CN213181295U - 一种瑕疵检测机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种瑕疵检测机，包括机架、输送机构以及CCD检测装置，所述机架上设有用于放置待测样品的料盘，所述料盘的一侧设有伺服机械手，作业时，所述伺服机械手将料盘中的待测样品转移输送机构，输送机构的上方设有CCD检测装置，待测样品在输送过程中完成瑕疵检测，所述CCD检测装置电性连接有报警器。本申请的瑕疵检测机检测效率高，且CCD检测装置可以高效实现对不同复杂纹理的表面的检测，不仅检测精度高，适应性广泛，速度快，而且监测到不合格的样品时，可以通过报警器进行发出警报，提醒作业者剔除不合格的样品。

Description

一种瑕疵检测机

技术领域

本实用新型涉及半导体引线框架蚀刻瑕疵检测技术领域，具体涉及一种瑕疵检测机。

背景技术

引线框架是一种借助于键合材料(金丝、铝丝、铜丝)实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接，形成电气回路的关键结构件，它起到了和外部导线连接的桥梁作用，绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框架，是电子信息产业中重要的基础材料。引线框架通常采用蚀刻法进行制造，通过使用化学物质蚀刻掉材料的一部分而制成产品，制造出来的引线框架表面可能会存在连接点、毛刺、蚀刻点或瑕疵点，从而影响产品的质量。目前，引线框架表面的瑕疵和缺陷通常是通过人眼去识别和检测，效率低下，检测的难度高，而且人眼识别的精确度也不够，因此批量出售引线框架时，难免会存在一些不合格的产品。

实用新型内容

本实用新型针对上述现有技术存在的问题，提供了一种瑕疵检测机，该瑕疵检测机可以实现引线框架的自动检测，检测效率高，检测精度高，可以大大降低人工检测的工作压力。

为了实现上述的目的，实用新型采用以下技术措施：

一种瑕疵检测机，包括机架、输送机构以及CCD检测装置，所述机架上设有用于放置待测样品的料盘，所述料盘的一侧设有伺服机械手，作业时，所述伺服机械手将料盘中的待测样品转移输送机构，输送机构的上方设有CCD检测装置，待测样品在输送过程中完成瑕疵检测，所述CCD检测装置电性连接有报警器。

作为优选，所述CCD检测装置至少设有两个，分别设置输送机构的上方的两侧。

作为优选，所述料盘、输送机构均设有两个，两个所述输送机构平行设置，两个所述料盘分别对应设置在两个所述输送机构一侧。

作为优选，所述机架上设有支撑架，所述CCD检测装置包括CCD相机以及同轴光源，所述CCD相机设置在所述同轴光源上方。

作为优选，所述料盘上设有三根限位柱，三根所述限位柱呈三角分布。

作为优选，所述输送机构包括滑轨，所述滑轨上滑动配合有滑座，所述滑座上连接有传送托盘。

作为优选，所述CCD检测装置设有四个，两两对应设置在两个所述输送机构上方。

作为优选，所述机架的下部设有机箱，机箱内设有控制器，所述CCD检测装置、报警器电性连接所述控制器。

作为优选，两个所述输送机构采用错位传送。

实用新型的有益效果在于：

与现有技术相比，本实用新型的瑕疵检测机可以将待测样品放置在料盘上，通过伺服机械手将待测样品放到传送机构上进行输送，输送机构的上方设有CCD检测装置，待测样品在输送过程中完成瑕疵检测，效率高，且CCD检测装置可以高效实现对不同复杂纹理的表面的检测，不仅检测精度高，适应性广泛，速度快，而且监测到不合格的样品时，可以通过报警器进行发出警报，提醒作业者剔除不合格的样品。

附图说明

图1为本实用新型一种瑕疵检测机的结构原理图；

图2为本实用新型一种瑕疵检测机的结构图；

图3为本实用新型一种瑕疵检测机的料盘的结构图；

图4为本实用新型一种瑕疵检测机的侧视图。

具体实施方式

下面将结合实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-图4所示，一种瑕疵检测机，包括机架1、输送机构4以及CCD检测装置5，所述机架1上设有用于放置待测样品的料盘2，所述料盘2的一侧设有伺服机械手3，作业时，所述伺服机械手3将料盘2中的待测样品转移输送机构4，输送机构4的上方设有CCD检测装置5，待测样品在输送过程中完成瑕疵检测，所述CCD检测装置5电性连接有报警器6。

所述伺服机械手3包括横向布置在所述料盘2和输送机构4一侧的X轴直线模组和Y轴直线模组，Y轴直线模组可滑动地安装在X轴直线模组上，Y轴直线模组可沿所述X轴直线模组做往返直线移动，Y轴直线模组上设置有机械臂，机械臂可沿所述Y轴直线模组做上下直线移动，机械臂的底部连接有真空吸盘，所述机械臂可通过真空吸盘吸附待测样品。

所述CCD检测装置5至少设有两个，分别设置所述输送机构4的上方的两侧，所述机架1上设有支撑架7，所述CCD检测装置5包括CCD相机51以及同轴光源52，所述CCD相机51设置在所述同轴光源52上方。所述料盘2和输送机构4可分别设有一个，也可以分别设有两个或两个以上。

在本实施例中，所述料盘2、输送机构4均设有两个，两个所述输送机构4平行设置，两个所述料盘2分别对应设置在两个所述输送机构4一侧。任一所述输送机构4的上方均设有两个所述CCD检测装置5，因此，所述CCD检测装置5设有四个，两两前后对应设置在两个所述输送机构4上方。

更详细的，所述料盘2上设有三根限位柱21，三根所述限位柱21呈三角分布，用于限定待测样品的放置位置，所述限位柱21的一侧均设有调整长孔，通过调整所述限位柱21在调整长孔的固定位置可以实现调整待测样品的放置位置大小，从而满足不同规格的待测样品需求。

此外，所述输送机构4包括滑轨41，所述滑轨41上滑动配合有滑座42，所述滑座42上连接有传送托盘43，待测样品通过所述伺服机械手3转移至所述传动托盘43上，传送托盘43可在滑座42的带动下经过从所述CCD检测装置5下方经过，CCD检测装置5对待测样品的外观进行检测，所述机架1的下部设有机箱11，机箱11内设有控制器8，所述CCD检测装置5、报警器6电性连接所述控制器8，CCD检测装置5将检测结果反馈至所述控制器8，所述控制器8可以控制所述报警器6发声，当所述CCD检测装置5监测到不合格的样品时，所述控制器8根据检测结果向所述报警器6发送运行指令，所述报警器6发出警报，提醒作业者剔除不合格的样品。

更详细的，两个所述输送机构4采用错位传送，当其中一个所述输送机构4向所述伺服机械手3一侧移动时，另一个输送机构4向CCD检测装置5一侧移动，有利于提高工作效率，方便作业者知晓不合格的样品。

综上所述，本实用新型的瑕疵检测机可以将待测样品放置在料盘上，通过伺服机械手将待测样品放到传送机构上进行输送，输送机构的上方设有CCD检测装置，待测样品在输送过程中完成瑕疵检测，效率高，且CCD检测装置可以高效实现对不同复杂纹理的表面的检测，不仅检测精度高，适应性广泛，速度快，而且监测到不合格的样品时，可以通过报警器进行发出警报，提醒作业者剔除不合格的样品。

以上内容是结合具体的优选实施方式对实用新型所作的进一步详细说明，不能认定实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种瑕疵检测机，包括机架(1)、输送机构(4)以及CCD检测装置(5)，其特征在于，所述机架(1)上设有用于放置待测样品的料盘(2)，所述料盘(2)的一侧设有伺服机械手(3)，作业时，所述伺服机械手(3)将料盘(2)中的待测样品转移输送机构(4)，输送机构(4)的上方设有CCD检测装置(5)，待测样品在输送过程中完成瑕疵检测，所述CCD检测装置(5)电性连接有报警器(6)。

2.根据权利要求1所述的一种瑕疵检测机，其特征在于，所述CCD检测装置(5)至少设有两个，分别设置输送机构(4)的上方的两侧。

3.根据权利要求1或2所述的一种瑕疵检测机，其特征在于，所述料盘(2)、输送机构(4)均设有两个，两个所述输送机构(4)平行设置，两个所述料盘(2)分别对应设置在两个所述输送机构(4)一侧。

4.根据权利要求1所述的一种瑕疵检测机，其特征在于，所述机架(1)上设有支撑架(7)，所述CCD检测装置(5)包括CCD相机(51)以及同轴光源(52)，所述CCD相机(51)设置在所述同轴光源(52)上方。

5.根据权利要求1所述的一种瑕疵检测机，其特征在于，所述料盘(2)上设有三根限位柱(21)，三根所述限位柱(21)呈三角分布。

6.根据权利要求1所述的一种瑕疵检测机，其特征在于，所述输送机构(4)包括滑轨(41)，所述滑轨(41)上滑动配合有滑座(42)，所述滑座(42)上连接有传送托盘(43)。

7.根据权利要求3所述的一种瑕疵检测机，其特征在于，所述CCD检测装置(5)设有四个，两两对应设置在两个所述输送机构(4)上方。

8.根据权利要求1所述的一种瑕疵检测机，其特征在于，所述机架(1)的下部设有机箱(11)，机箱(11)内设有控制器(8)，所述CCD检测装置(5)、报警器(6)电性连接所述控制器(8)。

9.根据权利要求3所述的一种瑕疵检测机，其特征在于，两个所述输送机构(4)采用错位传送。

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