CN213089446U - 防止特气污染装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及防止特气污染装置，包括控制箱，所述控制箱中设有特气供气盘面、氮气吹扫管路和原隔离阀门，所述原隔离阀门的一侧安设有新增隔离阀门，所述新增隔离阀门与所述原隔离阀门之间连接有新增压力传感器，所述特气供气盘面上安装有调配组件，为加强防止内部泄漏交叉污染，通过于特气柜盘面特定位置处增加阀件及压力传感器的形式,可及时发现问题并立即处理，有效防止当阀门有问题发生交叉污染时无法及时发现,当工艺制程出现问题时已经造成巨大损失的情况发生，解决了原先当正常供应特气时,氮气控制阀门是关闭状态,当发生控制阀门损坏内漏时氮气将影响到特气的纯度导致工艺制程出问题,防范性较差的问题，安全性高。

Description

防止特气污染装置

技术领域

本实用新型涉及高新产业特种气体供应技术领域，尤其涉及防止特气污染装置。

背景技术

特气柜指的是主要用于供应特种气体的柜子，气体一般有易燃，易爆，剧毒等特性，主要用于半导体和LED的新兴行业，是特种气体供应系统里主要设备,特种气体是光电子、微电子等领域，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料，它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性，特气柜配置有氮气吹扫功能设置,当正常供应特气时,氮气控制阀门是关闭状态,当发生控制阀门损坏内漏时氮气将影响到特气的纯度导致工艺制程出问题,安全性低，所以要加强防范就变得极为必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供了防止特气污染装置，具有可及时发现发生交叉污染问题并立即处理的优点。

实现上述目的的技术方案是：

本实用新型提供了防止特气污染装置，包括控制箱，所述控制箱中设有特气供气盘面、氮气吹扫管路和原隔离阀门，所述原隔离阀门的一侧安设有新增隔离阀门，所述新增隔离阀门与所述原隔离阀门之间连接有新增压力传感器，所述特气供气盘面上安装有调配组件，所述调配组件包括调压阀组、过流量计，所述控制箱顶部的前表面上设有触摸屏、指示灯和控制开关。

优选的，所述原隔离阀门、所述新增压力传感器和所述新增隔离阀门均设置有两个。为了在出现问题时，起到较好的信号传递及防护效果。

优选的，所述调配组件还包括有内压力传感器。为了为装置的正常运作提供有利条件。

优选的，所述特气供气盘面充满特气。为了使得后续工作正常有序的进行。

优选的，所述触摸屏为高强度透明塑料构件。为了保障触摸屏正常观察功能的同时，也具备较好的外部防护效果。

优选的，所述特气供气盘面内安装有电磁阀。为了使得装置的调控过程正常有序的进行。

本实用新型的有益效果是：本实用新型在使用的过程中，为加强防止内部泄漏交叉污染，通过于特气柜盘面特定位置处增加阀件及压力传感器的形式,可及时发现问题并立即处理，有效防止当阀门有问题发生交叉污染时无法及时发现,当工艺制程出现问题时已经造成巨大损失的情况发生，解决了原先当正常供应特气时,氮气控制阀门是关闭状态,当发生控制阀门损坏内漏时氮气将影响到特气的纯度导致工艺制程出问题,防范性较差的问题，安全性高，保证了对特气柜安全高效的利用操作。

附图说明

图1为本实用新型防止特气污染装置运作时内部结构示意图；

附图标记说明：

1、特气供气盘面；2、氮气吹扫管路；3、原隔离阀门；4、新增压力传感器；5、新增隔离阀门；6、控制箱；7、触摸屏；8、指示灯；9、调压阀组；10、过流量计；11、内压力传感器；12、调配组件。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。

参阅图1所示，本实用新型提供防止特气污染装置，包括控制箱6，控制箱6中设有特气供气盘面1、氮气吹扫管路2和原隔离阀门3，原隔离阀门3的一侧安设有新增隔离阀门5，新增隔离阀门5与原隔离阀门3之间连接有新增压力传感器4，特气供气盘面1上安装有调配组件12，调配组件12包括调压阀组9、过流量计10，控制箱6顶部的前表面上设有触摸屏7、指示灯8和控制开关，原结构的特气供气盘面1和氮气吹扫管路2只有两个隔离阀件,即原隔离阀门3的部分，在原先的基础上，于原隔离阀门3的一侧的位置，硬件上再增加两个隔离阀件与两个压力传感器，即新增隔离阀门5和新增压力传感器4的部分，当正常使用设备时,特气供气盘面1为充满特气,氮气吹扫管路2都为真空状态,原隔离阀门3跟新增隔离阀门5之间抽成负压状态,新增压力传感器4的部分将负压值传送回设备控制器，当两个隔离阀之一有内漏发生,新增压力传感器4的读值将发生变化,设备控制器将发出警报，及时的通知技术人员至现场处理，传递判断简单，方便安装应用，有效防止当阀门有问题发生交叉污染时无法及时发现,当工艺制程出现问题时已经造成巨大损失的情况发生，解决了原先当正常供应特气时,氮气控制阀门是关闭状态,当发生控制阀门损坏内漏时氮气将影响到特气的纯度导致工艺制程出问题,防范性较差的问题，安全性高，保证了对特气柜安全高效的利用操作。本实用新型根据附图对该装置作进一步说明。

进一步的，如图1所示，原隔离阀门3、新增压力传感器4和新增隔离阀门5均设置有两个，新增压力传感器4和新增隔离阀门5能够在出现问题时，起到较好的信号传递及防护效果。

进一步的，如图1所示，调配组件12还包括有内压力传感器11，调配组件12除了调压阀组9、过流量计10和内压力传感器11，还有其他的配件等，为装置的正常运作提供了有利条件。

进一步的，如图1所示，特气供气盘面1充满特气，充满特气的特气供气盘面1，使得后续工作正常有序的进行。

进一步的，如图1所示，触摸屏7为高强度透明塑料构件，高强度透明塑料制的触摸屏7，在保障正常观察功能的同时，也具备较好的外部防护效果。

进一步的，如图1所示，特气供气盘面1内安装有电磁阀，新增压力传感器4开关由控制箱6内电磁阀控制，使得装置的调控过程正常有序的进行。

本实用新型的工作原理是：本实用新型在使用的过程中，原结构的特气供气盘面1和氮气吹扫管路2只有两个隔离阀件,即原隔离阀门3的部分，包括AV7L和AV7R，在原先的基础上，于原隔离阀门3的一侧的位置，硬件上再增加两个隔离阀件与两个压力传感器，即新增隔离阀门5和新增压力传感器4的部分，也就是AV7LA、AV7RA和PT4L、PT4R，PT讯号接进控制箱6，当正常使用设备时,特气供气盘面1为充满特气,氮气吹扫管路2都为真空状态,原隔离阀门3跟新增隔离阀门5之间抽成负压状态,新增压力传感器4的部分将负压值传送回设备控制器，当两个隔离阀之一有内漏发生,新增压力传感器4的读值将发生变化,设备控制器将发出警报，及时的通知技术人员至现场处理，传递判断简单，方便安装应用，有效防止当阀门有问题发生交叉污染时无法及时发现,当工艺制程出现问题时已经造成巨大损失的情况发生，解决了原先当正常供应特气时,氮气控制阀门是关闭状态,当发生控制阀门损坏内漏时氮气将影响到特气的纯度导致工艺制程出问题,防范性较差的问题，安全性高，保证了对特气柜安全高效的利用操作。

以上结合附图实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域中普通技术人员可根据上述说明对本实用新型做出种种变化例。因而，实施例中的某些细节不应构成对本实用新型的限定，本实用新型将以所附权利要求书界定的范围作为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.防止特气污染装置，包括控制箱，其特征在于，所述控制箱中设有特气供气盘面、氮气吹扫管路和原隔离阀门，所述原隔离阀门的一侧安设有新增隔离阀门，所述新增隔离阀门与所述原隔离阀门之间连接有新增压力传感器，所述特气供气盘面上安装有调配组件，所述调配组件包括调压阀组、过流量计，所述控制箱顶部的前表面上设有触摸屏、指示灯和控制开关。

2.根据权利要求1所述防止特气污染装置，其特征在于，所述原隔离阀门、所述新增压力传感器和所述新增隔离阀门均设置有两个。

3.根据权利要求1所述防止特气污染装置，其特征在于，所述调配组件还包括有内压力传感器。

4.根据权利要求1所述防止特气污染装置，其特征在于，所述特气供气盘面充满特气。

5.根据权利要求1所述防止特气污染装置，其特征在于，所述触摸屏为高强度透明塑料构件。

6.根据权利要求1所述防止特气污染装置，其特征在于，所述特气供气盘面内安装有电磁阀。

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