CN217689078U - 一种芯片测试机的翻转机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种芯片测试机的翻转机构，包括机体、测试台和固定板一，所述工作台的顶部对称安装有支柱，所述工作台的顶部安装有测试台，一组所述驱动滑块的顶部安装有固定板一，所述测试台的顶部安装有安装板，所述机体的背面安装有安装箱。本实用新型通过在安装箱的顶部内侧安装有负压泵，负压泵运行经传输管对连接筒内部的气体进行抽取使吸盘内部形成负压，实现了吸盘对测试芯片的紧固吸附，防止了定位时与测试芯片表面接触对其造成损坏，伸缩杆一和伸缩杆二工作对放置在吸盘上方的测试芯片两侧进行夹持，避免了测试过程中测试芯片位置发生偏移导致较大测量误差的产生，提高了测量精度，增强了实用性能。

Description

一种芯片测试机的翻转机构

技术领域

本实用新型涉及集成电路芯片及产品制造技术领域，具体为一种芯片测试机的翻转机构。

背景技术

芯片是半导体元件产品的统称，集成电路芯片或微电路、微芯片、晶片，在电子学中是一种把电路小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上，在芯片生产过程中为了有效的检测芯片的性能质量，需要通过芯片测试机对其进行检测，由于芯片测试机独特的测试手法，需要在测试过程中对其翻转移动，从而对芯片进行准确的接触测试。

现有技术中翻转机构存在的缺陷是：

专利文件CN207636711U一种芯片测试机的翻转机构“包括升降气缸、支架、滑轨、滑块、电动机、平移气缸和安装板，支架设置在升降气缸的输出轴上，并与升降气缸的输出轴固定连接，滑轨固定设置在支架顶端，滑轨右端面开设有滑槽，滑块位于滑槽内部，并与滑槽滑动连接，安装板固定设置在滑轨右端面后侧，平移气缸设置在安装板前端面，滑块设置在平移气缸的输出轴上，并与平移气缸的输出轴固定连接，电动机固定设置在滑块右端面，该设计增加了对芯片探针的移动轨迹，便于对芯片进行全方位的探测。”现有技术中翻转机构对测试芯片的固定不够稳固，容易使测试芯片位置发生偏移导致测量结果出现偏差，且不便于对测试位置进行调节，降低了测试效率，无法满足使用需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种芯片测试机的翻转机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种芯片测试机的翻转机构，包括机体、测试台和固定板一，所述机体的顶部安装有工作台，所述工作台的顶部对称安装有支柱，所述支柱的内侧安装有滑槽架；

所述工作台的顶部安装有测试台，所述测试台的顶部对称安装有滑轨座，所述滑轨座的顶部嵌合安装有驱动滑块，一组所述驱动滑块的顶部安装有固定板一，所述固定板一的外侧安装有电动机，所述电动机的输出端贯穿固定板一的外侧安装有伸缩杆一，另一组所述驱动滑块的顶部安装有固定板二；

所述测试台的顶部安装有安装板，所述安装板的顶部安装有升降杆，所述升降杆的输出端安装有连接筒，所述机体的背面安装有安装箱。

优选的，所述机体的正面铰接安装有开关门。

优选的，所述滑槽架的外侧嵌合安装有驱动装置，驱动装置的正面安装有气缸，气缸的输出端安装有测试头。

优选的，所述滑轨座的顶部安装有限位块，且限位块与驱动滑块相配合。

优选的，所述固定板二的内侧活动安装有伸缩杆二，伸缩杆一和伸缩杆二的输出端安装有夹持板。

优选的，所述连接筒的顶部安装有吸盘。

优选的，所述安装箱的顶部内侧安装有负压泵，负压泵的输入端安装有传输管，且传输管的输入端与连接筒的内部连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过在安装箱的顶部内侧安装有负压泵，负压泵运行经传输管对连接筒内部的气体进行抽取使吸盘内部形成负压，实现了吸盘对测试芯片的紧固吸附，防止了定位时与测试芯片表面接触对其造成损坏，伸缩杆一和伸缩杆二工作对放置在吸盘上方的测试芯片两侧进行夹持，避免了测试过程中测试芯片位置发生偏移导致较大测量误差的产生，提高了测量精度，增强了实用性能。

2、本实用新型通过在滑轨座的顶部嵌合安装有驱动滑块，驱动滑块运行在滑轨座上移动带动固定板进行水平方向上的位置调整，测试芯片一面测试完成后电动机运行带动伸缩一转动，伸缩杆二传动使得夹持板同步旋转，实现了测试芯片的稳定翻面转动，为工作人员提供了便捷，提高了测试效率，满足使用需求。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的正面结构示意图；

图3为本实用新型的吸盘立体结构示意图；

图4为本实用新型的安装箱内部结构示意图。

图中：1、机体；101、工作台；102、开关门；2、支柱；201、滑槽架；202、驱动装置；203、气缸；204、测试头；3、测试台；301、滑轨座；302、驱动滑块；303、限位块；4、固定板一；401、电动机；402、伸缩杆一；403、固定板二；404、伸缩杆二；405、夹持板；5、安装板；501、升降杆；502、连接筒；503、吸盘；6、安装箱；601、负压泵；602、传输管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接或活动连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1和图2，本实用新型提供的一种实施例：一种芯片测试机的翻转机构；

包括机体1、支柱2和驱动装置202，机体1的顶部安装有工作台101，机体1的正面铰接安装有开关门102，工作台101对支柱2进行支撑，工作台101的顶部对称安装有支柱2，支柱2的内侧安装有滑槽架201，滑槽架201的外侧嵌合安装有驱动装置202，驱动装置202的正面安装有气缸203，气缸203的输出端安装有测试头204，支柱2为滑槽架201提供了安装位置，驱动装置202运行在滑槽架201内侧移动带动气缸203进行水平方向上的移动，气缸203工作推动测试头204向下移动与测试芯片进行接触。

请参阅图1和图2，一种芯片测试机的翻转机构；

包括测试台3、固定板一4和固定板二403，工作台101的顶部安装有测试台3，测试台3的顶部对称安装有滑轨座301，滑轨座301的顶部嵌合安装有驱动滑块302，滑轨座301的顶部安装有限位块303，且限位块303与驱动滑块302相配合，驱动滑块302运行在滑轨座301上移动带动固定板一4和固定板二403进行水平方向上的位置调整，限位块303对驱动滑块302的移动位置进行限制，一组驱动滑块302的顶部安装有固定板一4，固定板一4的外侧安装有电动机401，电动机401的输出端贯穿固定板一4的外侧安装有伸缩杆一402，另一组驱动滑块302的顶部安装有固定板二403，固定板二403的内侧活动安装有伸缩杆二404，伸缩杆一402和伸缩杆二404的输出端安装有夹持板405，伸缩杆一402和伸缩杆二404工作对放置在吸盘503上方的测试芯片两侧进行夹持，避免了测试过程中测试芯片位置发生偏移导致较大测量误差的产生，提高了测量精度，增强了实用性能，测试芯片一面测试完成后电动机401运行带动伸缩杆一402转动，伸缩杆二404传动使得夹持板405同步旋转，实现了测试芯片的稳定翻面转动，为工作人员提供了便捷，提高了测试效率。

请参阅图1、图3和图4，一种芯片测试机的翻转机构；

包括安装板5、安装箱6和负压泵601，测试台3的顶部安装有安装板5，安装板5的顶部安装有升降杆501，升降杆501的输出端安装有连接筒502，连接筒502的顶部安装有吸盘503，安装板5保证了升降杆501工作时的稳定性，升降杆501工作实现对吸盘503高度的调整，连接筒502与吸盘503相连通，机体1的背面安装有安装箱6，安装箱6的顶部内侧安装有负压泵601，负压泵601的输入端安装有传输管602，且传输管602的输入端与连接筒502的内部连接，安装箱6为负压泵601提供安装位置的同时保证了其运行时的平稳性，负压泵601运行经传输管602对连接筒502内部的气体进行抽取使吸盘503内部形成负压，实现了吸盘503对测试芯片的紧固吸附，防止了定位时与测试芯片表面接触对其造成损坏。

工作原理：使用本装置时，首先在吸盘503上对测试芯片进行放置，升降杆501工作实现对吸盘503高度的调整，负压泵601运行经传输管602对连接筒502内部的气体进行抽取使吸盘503内部形成负压，实现了吸盘503对测试芯片的紧固吸附，驱动装置202运行在滑槽架201内侧移动带动气缸203进行水平方向上的移动，驱动滑块302运行在滑轨座301上移动带动固定板一4和固定板二403进行水平方向上的位置调整，伸缩杆一402和伸缩杆二404工作对放置在吸盘503上方的测试芯片两侧进行夹持，气缸203工作推动测试头204向下移动与测试芯片进行接触，测试芯片一面测试完成后电动机401运行带动伸缩杆一402转动，伸缩杆二404传动使得夹持板405同步旋转，实现了测试芯片的稳定翻面转动，本芯片测试机的翻转机构避免了测试过程中测试芯片位置发生偏移导致较大测量误差的产生，提高了测量精度和测试效率，增强了实用性能。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (7)

1.一种芯片测试机的翻转机构，包括机体(1)、测试台(3)和固定板一(4)，其特征在于：所述机体(1)的顶部安装有工作台(101)，所述工作台(101)的顶部对称安装有支柱(2)，所述支柱(2)的内侧安装有滑槽架(201)；

所述工作台(101)的顶部安装有测试台(3)，所述测试台(3)的顶部对称安装有滑轨座(301)，所述滑轨座(301)的顶部嵌合安装有驱动滑块(302)，一组所述驱动滑块(302)的顶部安装有固定板一(4)，所述固定板一(4)的外侧安装有电动机(401)，所述电动机(401)的输出端贯穿固定板一(4)的外侧安装有伸缩杆一(402)，另一组所述驱动滑块(302)的顶部安装有固定板二(403)；

所述测试台(3)的顶部安装有安装板(5)，所述安装板(5)的顶部安装有升降杆(501)，所述升降杆(501)的输出端安装有连接筒(502)，所述机体(1)的背面安装有安装箱(6)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片测试机的翻转机构，其特征在于：所述机体(1)的正面铰接安装有开关门(102)。

3.根据权利要求1所述的一种芯片测试机的翻转机构，其特征在于：所述滑槽架(201)的外侧嵌合安装有驱动装置(202)，驱动装置(202)的正面安装有气缸(203)，气缸(203)的输出端安装有测试头(204)。

4.根据权利要求1所述的一种芯片测试机的翻转机构，其特征在于：所述滑轨座(301)的顶部安装有限位块(303)，且限位块(303)与驱动滑块(302)相配合。

5.根据权利要求1所述的一种芯片测试机的翻转机构，其特征在于：所述固定板二(403)的内侧活动安装有伸缩杆二(404)，伸缩杆一(402)和伸缩杆二(404)的输出端安装有夹持板(405)。

6.根据权利要求1所述的一种芯片测试机的翻转机构，其特征在于：所述连接筒(502)的顶部安装有吸盘(503)。

7.根据权利要求1所述的一种芯片测试机的翻转机构，其特征在于：所述安装箱(6)的顶部内侧安装有负压泵(601)，负压泵(601)的输入端安装有传输管(602)，且传输管(602)的输入端与连接筒(502)的内部连接。

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