CN213001918U - 一种平面靶材校平装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种平面靶材校平装置，包括工作台，所述工作台的台面的上侧中部设有放置台，转轴下端固定连接有锥齿轮一，所述台面下侧设置有传动轴，所述传动轴前端固定连接有锥齿轮二，所述传动轴后端固定连接有摇把，所述摇把位于台面后侧且通过固定件固定在台面的后侧，所述放置台左右两侧的台面部分上分别滑动设有百分表组件。与现有技术相比的优点在于：本实用新型采用了平面靶材的平整度检测和校平分开进行的方式，先进行平整度检测，后对不平整的平面靶材上的不平整的部分进行单独的压平机压平，效率更高；能够将平面靶材进行高效的校平，从而能够降低平面靶材的平面度误差，使得后期镀膜更加均匀。

Description

一种平面靶材校平装置

技术领域

本实用新型涉及平面靶材校平技术领域，具体是指一种平面靶材校平装置。

背景技术

平面靶材是板状的，长度长，厚度较薄，刚性差，容易弯曲变形，而且对于一些材料如高纯铜、高纯铝等金属材料制成的高纯平面靶，其靶材强度更差，在平面靶材加工过程中，会对平面靶进行多次吊运，难免会因搬运或应力加工等原因而造成平面靶材的弯曲变形。

平面靶材在进行溅射成膜加工时，平面靶材的平面度误差过大，会导致成膜不均匀，成膜与衬底之间的附着力差等问题。为了解决上述问题，我们再次提出了一种平面靶材校平装置。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服以上技术困难，提供一种能够便捷的对平面靶材进行校平，从而能够降低平面靶材的平面度误差，使得镀膜均匀的一种平面靶材校平装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：一种平面靶材校平装置，包括工作台，所述工作台的台面的上侧中部设有放置台，所述放置台下侧固定连接有转轴，所述转轴贯穿台面且与台面转动连接，转轴下端固定连接有锥齿轮一，所述台面下侧设置有传动轴，所述传动轴前端固定连接有锥齿轮二，所述锥齿轮一与锥齿轮二相配合，所述传动轴后端固定连接有摇把，所述摇把位于台面后侧且通过固定件固定在台面的后侧，所述放置台左右两侧的台面部分上分别滑动设有百分表组件，所述台面上侧固定设有倒U形架，所述放置台正上方设有压板，所述压板上侧转动连接有丝杆，所述丝杆贯穿倒U形架且与倒U形架螺纹连接。

作为改进，所述固定件为固定螺栓，所述摇把上对应固定螺栓开设有通孔，所述固定螺栓穿过通孔并螺纹连接在台面的后侧。方便随时固定住摇把。

作为改进，所述百分表组件包括百分表，支撑架和滑座，所述滑座上侧固定设有支撑架，所述支撑架上端固定连接有百分表。

作为改进，所述台面上侧对应滑座开设有滑槽，所述滑座与滑槽滑动配合连接，滑座通过锁紧螺栓固定在滑槽内。方便定向移动百分表。

作为改进，所述丝杆上端固定连接有转柄。方便转动丝杆。

本实用新型与现有技术相比的优点在于：本实用新型采用了平面靶材的平整度检测和校平分开进行的方式，先进行平整度检测，后对不平整的平面靶材上的不平整的部分进行单独的压平机压平，对于检测出来的平整度合格的平面靶材则直接投入使用，效率更高；且平面靶材可快速的对圆形平面靶材和方形平面靶材进行分别的平整度检测，检测效率更高；能够将平面靶材进行高效的校平，从而能够降低平面靶材的平面度误差，使得后期镀膜更加均匀。

附图说明

图1是本实用新型一种平面靶材校平装置的结构示意图。

图2是本实用新型一种平面靶材校平装置的俯视方向的部分结构示意图。

图3是本实用新型一种平面靶材校平装置的侧视方向的摇把部分的结构示意图。

如图所示：1、工作台，2、台面，3、放置台，4、转轴，5、锥齿轮一，6、传动轴，7、锥齿轮二，8、摇把，9、倒U形架，10、压板，11、丝杆，12、固定螺栓，13、百分表，14、支撑架，15、滑座，16、滑槽，17、锁紧螺栓，18、转柄。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明。

一种平面靶材校平装置，包括工作台1，所述工作台1的台面2的上侧中部设有放置台3，所述放置台3下侧固定连接有转轴4，所述转轴4贯穿台面2且与台面2转动连接，转轴4下端固定连接有锥齿轮一5，所述台面2下侧设置有传动轴6，传动轴6通过轴承座固定设置在台面2下侧，所述传动轴6前端固定连接有锥齿轮二7，所述锥齿轮一5与锥齿轮二7相配合，所述传动轴6后端固定连接有摇把8，所述摇把8位于台面2后侧且通过固定件固定在台面2的后侧。所述固定件为固定螺栓12，所述摇把8上对应固定螺栓12开设有通孔，所述固定螺栓12穿过通孔并螺纹连接在台面2的后侧。当检测圆形平面靶材时，解除固定螺栓12对摇把8的固定，当检测方形平面靶材时，使用固定螺栓12将摇把8固定住。

所述放置台3左右两侧的台面2部分上分别滑动设有百分表组件。设置两个百分表组件是为了能够更快速的检测出平面靶材上的不平整的部分。所述百分表组件包括百分表13，支撑架14和滑座15，所述滑座15上侧固定设有支撑架14，所述支撑架14上端固定连接有百分表13。所述百分表13为现有技术，是市场上可直接购买到的工具。所述台面2上侧对应滑座15开设有滑槽16，所述滑座15与滑槽16滑动配合连接，滑座15通过锁紧螺栓17固定在滑槽16内。

所述台面2上侧固定设有倒U形架9，所述放置台3正上方设有压板10，所述压板10上侧转动连接有丝杆11，所述丝杆11贯穿倒U形架9且与倒U形架9螺纹连接。所述丝杆11上端固定连接有转柄18。

其中值得一提的是，本实用新型的技术方案是将平面靶材的平整度检测与校平分开进行，且主要对平面靶材的平整度检测部分进行详细讲述，先进行平整度检测，然后将平面靶材上的不平整的部分标记出来，并拿到压平机上进行不平整部分的压平，从而实现平面靶材的校平。

本实用新型在具体实施时，将平面靶材放置到放置台3上，然后通过转动转柄18来使丝杆11向下运动，进而带动压板10慢慢的将放置台3上的平面靶材压紧，如果平面靶材是圆形的，则将两百分表组件分别固定在平面靶材的左右两侧，使百分表13位于平面靶材的左右两部分上，然后转动摇把8，通过锥齿轮一5与锥齿轮二7的配合，从而带动放置台3转动，进而带动其上的平面靶材转动，转动过程中观察百分表13的指针读数，从而检测出平面靶材上的不平整的部分并使用标记笔加以标记；如果平面靶材是方形的，则使用固定螺栓12将摇把8固定住，使得放置台3不再能够转动，然后放上平面靶材，分别滑动两百分表组件，然后观察百分表13的指针读数，从而检测出平面靶材上的不平整的部分并使用标记笔加以标记；随后将平面靶材拿到压平机处并对标记处的平面靶材进行压平校平。

以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种平面靶材校平装置，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)的台面(2)的上侧中部设有放置台(3)，所述放置台(3)下侧固定连接有转轴(4)，所述转轴(4)贯穿台面(2)且与台面(2)转动连接，转轴(4)下端固定连接有锥齿轮一(5)，所述台面(2)下侧设置有传动轴(6)，所述传动轴(6)前端固定连接有锥齿轮二(7)，所述锥齿轮一(5)与锥齿轮二(7)相配合，所述传动轴(6)后端固定连接有摇把(8)，所述摇把(8)位于台面(2)后侧且通过固定件固定在台面(2)的后侧，所述放置台(3)左右两侧的台面(2)部分上分别滑动设有百分表组件，所述台面(2)上侧固定设有倒U形架(9)，所述放置台(3)正上方设有压板(10)，所述压板(10)上侧转动连接有丝杆(11)，所述丝杆(11)贯穿倒U形架(9)且与倒U形架(9)螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种平面靶材校平装置，其特征在于：所述固定件为固定螺栓(12)，所述摇把(8)上对应固定螺栓(12)开设有通孔，所述固定螺栓(12)穿过通孔并螺纹连接在台面(2)的后侧。

3.根据权利要求1所述的一种平面靶材校平装置，其特征在于：所述百分表组件包括百分表(13)，支撑架(14)和滑座(15)，所述滑座(15)上侧固定设有支撑架(14)，所述支撑架(14)上端固定连接有百分表(13)。

4.根据权利要求3所述的一种平面靶材校平装置，其特征在于：所述台面(2)上侧对应滑座(15)开设有滑槽(16)，所述滑座(15)与滑槽(16)滑动配合连接，滑座(15)通过锁紧螺栓(17)固定在滑槽(16)内。

5.根据权利要求1所述的一种平面靶材校平装置，其特征在于：所述丝杆(11)上端固定连接有转柄(18)。

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