CN213091730U - 用于实现晶圆移动检测的防位移装置及晶圆检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置及晶圆检测装置。所述防位移装置包括：相互配合的底座和盖板，所述底座具有一收容槽，所述收容槽内还设置有至少一个支撑部件，所述盖板能够与所述底座固定结合并与所述收容槽围合形成一收容腔；以及所述盖板还具有沿厚度方向贯穿所述盖板的窗口，所述窗口与所述收容腔连通。本实用新型实施例提供的一种晶圆检测装置，能够与晶圆检测仪器配合使用，从而在晶圆的运动过程中实现对整张晶圆的检测，且能够保持在检测的运动过程中保持晶圆不会移动，进而可以有效防止晶圆在检测仪器测试时瞬动所导致的位移现象。
Description
技术领域
本实用新型特别涉及一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置及晶圆检测装置，属于半导体技术领域。
背景技术
芯片在移动检测中，需要将晶圆固定在工作台上，现有的检测装置一般是通过抽真空装置把晶圆固定吸附在工作台面上，然而，这种硬接触虽能能够有效固定晶圆，但不可避免的会造成晶圆背部的镀膜面被划伤，进而造成晶圆损伤、损坏，进而导致晶圆的检测结果误差以及晶圆无法继续使用的问题。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置及晶圆检测装置，以克服现有技术中的不足。
为实现前述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案包括：
本实用新型实施例提供了一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其包括：相互配合的底座和盖板，所述底座具有一收容槽，所述收容槽内还设置有至少一个支撑部件，所述盖板能够与所述底座固定结合并与所述收容槽围合形成一收容腔；以及
所述盖板还具有沿厚度方向贯穿所述盖板的窗口，所述窗口与所述收容腔连通；
其中，所述晶圆包括第一部分和第二部分，所述第二部分具有待检测的区域，当待检测的晶圆被安置于所述收容槽内的支撑部件上且所述底座和盖板固定结合时，所述晶圆被固定于所述收容腔内，至少所述晶圆的第二部分的待检测区域自所述窗口处露出，并且所述晶圆的第二部分与所述盖板、底座无直接接触。
本实用新型实施例提供了一种晶圆检测装置，包括检测机构、驱动机构和固定夹具，所述驱动机构与所述固定夹具传动配合并能够驱使所述固定夹具沿预设轨迹移动，其中，所述固定夹具包括所述的用于实现晶圆移动检测的防位移装置。
与现有技术相比，本实用新型的优点包括：
1)本实用新型实施例提供的一种晶圆检测装置，结构简单，使用方便，其能通过磁性吸引的方式使底座和盖板固定结合，并将所述底座和盖板之间的吸力转化为施加于晶圆上的压力，从而实现对晶圆的固定；
2)本实用新型实施例提供的一种晶圆检测装置的底座具有收容槽，盖板上具有窗口，晶圆固定在底座和盖板之间时，其第二部分不会直接与底座和盖板接触，因此可以防止晶圆(主要是晶圆背面的镀膜)被划伤；
3)本实用新型实施例提供的一种晶圆检测装置，能够与晶圆检测仪器配合使用，从而在晶圆的运动过程中实现对整张晶圆的检测，且能够保持在检测的运动过程中保持晶圆不会移动，进而可以有效防止晶圆在检测仪器测试时瞬动所导致的位移现象。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型一典型实施案例中一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置的俯视图；
图2是本实用新型一典型实施案例中一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置的底座的剖面结构示意图；
图3是图1中A-A处的剖面结构示意图；
图4是图1中A-A处的剖面结构示意图；
图5是一种晶圆的结构示意图。
具体实施方式
鉴于现有技术中的不足，本案发明人经长期研究和大量实践，得以提出本实用新型的技术方案。如下将对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。
本实用新型主要提供了一种用于运动过程中检测的防位移装置，通过该装置可有效避免晶圆背部镀膜划伤情况，以及在整片检测的运动过程中导致晶圆移位而造成的漏检情况。
本实用新型实施例提供了一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其包括：相互配合的底座和盖板，所述底座具有一收容槽，所述收容槽内还设置有至少一个支撑部件，所述盖板能够与所述底座固定结合并与所述收容槽围合形成一收容腔；以及
所述盖板还具有沿厚度方向贯穿所述盖板的窗口，所述窗口与所述收容腔连通；
其中，所述晶圆包括第一部分和第二部分，所述第二部分具有待检测的区域，当待检测的晶圆被安置于所述收容槽内的支撑部件上且所述底座和盖板固定结合时，所述晶圆被固定于所述收容腔内，至少所述晶圆的第二部分的待检测区域自所述窗口处露出，并且所述晶圆的第二部分与所述盖板、底座无直接接触。
进一步的，当所述晶圆被固定于所述收容腔内时，所述盖板、底座和支撑部件直接与所述晶圆的第一部分接触，从而将所述晶圆固定夹持在所述底座、支撑部件和盖板之间。
进一步的，所述晶圆的第一部分环绕第二部分分布。
进一步的，所述支撑部件设置在所述收容槽的侧壁和/或槽底，当所述待检测的晶圆被安置于所述收容槽内时，所述晶圆的第一部分直接与所述支撑部件接触，且至少是所述晶圆的第二部分与所述收容槽的槽底之间具有间隙。
进一步的，所述支撑部件包括沿所述收容槽的周向间隔分布的多个凸起部，所述凸起部自所述收容槽的侧壁沿底座的径向方向延伸形成，或者，所述凸起部自所述收容槽的槽底沿底座的轴向方向延伸形成。
进一步的，所述支撑部件为沿所述收容槽的周向连续分布的环形凸起部，所述环形凸起部自所述收容槽的侧壁沿底座的径向方向延伸形成，或者，所述环形凸起部自所述收容槽的槽底沿底座的轴向方向延伸形成。
进一步的，所述环形凸起部同时与所述收容槽的侧壁、槽底固定结合，并且，所述环形凸起部与所述槽底配合形成台阶结构。
进一步的，所述盖板为环形构件。
进一步的，所述盖板与所述晶圆接触的区域为连续的平面或曲面，或者，所述盖板与所述晶圆接触的区域具有与所述晶圆相匹配的台阶结构。
进一步的，所述晶圆具有侧面以及背对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面和第二表面均具有第一区域和第二区域，其中，所述第一区域位于所述晶圆的第一部分上，所述第二区域位于所述晶圆的第二部分上；
当所述晶圆被固定于所述收容腔内时，所述盖板、支撑部件分别直接与所述晶圆的第一表面、第二表面的第一区域无间隙的贴合，所述底座收容槽的侧壁与晶圆的侧面无间隙的贴合，从而将所述晶圆固定夹持在所述底座、支撑部件和盖板之间，同时，所述晶圆第一表面的第二区域自所述窗口处露出，所述晶圆第二表面的第二区域与所述收容槽的槽底之间具有间隙。
进一步的，所述盖板和底座通过磁性吸附的方式固定结合。
进一步的，所述盖板和底座中的一者为具有磁性的磁体，另一者为磁性金属构件。
进一步的，所述盖板和底座均为具有磁性的磁体，并且，所述盖板和底座的磁性相反。
进一步的，所述盖板和底座中的一者为磁性金属构件，另一者内可拆卸地嵌设有多个磁体，所述多个磁体环绕所述窗口或收容槽分布；
或者，所述盖板和底座均为磁性金属构件，所述盖板和底座中的至少一者上设置有多个安装孔，所述多个安装孔环绕所述窗口或收容槽分布，所述安装孔内可拆卸地设置有磁体。
本实用新型实施例提供了一种晶圆检测装置，包括检测机构、驱动机构和固定夹具，所述驱动机构与所述固定夹具传动配合并能够驱使所述固定夹具沿预设轨迹移动，其中，所述固定夹具包括所述的用于实现晶圆移动检测的防位移装置。
如下将结合附图对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。
请参阅图1-图5，一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其包括：相互配合的底座 100和盖板200，所述底座具有一收容槽110，所述收容槽100内还设置有至少一个支撑部件 120，所述盖板200能够与所述底座100固定结合并与所述收容槽围合形成一收容腔；以及
所述盖板200还具有沿厚度方向贯穿所述盖板的窗口(可以理解为，所述盖板为环形构件)210，所述窗口210与所述收容腔连通；
其中，所述晶圆300包括第一部分310和第二部分320，所述晶圆的第一部分310环绕第二部分320分布，所述第二部分320具有待检测的区域，当待检测的晶圆300被安置于所述收容槽110内的支撑部件120上且所述底座100和盖板200固定结合时，所述晶圆300被固定于所述收容腔内，至少所述晶圆300的第二部分320的待检测区域自所述窗口210处露出，并且所述晶圆300的第二部分320与所述盖板200、底座100无直接接触。
具体的，可以理解为晶圆的第一部分310为边缘部分，该第一部分310于径向方向上的宽度小于0.5mm。
具体的，当所述晶圆300被固定于所述收容腔内时，所述盖板200、底座100和支撑部件 120直接与所述晶圆300的第一部分310接触，从而将所述晶圆300固定夹持在所述底座100、支撑部件120和盖板200之间。
具体的，所述支撑部件120设置在所述收容槽110的侧壁112和/或槽底111，当所述待检测的晶圆300被安置于所述收容槽110内时，所述晶圆300的第一部分310直接与所述支撑部件120接触，且至少是所述晶圆300的第二部分320与所述收容槽110的槽底111之间具有间隙。
具体的，所述支撑部件120包括沿所述收容槽110的周向间隔分布的多个凸起部，所述凸起部自所述收容槽110的侧壁112沿底座100的径向方向延伸形成，或者，所述凸起部自所述收容槽110的槽底111沿底座100的轴向方向延伸形成。
具体的，所述支撑部件120为沿所述收容槽100的周向连续分布的环形凸起部，所述环形凸起部自所述收容槽100的侧壁112沿底座100的径向方向延伸形成，或者，所述环形凸起部自所述收容槽110的槽底111沿底座100的轴向方向延伸形成。
具体的，所述环形凸起部同时与所述收容槽110的侧壁112、槽底111固定结合，并且，所述环形凸起部与所述槽底111配合形成台阶结构。
具体的，所述盖板200与所述晶圆300接触的区域为连续的平面或曲面(例如图3所示)，或者，所述盖板200与所述晶圆接触的区域具有与所述晶圆相匹配的台阶结构(例如图4所示)。
具体的，所述晶圆具有侧面以及背对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面和第二表面均具有第一区域和第二区域，其中，所述第一区域位于所述晶圆的第一部分上，所述第二区域位于所述晶圆的第二部分上，至少所述第二表面的第二区域覆设有镀膜；
当所述晶圆被固定于所述收容腔内时，所述盖板200、支撑部件120分别直接与所述晶圆 300的第一表面、第二表面的第一区域无间隙的贴合，所述底座100收容槽的侧壁112与晶圆的侧面无间隙的贴合，从而将所述晶圆300固定夹持在所述底座100、支撑部件120和盖板200 之间，同时，所述晶圆300第一表面的第二区域自所述盖板200的窗口210处露出，所述晶圆 300第二表面的第二区域与所述收容槽的槽底111之间具有间隙400。
具体的，所述盖板200和底座100通过磁性吸附的方式固定结合，盖板200和底座100相互吸引并将盖板200和底座100之间吸引转化为施加于晶圆300上的压力，从而达到固定晶圆的目的。
具体的，所述盖板200和底座100中的一者为具有磁性的磁体，另一者为磁性金属构件，或者，所述盖板200和底座100均为具有磁性的磁体，并且，所述盖板200和底座100的磁性相反。
具体的，所述盖板200和底座100中的一者为磁性金属构件，另一者内可拆卸地嵌设有多个磁体，所述多个磁体环绕所述窗口210或收容槽110分布；或者，所述盖板200和底座100 均为磁性金属构件，所述盖板200和底座100中的至少一者上设置有多个安装孔500，所述多个安装孔500环绕所述窗口210或收容槽分布，所述安装孔500内可拆卸地设置有磁体，图1 中仅示出了在盖板200设置安装孔500，并在安装孔500内设置磁体的图例，当然，还可以在底座100上设置安装孔并在底座的安装孔内设置磁体以吸附盖板，其中，磁体可以拆卸安装，以便更换不同磁力的磁体以提供不同的吸附力。
本实用新型实施例提供的一种晶圆检测装置，结构简单，使用方便，其能通过磁性吸引的方式使底座和盖板固定结合，并将所述底座和盖板之间的吸力转化为施加于晶圆上的压力，从而实现对晶圆的固定；本实用新型实施例提供的一种晶圆检测装置的底座具有收容槽，盖板上具有窗口，晶圆固定在底座和盖板之间时，其第二部分不会直接与底座和盖板接触，因此可以防止晶圆(主要是晶圆背面的镀膜)被划伤。
本实用新型实施例提供的一种晶圆检测装置，能够与晶圆检测仪器配合使用，从而在晶圆的运动过程中实现对整张晶圆的检测，且能够保持在检测的运动过程中保持晶圆不会移动，进而可以有效防止晶圆在检测仪器测试时瞬动所导致的位移现象。
应当理解，上述实施例仅为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于包括：相互配合的底座和盖板，所述底座具有一收容槽，所述收容槽内还设置有至少一个支撑部件，所述盖板能够与所述底座固定结合并与所述收容槽围合形成一收容腔；以及
所述盖板还具有沿厚度方向贯穿所述盖板的窗口，所述窗口与所述收容腔连通；
其中，所述晶圆包括第一部分和第二部分，所述第二部分具有待检测的区域，当待检测的晶圆被安置于所述收容槽内的支撑部件上且所述底座和盖板固定结合时，所述晶圆被固定于所述收容腔内，至少所述晶圆的第二部分的待检测区域自所述窗口处露出，并且所述晶圆的第二部分与所述盖板、底座无直接接触。
2.根据权利要求1所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：当所述晶圆被固定于所述收容腔内时，所述盖板、底座和支撑部件直接与所述晶圆的第一部分接触，从而将所述晶圆固定夹持在所述底座、支撑部件和盖板之间。
3.根据权利要求2所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：所述晶圆的第一部分环绕第二部分分布。
4.根据权利要求2所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：所述支撑部件设置在所述收容槽的侧壁和/或槽底，当所述待检测的晶圆被安置于所述收容槽内时，所述晶圆的第一部分直接与所述支撑部件接触，且至少是所述晶圆的第二部分与所述收容槽的槽底之间具有间隙。
5.根据权利要求4所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：所述支撑部件包括沿所述收容槽的周向间隔分布的多个凸起部，所述凸起部自所述收容槽的侧壁沿底座的径向方向延伸形成，或者，所述凸起部自所述收容槽的槽底沿底座的轴向方向延伸形成。
6.根据权利要求4所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：所述支撑部件为沿所述收容槽的周向连续分布的环形凸起部，所述环形凸起部自所述收容槽的侧壁沿底座的径向方向延伸形成，或者，所述环形凸起部自所述收容槽的槽底沿底座的轴向方向延伸形成。
7.根据权利要求6所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：所述环形凸起部同时与所述收容槽的侧壁、槽底固定结合，并且，所述环形凸起部与所述槽底配合形成台阶结构。
8.根据权利要求2所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：所述盖板为环形构件；和/或，所述盖板与所述晶圆接触的区域为连续的平面或曲面，或者，所述盖板与所述晶圆接触的区域具有与所述晶圆相匹配的台阶结构；
和/或，所述晶圆具有侧面以及背对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面和第二表面均具有第一区域和第二区域，其中，所述第一区域位于所述晶圆的第一部分上，所述第二区域位于所述晶圆的第二部分上；
当所述晶圆被固定于所述收容腔内时，所述盖板、支撑部件分别直接与所述晶圆的第一表面、第二表面的第一区域无间隙的贴合，所述底座收容槽的侧壁与晶圆的侧面无间隙的贴合，从而将所述晶圆固定夹持在所述底座、支撑部件和盖板之间，同时，所述晶圆第一表面的第二区域自所述窗口处露出，所述晶圆第二表面的第二区域与所述收容槽的槽底之间具有间隙。
9.根据权利要求1所述用于实现晶圆移动检测的防位移装置，其特征在于：所述盖板和底座通过磁性吸附的方式固定结合；
和/或，所述盖板和底座中的一者为具有磁性的磁体，另一者为磁性金属构件，
或者，所述盖板和底座均为具有磁性的磁体，并且，所述盖板和底座的磁性相反；
或者，所述盖板和底座中的一者为磁性金属构件，另一者内可拆卸地嵌设有多个磁体，所述多个磁体环绕所述窗口或收容槽分布；
或者，所述盖板和底座均为磁性金属构件，所述盖板和底座中的至少一者上设置有多个安装孔，所述多个安装孔环绕所述窗口或收容槽分布，所述安装孔内可拆卸地设置有磁体。
10.一种晶圆检测装置，包括检测机构、驱动机构和固定夹具，所述驱动机构与所述固定夹具传动配合并能够驱使所述固定夹具沿预设轨迹移动，其特征在于：所述固定夹具包括权利要求1-9中任一项所述的用于实现晶圆移动检测的防位移装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022109922.XU CN213091730U (zh) | 2020-09-23 | 2020-09-23 | 用于实现晶圆移动检测的防位移装置及晶圆检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN202022109922.XU CN213091730U (zh) | 2020-09-23 | 2020-09-23 | 用于实现晶圆移动检测的防位移装置及晶圆检测装置 |
Publications (1)
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|---|---|
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202022109922.XU Active CN213091730U (zh) | 2020-09-23 | 2020-09-23 | 用于实现晶圆移动检测的防位移装置及晶圆检测装置 |
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- 2020-09-23 CN CN202022109922.XU patent/CN213091730U/zh active Active
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