承载装置210的承载面和/或承载面上方空间提供吹扫气体，吹扫装置包括吹风孔，吹风孔的位置高于或齐平于待承载对象的表面。吹扫装置230能够对待承载对象的表面及以上空间进行吹扫，保证待承载对象对象表面的清洁度，避免杂质污染待承载对象。

进一步地，吹扫装置230提供的吹扫气体覆盖承载装置210的运动范围，由于吹扫气体能够覆盖承载装置210的运动范围，因此，承载装置210在处理过程中带动待测对象移动至任一位置，吹扫装置230都能够向待测对象提供吹扫气体，以保证待测对象的清洁度。

在本实施例中，吹扫装置230包括风板231，该风板231包括长条形吹风面，吹风孔位于吹风面且沿吹风面延伸方向均匀分布，具体的，可将风板231沿承载装置21的预设运动路径的侧边设置，且风板231沿风板231延伸方向贯穿底板111的短边，使得由风板231的吹风孔所吹出的吹扫气体能够覆盖承载装置210的运动范围，更具体地，多个吹风孔的出气方向与承载装置210的承载面平行或者与承载装置21的承载面具有锐角夹角。

在本实施例中，承载装置210包括承载平台211和位移机构。该承载平台211包括承载面，该承载平台211包括吸盘，该吸盘为真空吸盘、静电吸盘或者气浮吸盘中的至少一种，吸盘用于固定待承载对象，使待承载对象在运动过程中保持稳定。该吸盘可直接对晶圆表面进行固定，也可以夹持晶圆边缘进行固定，还可以同时对晶圆表面进行固定和边缘进行夹持固定。

此外，位移机构包括第一位移机构和第二位移机构，其中，第一位移机构用于带动承载平台211平移，如图2所示，第一位移机构用于带动承载平台沿轨道212移动。在本实施例中，第一位移机构可带动承载平台211沿底板111的长边方向平移，也可带动承载平台211沿底边111的短边方向平移。第二位移机构用于带动承载平台211旋转，具体地，第二位移机构用于带动承载平台211绕该承载平台211的中心轴线旋转。

本实用新型还提供一种处理设备，包括上述所述的载物设备，还包括处理单元，载物设备用于承载待承载对象；该处理单元包括加工装置或检查装置等，用于对载物设备内承载的待承载对象进行加工处理或者检测处理，更具体地，处理单元通过载物设备的处理窗口131对待承载对象进行加工处理或者检测处理等。

综上所述，本实用新型提供一种载物设备，该该载物设备包括壳体和设置在壳体内的承载装置210。该承载装置210用于承载待测对象；该壳体包括主体支架110和多个盖板，该主体支架110包括至少一底板和多个支柱112，承载装置210设于底板上，多个盖板均与主体支架110可拆卸连接。通过以上设置，当载物设备内的承载装置210发生故障时，可以便利快捷地将盖板从主体支架拆离，进而对设置在该载物设备内的承载装置进行维修，具有省时便利的优势。

虽然参照特定的示例来描述了本实用新型，其中，这些特定的示例仅仅旨在是示例性的，而不是对本实用新型进行限制，但对于本领域普通技术人员来说是显而易见的是，在不脱离本实用新型的精神和保护范围的基础上，可以对所公开的实施例进行改变、增加或者删除。

Claims (13)

1.一种载物设备，包括壳体和设置在壳体内的承载装置，所述承载装置用于承载待承载对象，其特征在于，所述壳体包括主体支架和多个盖板，所述主体支架包括至少一底板和多个支柱，所述承载装置设于所述底板上，多个所述盖板均与所述主体支架可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的载物设备，其特征在于，所述盖板包括第一盖板，所述第一盖板与所述主体的所述底板相对设置，与所述支柱远离所述底板的端面固定连接。

3.根据权利要求2所述的载物设备，其特征在于，所述第一盖板设有处理窗口。

4.根据权利要求1所述的载物设备，其特征在于，所述盖板还包括两组相对设置的第二盖板，所述第二盖板固定于相邻两个所述支柱。

5.根据权利要求4所述的载物设备，其特征在于，至少一个所述第二盖板设有进风口组，所述进风口组包括至少一个进风口，所述进风口与供风装置连接。

6.根据权利要求4所述的载物设备，其特征在于，至少一个所述第二盖板设有送样窗口，所述待承载对象通过所述送样窗口移出或移入至所述载物设备。

7.根据权利要求4所述的载物设备，其特征在于，至少一个所述盖板设有观测窗口，所述观测窗口设有观测门和卡扣，所述卡扣用于锁紧或者打开所述观测门。

8.根据权利要求5所述的载物设备，其特征在于，所述第二盖板设有出风口组，所述出风口组设置在靠近所述底板的一端，所述出风口组包括至少一个出风口，所述出风口用于排出所述载物设备内的吹扫气体，所述出风口与抽排装置连接。

9.根据权利要求1所述的载物设备，其特征在于，所述承载装置包括承载平台和位移机构，所述承载平台包括用于承载所述待承载对象的承载面，所述位移机构与所述承载平台连接，用于带动所述承载平台移动。

10.根据权利要求9所述的载物设备，其特征在于，所述位移机构包括第一位移机构和第二位移机构，所述第一位移机构用于带动所述承载平台平移，所述第二位移机构用于带动所述承载平台转动。

11.根据权利要求5所述的载物设备，其特征在于，还包括吹扫装置，所述吹扫装置与所述进风口组连接，所述吹扫装置用于所述承载装置的承载面和/或所述承载装置的承载面上方空间提供吹扫气体，所述吹扫装置包括吹风孔，所述吹风孔的位置高于或齐平于所述待承载对象的表面。

12.根据权利要求11所述的载物设备，其特征在于，所述吹扫装置包括风板，所述风板包括长条形吹风面，所述吹风孔位于所述吹风面，且沿所述吹风面延伸方向均匀排布。

13.一种处理设备，其特征在于，包括如权利要求1-12任一项所述的载物设备和处理单元。

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