CN213042879U - 一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，包括气缸、连杆、映射传感器、电机、丝杆、安装板、固定座、转动套、卡块、滑轨、挡板、连接块、滑块、顶板、操作盒、安装框、安装架、移动块、第一限位块、推动杆、限位板、第二限位块、L型板、接线端子、连接头和挡杆，所述连接头位于靠近L型板的一侧，所述电机的输出端套接固定连接有转动套，所述电机的输出端与丝杆的一端固定连接，所述丝杆的两端分别与固定座的中心处安装的轴承内部套接固定连接，利用安装的映射传感器有利于检测出晶圆卡匣内是否存在晶圆片和晶圆对应层数数据统计并且对晶圆斜插、叠片等功能，有利于及时知道对应层数是否存在晶圆片，提高了工作效率。

Description

一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，在制造生产晶圆的过程中，晶圆安装框是必不可少的，它是放置晶圆的容器，其中在生产制作晶圆的过程中，不利于检测晶圆卡匣内是否存在晶圆片，从而不利于及时补充晶圆片，降低了工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，包括气缸、连杆、映射传感器、电机、丝杆、安装板、固定座、转动套、卡块、滑轨、挡板、连接块、滑块、顶板、操作盒、安装框、安装架、移动块、第一限位块、推动杆、限位板、第二限位块、L型板、接线端子、连接头和挡杆，所述连接头位于靠近L型板的一侧，所述电机的输出端套接固定连接有转动套，所述电机的输出端与丝杆的一端固定连接，所述丝杆的两端分别与固定座的中心处安装的轴承内部套接固定连接，所述滑轨的一侧分别与安装板的一侧顶端中心两侧固定连接，所述滑轨的底端分别与卡块的中心处开设的凹槽内部固定连接，所述卡块的一端分别与安装板的一侧中心两端固定连接，所述安装板的一侧两端分别与挡杆的一侧固定连接，所述挡板的顶端中心一侧与顶板的底端一侧固定连接，所述顶板的顶端中心处与气缸的底端固定连接，所述气缸的输出端与移动块的一端中心处固定连接，所述顶板的两侧中心一端分别与限位板的相向一侧中心底端固定连接，所述限位板的顶端中心一侧开设有凹槽，且推动杆的中心两端分别位于该凹槽的内部，所述推动杆的两端分别与第二限位块的一端中心处固定连接，所述安装板的顶端与安装框的底端固定连接，所述安装框的一侧两端分别与安装架的一侧固定连接，所述安装框的顶端与操作盒的底端中心处固定连接，所述操作盒的底端中心两侧分别与安装架的顶端固定连接。

进一步的，所述安装板的一侧底端中心两端分别与接线端子和连接头的一端固定连接，所述安装板的一侧底端两侧分别与L型板和电机的一侧固定连接，所述接线端子位于靠近电机的一侧。

进一步的，所述固定座的一端分别与安装板的一侧中心两端固定连接，所述丝杆上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母的一端与挡板的一侧中心一端固定连接，所述挡板的一侧中心两端分别与连接块的一端固定连接，所述连接块的另一端分别与滑块的一端固定连接，所述滑块的另一端分别位于滑轨上。

进一步的，所述移动块的底端位于第一限位块的顶端中心处开设的限位凹槽的内部，所述第一限位块的底端与顶板的顶端中心一侧固定连接，所述移动块的顶端中心处开设有凹槽，且推动杆的中心处位于该凹槽的内部。

进一步的，所述第二限位块的另一端分别与连杆的相向一侧中心底端贴合，所述连杆的底端分别与L型板转动连接，所述L型板的一侧分别与安装板的另一侧中心两端固定连接，所述连杆的相向一侧顶端中心处分别与映射传感器的两端固定连接，所述安装板的中心顶端开设有凹槽。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：该实用新型，通过打开电机带动丝杆的转动，从而带动滑块、连接块和挡板的移动，且滑块位于滑轨上移动，从而调节挡板与安装框之间的位置关系，且通过打开气缸使移动块位于第一限位块上移动，且推动杆位于限位板上开设的凹槽内部移动，从而带动连杆的摆动，从而调节映射传感器与安装框之间的位置关系，进而利用安装的映射传感器对放置在卡匣内的晶圆片进行检测，有利于及时补充晶圆片，缩短了机器的等待时间，提高了工作效率。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的整体结构侧视图；

图3是本实用新型的整体结构立体图；

图4是图3中A区域的放大图；

图中：1、气缸；2、连杆；3、映射传感器；4、电机；5、丝杆；6、安装板；7、固定座；8、转动套；9、卡块；10、滑轨；11、挡板；12、连接块；13、滑块；14、顶板；15、操作盒；16、安装框；17、安装架；18、移动块；19、第一限位块；20、推动杆；21、限位板；22、第二限位块；23、L型板；24、接线端子；25、连接头；26、挡杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，包括气缸1、连杆2、映射传感器3、电机4、丝杆5、安装板6、固定座7、转动套8、卡块9、滑轨10、挡板11、连接块12、滑块13、顶板14、操作盒15、安装框16、安装架17、移动块18、第一限位块19、推动杆20、限位板21、第二限位块22、L型板23、接线端子24、连接头25和挡杆26，安装板6的一侧底端中心两端分别与接线端子24和连接头25的一端固定连接，安装板6的一侧底端两侧分别与L型板23和电机4的一侧固定连接，接线端子24位于靠近电机4的一侧，有利于通过导线与电源固定连接，连接头25位于靠近L型板23的一侧，电机4的输出端套接固定连接有转动套8，电机4的输出端与丝杆5的一端固定连接，丝杆5的两端分别与固定座7的中心处安装的轴承内部套接固定连接，固定座7的一端分别与安装板6的一侧中心两端固定连接，丝杆5上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母的一端与挡板11的一侧中心一端固定连接，挡板11的一侧中心两端分别与连接块12的一端固定连接，连接块12的另一端分别与滑块13的一端固定连接，滑块13的另一端分别位于滑轨10上，有利于滑块13位于滑轨10上移动，滑轨10的一侧分别与安装板6的一侧顶端中心两侧固定连接，滑轨10的底端分别与卡块9的中心处开设的凹槽内部固定连接，卡块9的一端分别与安装板6的一侧中心两端固定连接，安装板6的一侧两端分别与挡杆26的一侧固定连接，挡板11的顶端中心一侧与顶板14的底端一侧固定连接，顶板14的顶端中心处与气缸1的底端固定连接，气缸1的输出端与移动块18的一端中心处固定连接，移动块18的底端位于第一限位块19的顶端中心处开设的限位凹槽的内部，第一限位块19的底端与顶板14的顶端中心一侧固定连接，移动块18的顶端中心处开设有凹槽，且推动杆20的中心处位于该凹槽的内部，有利于推动杆20的移动，顶板14的两侧中心一端分别与限位板21的相向一侧中心底端固定连接，限位板21的顶端中心一侧开设有凹槽，且推动杆20的中心两端分别位于该凹槽的内部，推动杆20的两端分别与第二限位块22的一端中心处固定连接，第二限位块22的另一端分别与连杆2的相向一侧中心底端贴合，连杆2的底端分别与L型板23转动连接，L型板23的一侧分别与安装板6的另一侧中心两端固定连接，连杆2的相向一侧顶端中心处分别与映射传感器3的两端固定连接，安装板6的中心顶端开设有凹槽，安装板6的顶端与安装框16的底端固定连接，安装框16的一侧两端分别与安装架17的一侧固定连接，安装框16的顶端与操作盒15的底端中心处固定连接，操作盒15的底端中心两侧分别与安装架17的顶端固定连接；当使用该实用新型时，通过打开电机4带动丝杆5的转动，且丝杆5上安装的滚珠螺母与挡板11固定连接，从而带动挡板11的移动，且随着挡板11的移动带动连接块12和滑块13的移动，且滑块13位于滑轨10上移动，且挡板11与顶板14固定连接，从而带动顶板14的移动，随着顶板14的移动从而带动推动杆20和第二限位块22的移动，从而调节第二限位块22与连杆2之间的位置关系，随后通过打开气缸1带动移动块18的移动，且移动块18位于第一限位块19上开设的滑槽移动，从而带动推动杆20和第二限位块22的移动，且推动杆20位于限位板21上开设的凹槽内部移动，从而调节第二限位块22与连杆2之间的位置关系，进而调节映射传感器3与安装框16之间的位置关系，从而便于根据调节映射传感器3与安装框16之间的位置关系利用安装的映射传感器3对放置在安装框16上的卡匣内是否存在晶圆片，有利于及时补充晶圆，缩短了机器的等待时间，提高了工作效率。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，包括气缸(1)、连杆(2)、映射传感器(3)、电机(4)、丝杆(5)、安装板(6)、固定座(7)、转动套(8)、卡块(9)、滑轨(10)、挡板(11)、连接块(12)、滑块(13)、顶板(14)、操作盒(15)、安装框(16)、安装架(17)、移动块(18)、第一限位块(19)、推动杆(20)、限位板(21)、第二限位块(22)、L型板(23)、接线端子(24)、连接头(25)和挡杆(26)，其特征在于：所述连接头(25)位于靠近L型板(23)的一侧，所述电机(4)的输出端套接固定连接有转动套(8)，所述电机(4)的输出端与丝杆(5)的一端固定连接，所述丝杆(5)的两端分别与固定座(7)的中心处安装的轴承内部套接固定连接，所述滑轨(10)的一侧分别与安装板(6)的一侧顶端中心两侧固定连接，所述滑轨(10)的底端分别与卡块(9)的中心处开设的凹槽内部固定连接，所述卡块(9)的一端分别与安装板(6)的一侧中心两端固定连接，所述安装板(6)的一侧两端分别与挡杆(26)的一侧固定连接，所述挡板(11)的顶端中心一侧与顶板(14)的底端一侧固定连接，所述顶板(14)的顶端中心处与气缸(1)的底端固定连接，所述气缸(1)的输出端与移动块(18)的一端中心处固定连接，所述顶板(14)的两侧中心一端分别与限位板(21)的相向一侧中心底端固定连接，所述限位板(21)的顶端中心一侧开设有凹槽，且推动杆(20)的中心两端分别位于该凹槽的内部，所述推动杆(20)的两端分别与第二限位块(22)的一端中心处固定连接，所述安装板(6)的顶端与安装框(16)的底端固定连接，所述安装框(16)的一侧两端分别与安装架(17)的一侧固定连接，所述安装框(16)的顶端与操作盒(15)的底端中心处固定连接，所述操作盒(15)的底端中心两侧分别与安装架(17)的顶端固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，其特征在于：所述安装板(6)的一侧底端中心两端分别与接线端子(24)和连接头(25)的一端固定连接，所述安装板(6)的一侧底端两侧分别与L型板(23)和电机(4)的一侧固定连接，所述接线端子(24)位于靠近电机(4)的一侧。

3.根据权利要求1所述的一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，其特征在于：所述固定座(7)的一端分别与安装板(6)的一侧中心两端固定连接，所述丝杆(5)上安装有滚珠螺母，且滚珠螺母的一端与挡板(11)的一侧中心一端固定连接，所述挡板(11)的一侧中心两端分别与连接块(12)的一端固定连接，所述连接块(12)的另一端分别与滑块(13)的一端固定连接，所述滑块(13)的另一端分别位于滑轨(10)上。

4.根据权利要求1所述的一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，其特征在于：所述移动块(18)的底端位于第一限位块(19)的顶端中心处开设的限位凹槽的内部，所述第一限位块(19)的底端与顶板(14)的顶端中心一侧固定连接，所述移动块(18)的顶端中心处开设有凹槽，且推动杆(20)的中心处位于该凹槽的内部。

5.根据权利要求1所述的一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，其特征在于：所述第二限位块(22)的另一端分别与连杆(2)的相向一侧中心底端贴合，所述连杆(2)的底端分别与L型板(23)转动连接，所述L型板(23)的一侧分别与安装板(6)的另一侧中心两端固定连接，所述连杆(2)的相向一侧顶端中心处分别与映射传感器(3)的两端固定连接，所述安装板(6)的中心顶端开设有凹槽。

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