CN218827031U - 一种晶圆立体转移装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶圆立体转移装置，其通过第一旋转单元带动驱动底座转动，进而带动晶圆吸取装置转动，再通过驱动装置驱动晶圆吸取装置沿远离或靠近驱动底座的方向移动，可以使得晶圆平台的布置位置更加灵活；例如，可以令晶圆平台竖直设置，固晶平台水平设置，待晶圆吸取装置吸取到晶圆后，第一旋转单元动作，使晶圆吸取装置对准固晶平台，再通过驱动装置令晶圆吸取装置沿靠近固晶平台的方向移动，将晶圆放在固晶平台上；在该生产场景中，晶圆平台与固晶平台不再要求平行，可以呈多角度设置，即本晶圆立体转移装置灵活性高，通过晶圆立体转移装置的设置使得固晶工序的生产场景得到扩展。

Description

一种晶圆立体转移装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆级芯片加工技术领域，尤其涉及一种晶圆立体转移装置。

背景技术

近年来，随着消费类电子产品的快速发展，对半导体行业也提出更高的要求，其中，随着半导体需求的日益增加，对生产场景的扩展更是半导体行业发展的重中之重。在半导体的加工过程中，有一道工序是固晶工序，其指的是对晶圆平台上的晶圆进行转移，具体地，其通过机械手等取晶结构从晶圆平台上吸取晶圆，并将晶圆转移动固晶平台上，再通过焊接，完成固晶。

然而，上述的机械手结构通常仅能将晶圆在两个相互平行的平台之间移动，导致晶圆平台与固晶平台之间的相对位置受到限制，导致生产场景仅能受限于相互平行的晶圆平台与固晶平台，灵活性较低。即现有技术中的取晶结构导致固晶工序的生产场景受限。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆立体转移装置，来解决目前现有技术中的取晶结构导致固晶工序的生产场景受限的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种晶圆立体转移装置，包括转移底座，所述转移底座上安装有第一旋转单元，所述第一旋转单元的旋转端固定连接有驱动底座，所述驱动底座可活动地连接有用于从晶圆平台上吸取晶圆的晶圆吸取装置；

所述转移底座上还安装有驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述晶圆吸取装置沿远离或靠近所述驱动底座的方向移动。

可选地，所述驱动装置包括凸轮组件、推杆单元和推移组件；

所述凸轮组件安装于所述晶圆吸取装置上，所述凸轮组件内形成有凸轮槽；所述推杆单元与所述转移底座滑动连接，所述推杆单元的一端套设于所述凸轮槽内，且所述推杆单元倾斜设置；所述推移组件安装于所述转移底座上，所述推移组件的移动端与所述推杆单元连接，用于带动所述推杆单元相对于所述凸轮槽移动。

可选地，所述凸轮组件包括相对设置的上凸轮杆和下凸轮杆，所述上凸轮杆与所述下凸轮杆之间形成所述凸轮槽；

所述推杆单元的一端转动连接有轴承组件，所述轴承组件设置于所述凸轮槽内，并与所述凸轮槽的槽壁抵接。

可选地，所述上凸轮杆的一端部与所述晶圆吸取装置转动连接，所述下凸轮杆凸设于所述晶圆吸取装置上；

所述上凸轮杆的另一端部与所述下凸轮杆之间设置有拉簧，所述拉簧分别连接所述上凸轮杆和所述下凸轮杆。

可选地，所述轴承组件包括沿远离所述推杆单元的方向依次设置的第一轴承和第二轴承；

所述上凸轮杆对应所述第一轴承的位置开设有第一避让槽，所述下凸轮杆对应所述第二轴承的位置开设有第二避让槽。

可选地，所述推移组件包括安装于所述转移底座上的第二旋转单元，所述第二旋转单元的旋转端上安装有第一连杆件，所述第一连杆件转动连接有第二连杆件，所述第二连杆件与所述推杆单元转动连接。

可选地，所述第一连杆件上开设有转轴孔；所述第一连杆件于所述转轴孔的一侧开设有安装槽，所述安装槽的槽壁开设有安装孔，所述第一连杆件于所述转轴孔的另一侧开设有与所述第二连杆件转动连接的连接孔。

可选地，所述第一旋转单元为电机。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供的晶圆立体转移装置，其通过第一旋转单元带动驱动底座转动，进而带动晶圆吸取装置转动，再通过驱动装置驱动晶圆吸取装置沿远离或靠近驱动底座的方向移动，可以使得晶圆平台的布置位置更加灵活；例如，可以令晶圆平台竖直设置，固晶平台水平设置，待晶圆吸取装置吸取到晶圆后，第一旋转单元动作，使晶圆吸取装置对准固晶平台，再通过驱动装置令晶圆吸取装置沿靠近固晶平台的方向移动，将晶圆放在固晶平台上；在该生产场景中，晶圆平台与固晶平台不再要求平行，可以呈多角度设置，即本晶圆立体转移装置灵活性高，通过晶圆立体转移装置的设置使得固晶工序的生产场景得到扩展。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

图1为本实用新型实施例一提供的晶圆立体转移装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例一提供的晶圆立体转移装置的局部结构示意图；

图3为图2在A处的局部放大结构示意图；

图4为图2在B处的局部放大结构示意图。

图示说明：10、转移底座；20、第一旋转单元；30、驱动装置；31、凸轮组件；311、上凸轮杆；312、下凸轮杆；313、第一避让槽；314、第二避让槽；315、拉簧；32、推杆单元；33、推移组件；331、第二旋转单元；332、第一连杆件；3321、转轴孔；3322、安装槽；3323、安装孔；333、第二连杆件；34、凸轮槽；35、第一轴承；36、第二轴承；40、驱动底座；50、晶圆吸取装置。

具体实施方式

为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中设置的组件。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

请参考图1至图4，图1为本实用新型实施例一提供的晶圆立体转移装置的整体结构示意图，图2为本实用新型实施例一提供的晶圆立体转移装置的局部结构示意图，图3为图2在A处的局部放大结构示意图，图4为图2在B处的局部放大结构示意图。

实施例一

本实施例提供的晶圆立体转移装置，应用于晶圆级芯片加工技术领域中，主要设置于固晶设备中，用于晶圆平台与固晶平台之间工件的流转，通过对立体转移装置的结构进行改进，使其不再局限于从两个平行的平台之间流转的场景，能够从不平行的晶圆平台与固晶平台之间流转工件，扩展了固晶工序的生产场景。

如图1所示，本实施例的晶圆立体转移装置包括转移底座10，转移底座10上安装有第一旋转单元20，第一旋转单元20的旋转端固定连接有驱动底座40，驱动底座40可活动地连接有用于从晶圆平台上吸取晶圆的晶圆吸取装置50，转移底座10上还安装有驱动装置30，驱动装置30用于驱动晶圆吸取装置50沿远离或靠近驱动底座40的方向移动。其中，在本实施例中，驱动底座40与晶圆吸取装置50的连接方式不作限定，可以在驱动底座40与晶圆吸取装置50之间设置滑轨与滑块实现晶圆吸取装置50与驱动底座40的相对运动，也可以在驱动底座40与晶圆吸取装置50之间设置凸轮及限位槽，令驱动装置30推动晶圆吸取装置50时，晶圆吸取装置50能通过凸轮沿限位槽的延伸方向运动。

具体地，本晶圆立体转移装置其通过第一旋转单元20带动驱动底座40转动，进而带动晶圆吸取装置50转动，再通过驱动装置30驱动晶圆吸取装置50沿远离或靠近驱动底座40的方向移动，可以使得晶圆平台的布置位置更加灵活；例如，可以令晶圆平台竖直设置，固晶平台水平设置，待晶圆吸取装置50吸取到晶圆后，第一旋转单元20动作，使晶圆吸取装置50对准固晶平台，再通过驱动装置30令晶圆吸取装置50沿靠近固晶平台的方向移动，将晶圆放在固晶平台上；在该生产场景中，晶圆平台与固晶平台不再要求平行，可以呈多角度设置，即本晶圆立体转移装置灵活性高，通过晶圆立体转移装置的设置使得固晶工序的生产场景得到扩展。

进一步地，如图2所示，驱动装置30包括凸轮组件31、推杆单元32和推移组件33，凸轮组件31安装于晶圆吸取装置50上，凸轮组件31内形成有凸轮槽34；推杆单元32与转移底座10滑动连接，推杆单元32的一端套设于凸轮槽34内，且推杆单元32倾斜设置；推移组件33安装于转移底座10上，推移组件33的移动端与推杆单元32连接，用于带动推杆单元32相对于凸轮槽34移动。其中，由于推杆单元32与转移底座10滑动连接，能够保证推杆单元32的位置精度，并且由于配置凸轮槽34的凸轮组件31的位置仅取决于推杆单元32，因此，上述设置能够保证晶圆吸取装置50相对于驱动底座40的伸出量，并且不会受到第一旋转单元20的影响，因为其凸轮槽34始终套设于推杆单元32的一端外。

在其他可选的实施方式中，可以在第一旋转单元20的旋转端上安装同步转动的气缸，该气缸相当于驱动装置30，能够带动晶圆吸取装置50运动。

进一步地，如图3所示，凸轮组件31包括相对设置的上凸轮杆311和下凸轮杆312，上凸轮杆311与下凸轮杆312之间形成凸轮槽34，推杆单元32的一端转动连接有轴承组件，轴承组件设置于凸轮槽34内，并与凸轮槽34的槽壁抵接。

在一个具体的实施方式中，如图3所示，上凸轮杆311的一端部与晶圆吸取装置50转动连接，下凸轮杆312凸设于晶圆吸取装置50上，上凸轮杆311的另一端部与下凸轮杆312之间设置有拉簧315，拉簧315分别连接上凸轮杆311和下凸轮杆312。其中，通过可旋转的上凸轮杆311和拉簧315的设置，当进行组装时，先拉开拉簧315，再将轴承组件放入即可，使得轴承组件的安装得到简化，同时，通过拉簧315的设置，使得轴承组件始终与上凸轮杆311及下凸轮杆312抵接，在保证轴承组件有公差余量，防止轴承组件被卡死的同时保证了其位置精度。在其他可选的实施方式中，可以令上凸轮杆311凸设于晶圆吸取装置50上，令下凸轮杆312与晶圆吸取装置50转动连接。

进一步地，轴承组件包括沿远离推杆单元32的方向依次设置的第一轴承35和第二轴承36，上凸轮杆311对应第一轴承35的位置开设有第一避让槽313，下凸轮杆312对应第二轴承36的位置开设有第二避让槽314。其中，通过第一避让槽313和第二避让槽314的设置，使得第一轴承35始终与下凸轮杆312抵接，不与上凸轮杆311接触，使得第二轴承36始终与上凸轮杆311抵接，不与下凸轮杆312接触，能够避免任意轴承被卡死，提高了整体的稳定性。

在一个可选的实施方式中，如图3所示，推移组件33包括安装于转移底座10上的第二旋转单元331，第二旋转单元331的旋转端上安装有第一连杆件332，第一连杆件332转动连接有第二连杆件333，第二连杆件333与推杆单元32转动连接，通过上述设置能够使得整体的结构更加紧凑。在其他可选的实施方式中，推移组件33可以选用一伸缩气缸，该伸缩气缸的伸缩端用于推动推杆单元32。

进一步地，如图4所示，第一连杆件332上开设有转轴孔3321；第一连杆件332于转轴孔3321的一侧开设有安装槽3322，安装槽3322的槽壁开设有安装孔3323，第一连杆件332于转轴孔3321的另一侧开设有与第二连杆件333转动连接的连接孔。

在上述实施方式的基础上，第一旋转单元20为电机。第二旋转单元331为电机。在其他可选的实施方式中，第一旋转单元20和第二旋转单元331可以为旋转气缸等提供扭矩的装置。

综上所述，本晶圆立体转移装置具有灵活性高、稳定性高、精度高、结构紧凑等优点。

实施例二

本实施例提供一种固晶设备，其包括晶圆平台、固晶平台和如实施例一中的晶圆立体转移装置，其中，晶圆平台相对于固晶平台倾斜设置，晶圆立体转移装置设置于晶圆平台和固晶平台之间。实施例一中叙述了关于晶圆立体转移装置的具体结构及技术效果，本实施例的固晶设备同样具有其技术效果。

综上所述，本固晶设备具有灵活性高、稳定性高、精度高、结构紧凑等优点。

以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (8)

1.一种晶圆立体转移装置，其特征在于，包括转移底座(10)，所述转移底座(10)上安装有第一旋转单元(20)，所述第一旋转单元(20)的旋转端固定连接有驱动底座(40)，所述驱动底座(40)可活动地连接有用于从晶圆平台上吸取晶圆的晶圆吸取装置(50)；

所述转移底座(10)上还安装有驱动装置(30)，所述驱动装置(30)用于驱动所述晶圆吸取装置(50)沿远离或靠近所述驱动底座(40)的方向移动。

2.根据权利要求1所述的晶圆立体转移装置，其特征在于，所述驱动装置(30)包括凸轮组件(31)、推杆单元(32)和推移组件(33)；

所述凸轮组件(31)安装于所述晶圆吸取装置(50)上，所述凸轮组件(31)内形成有凸轮槽(34)；所述推杆单元(32)与所述转移底座(10)滑动连接，所述推杆单元(32)的一端套设于所述凸轮槽(34)内，且所述推杆单元(32)倾斜设置；所述推移组件(33)安装于所述转移底座(10)上，所述推移组件(33)的移动端与所述推杆单元(32)连接，用于带动所述推杆单元(32)相对于所述凸轮槽(34)移动。

3.根据权利要求2所述的晶圆立体转移装置，其特征在于，所述凸轮组件(31)包括相对设置的上凸轮杆(311)和下凸轮杆(312)，所述上凸轮杆(311)与所述下凸轮杆(312)之间形成所述凸轮槽(34)；

所述推杆单元(32)的一端转动连接有轴承组件，所述轴承组件设置于所述凸轮槽(34)内，并与所述凸轮槽(34)的槽壁抵接。

4.根据权利要求3所述的晶圆立体转移装置，其特征在于，所述上凸轮杆(311)的一端部与所述晶圆吸取装置(50)转动连接，所述下凸轮杆(312)凸设于所述晶圆吸取装置(50)上；

所述上凸轮杆(311)的另一端部与所述下凸轮杆(312)之间设置有拉簧(315)，所述拉簧(315)分别连接所述上凸轮杆(311)和所述下凸轮杆(312)。

5.根据权利要求3所述的晶圆立体转移装置，其特征在于，所述轴承组件包括沿远离所述推杆单元(32)的方向依次设置的第一轴承(35)和第二轴承(36)；

所述上凸轮杆(311)对应所述第一轴承(35)的位置开设有第一避让槽(313)，所述下凸轮杆(312)对应所述第二轴承(36)的位置开设有第二避让槽(314)。

6.根据权利要求2所述的晶圆立体转移装置，其特征在于，所述推移组件(33)包括安装于所述转移底座(10)上的第二旋转单元(331)，所述第二旋转单元(331)的旋转端上安装有第一连杆件(332)，所述第一连杆件(332)转动连接有第二连杆件(333)，所述第二连杆件(333)与所述推杆单元(32)转动连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆立体转移装置，其特征在于，所述第一连杆件(332)上开设有转轴孔(3321)；所述第一连杆件(332)于所述转轴孔(3321)的一侧开设有安装槽(3322)，所述安装槽(3322)的槽壁开设有安装孔(3323)，所述第一连杆件(332)于所述转轴孔(3321)的另一侧开设有与所述第二连杆件(333)转动连接的连接孔。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的晶圆立体转移装置，其特征在于，所述第一旋转单元(20)为电机。

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