CN212864158U - 一种六氟化钨加工用纯化装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种六氟化钨加工用纯化装置，包括吸附塔本体，所述钢丝网支撑框滑接穿入吸附塔本体的内部，所述钢丝网支撑框的内部设有细网纱布袋，所述细网纱布袋的端部设有袋口，所述袋口贯穿至钢丝网支撑框的侧壁上。该装置推动第一挡块实现对钢丝网支撑框的依次推动，直至把吸附填料置入吸附塔本体的内部，再把第一挡块拧紧至进料口上，使得吸附填料安装快捷方便；拆卸时，拧动第二挡块脱离出料口，再手握打结的袋口并拉动，即可带动钢丝网支撑框脱离吸附塔本体，继而实现吸附填料的拆卸，操作快捷，省时省力，有效节约了工作时间，从而有利于提高纯化工作效率以及保证吸附填料的使用效率，即有利于保证纯化质量。

Description

一种六氟化钨加工用纯化装置

技术领域

本实用新型属于化工设备技术领域，具体涉及一种六氟化钨加工用纯化装置。

背景技术

在钨的氟化物中，WF6是唯一稳定并被工业化生产的品种，它的主要用途是在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料，WF6在电子行业中还主要用作半导体电极和导电浆糊等的原材料，WF6还有许多非电子方面的应用。由于钨粉和三氟化氮都含有杂质，上述反应制得的六氟化钨中通常含有一些杂质，主要包括氮、氧、一氧化碳、二氧化碳、三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、氟化氢等挥发性杂质和金属氟化物等非挥发性杂质，这些杂质的存在会严重影响六氟化钨在超大规模集成电路中的使用性能，因此必须去除。

为此，公开号为CN100486900C公开了一种六氟化钨气体的纯化方法，首先将粗品储罐内的不纯的六氟化钨气体通入内部装填有多孔球状的氟化钠或氟化钾填料的吸附塔的底部，在10℃～80℃下除去其中的绝大部分氟化氢杂质，再经管道进入精馏塔中液化，进一步精馏除去杂质，用气相色谱分析检测，当塔顶排除气体中各类沸点高于六氟化钨气体沸点的杂质浓度降低到要求指标时，停止通入高纯氦气，当氦气指标达到要求后，将高纯六氟化钨气体收集到精品储罐。

但仍存在以下不足：上述现有技术中，往往在吸附塔上设置进料口和出料口，当装入吸附填料进行使用时，把吸附填料通过进料口逐渐导入吸附塔的内部，当对填料进行更换或对吸附塔进行清洗时，通过出料口逐渐排出填料，此操作使得吸附填料进入、排出需要的时间较长，不便于填料的快速拆装，从而耗费工作时间，影响纯化工作效率，使用不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种六氟化钨加工用纯化装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种六氟化钨加工用纯化装置，包括吸附塔本体，所述吸附塔本体的底部和顶部的侧壁上分别固定连接有进气口和出气口，所述吸附塔本体的两侧分别设有进料口和出料口，所述进料口和出料口上分别设有第一挡块和第二挡块，所述进料口下方对应的吸附塔本体的侧壁上固定连接有支板，所述支板的端部上固定连接有立板，所述立板上滑动插接有推杆，所述推杆的端部与第一挡块固定连接，所述支板上滑动连接有钢丝网支撑框，所述钢丝网支撑框滑接穿入吸附塔本体的内部，所述钢丝网支撑框的内部设有细网纱布袋，所述细网纱布袋的端部设有袋口，所述袋口贯穿至钢丝网支撑框的侧壁上。

优选的，所述进料口和出料口均与钢丝网支撑框滑动连接，所述第一挡块和第二挡块的环形侧壁上均设有螺纹槽，所述进料口和出料口均与螺纹槽相匹配连接。

此项设置有效提高了钢丝网支撑框与进料口以及出料口之间连接结构的稳定性，安装时，把钢丝网支撑框放置支板上，并推动推动使得第一挡块把钢丝网支撑框推入吸附塔本体的内部即可，拆卸时，打开第二挡块并拉动袋口，即把钢丝网支撑框从吸附塔本体的内部拉出即可，操作快捷、方便，省时省力，并且，通过第一挡块、第二挡块便于对进料口和出料口进行密封，稳固性高，拆装方便，使得进料口和出料口开、闭方便，使用灵活。

优选的，所述第二挡块的外壁上固定连接有手柄。

此项设置便于对第二挡块进行拧动，即方便其在出料口上的拆装，便于操作。

优选的，所述钢丝网支撑框的内部设有固定槽，所述固定槽与细网纱布袋相匹配连接，所述细网纱布袋设有两个，所述细网纱布袋的内部分别填充有氟化钠填料层和氟化钾填料层。

此项设置便于安装细网纱布袋，继而便于对氟化钠填料层和氟化钾填料层进行盛装，通过氟化钠填料层和氟化钾填料层便于去除气体中的绝大部分氟化氢杂质，增强气体的提纯效果。

优选的，所述吸附塔本体的内部固定连接有过滤筛板，所述过滤筛板上设有均匀分布的透气孔，所述钢丝网支撑框位于过滤筛板的上方，所述过滤筛板的一端与出料口相对应。

此项设置通过过滤筛板便于对钢丝网支撑框进行承接，并且拆卸钢丝网支撑框时打开出料口拉出即可，操作便捷，透气孔便于下方输入的气体进入吸附塔本体的内部，即便于经过氟化钠填料层和氟化钾填料层，进行纯化操作。

优选的，所述钢丝网支撑框的一侧中部设有导向孔，所述袋口处穿入至导向孔上。

此项设置有效提高了细网纱布袋与钢丝网支撑框之间连接结构的稳定性，使得细网纱布袋安装时定位准确，并且，拆卸时，握住并拉动袋口的打结处，即可把钢丝网支撑框拉动并脱离吸附塔本体的内部，操作方便，从而方便对氟化钠填料层和氟化钾填料层的拆装，便于更换，使用方便，操作灵活，有效节省了工作时间。

与现有技术相比，本实用新型的技术效果和优点：该六氟化钨加工用纯化装置，氟化钠填料层和氟化钾填料层装入对应的细网纱布袋中，再把袋口使用带绳系住打结，即实现氟化钠填料层和氟化钾填料层的稳固安装，并把细网纱布袋装入对应的钢丝网支撑框中，同时把袋口打结处穿入导向孔中，然后，推动推杆使得第一挡块对钢丝网支撑框进行依次推动，直至把氟化钠填料层和氟化钾填料层置入吸附塔本体的内部即可，再转动推杆使得第一挡块拧紧至进料口上，对吸附塔本体进行密封即可，最后，使得气体依次经过过滤筛板、氟化钾填料层和氟化钠填料层至出气口排出并进入下部工序即可；当需要对吸附塔内部进行清理或需对内部填料进行更换时，此时，拧动第二挡块脱离出料口，再手握打结的袋口并拉动，即可带动钢丝网支撑框脱离吸附塔本体的内部，继而实现氟化钠填料层和氟化钾填料层的拆卸，操作快捷，省时省力，有效节约了工作时间，从而有利于提高了纯化工作效率以及保证吸附填料的使用效率，即有利于保证纯化质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的部分结构示意图；

图3为本实用新型的钢丝网支撑框右侧结构示意图。

图中：1、吸附塔本体；101、进气口；102、出气口；103、进料口；104、出料口；2、过滤筛板；201、透气孔；3、支板；301、立板；302、推杆；4、第一挡块；401、螺纹槽；5、第二挡块；501、手柄；6、钢丝网支撑框；601、固定槽；602、导向孔；7、细网纱布袋；701、袋口；8、氟化钠填料层；9、氟化钾填料层。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-3所示，一种六氟化钨加工用纯化装置，包括吸附塔本体1，所述吸附塔本体1的底部和顶部的侧壁上分别固定连接有进气口101和出气口 102，所述吸附塔本体1的两侧分别设有进料口103和出料口104，所述进料口103和出料口104上分别设有第一挡块4和第二挡块5，所述进料口103下方对应的吸附塔本体1的侧壁上固定连接有支板3，所述支板3的端部上固定连接有立板301，所述立板301上滑动插接有推杆302，所述推杆302的端部与第一挡块4固定连接，所述支板3上滑动连接有钢丝网支撑框6，所述钢丝网支撑框6滑接穿入吸附塔本体1的内部，所述钢丝网支撑框6的内部设有细网纱布袋7，所述细网纱布袋7的端部设有袋口701，所述袋口701贯穿至钢丝网支撑框6的侧壁上。

所述进料口103和出料口104均与钢丝网支撑框6滑动连接，所述第一挡块4和第二挡块5的环形侧壁上均设有螺纹槽401，所述进料口103和出料口104均与螺纹槽401相匹配连接；有效提高了钢丝网支撑框6与进料口103 以及出料口104之间连接结构的稳定性，安装时，把钢丝网支撑框6放置支板3上，并推动推动使得第一挡块4把钢丝网支撑框6推入吸附塔本体1的内部即可，拆卸时，打开第二挡块5并拉动袋口701，即把钢丝网支撑框6从吸附塔本体1的内部拉出即可，操作快捷、方便，省时省力，并且，通过第一挡块4、第二挡块5便于对进料口103和出料口104进行密封，稳固性高，拆装方便，使得进料口103和出料口104开、闭方便，使用灵活。

所述第二挡块5的外壁上固定连接有手柄501；便于对第二挡块5进行拧动，即方便其在出料口104上的拆装，便于操作。

所述钢丝网支撑框6的内部设有固定槽601，所述固定槽601与细网纱布袋7相匹配连接，所述细网纱布袋7设有两个，所述细网纱布袋7的内部分别填充有氟化钠填料层8和氟化钾填料层9；便于安装细网纱布袋7，继而便于对氟化钠填料层8和氟化钾填料层9进行盛装，通过氟化钠填料层8和氟化钾填料层9便于去除气体中的绝大部分氟化氢杂质，增强气体的提纯效果。

所述吸附塔本体1的内部固定连接有过滤筛板2，所述过滤筛板2上设有均匀分布的透气孔201，所述钢丝网支撑框6位于过滤筛板2的上方，所述过滤筛板2的一端与出料口104相对应；通过过滤筛板2便于对钢丝网支撑框6 进行承接，并且拆卸钢丝网支撑框6时打开出料口104拉出即可，操作便捷，透气孔201便于下方输入的气体进入吸附塔本体1的内部，即便于经过氟化钠填料层8和氟化钾填料层9，进行纯化操作。

所述钢丝网支撑框6的一侧中部设有导向孔602，所述袋口701处穿入至导向孔602上；有效提高了细网纱布袋7与钢丝网支撑框6之间连接结构的稳定性，使得细网纱布袋7安装时定位准确，并且，拆卸时，握住并拉动袋口701的打结处，即可把钢丝网支撑框6拉动并脱离吸附塔本体1的内部，操作方便，从而方便对氟化钠填料层8和氟化钾填料层9的拆装，便于更换，使用方便，操作灵活，有效节省了工作时间。

具体的，使用时，氟化钠填料层8和氟化钾填料层装入对应的细网纱布袋7中，再把袋口701使用带绳系住打结，即实现氟化钠填料层8和氟化钾填料层的稳固安装，并把细网纱布袋7装入对应的钢丝网支撑框6中，同时把袋口701打结处穿入导向孔602中，然后，推动推杆302使得第一挡块4 对钢丝网支撑框6进行依次推动，直至把氟化钠填料层8和氟化钾填料层置入吸附塔本体1的内部即可，再转动推杆302使得第一挡块4拧紧至进料口 103上，对吸附塔本体1进行密封即可，最后，使得气体依次经过过滤筛板2、氟化钾填料层和氟化钠填料层8至出气口102排出并进入下部工序即可；当需要对吸附塔内部进行清理或需对内部填料进行更换时，此时，拧动第二挡块5脱离出料口104，再手握打结的袋口701并拉动，即可带动钢丝网支撑框 6脱离吸附塔本体1的内部，继而实现氟化钠填料层8和氟化钾填料层的拆卸，操作快捷，省时省力，有效节约了工作时间，从而有利于提高了纯化工作效率以及保证吸附填料的使用效率，即有利于保证纯化质量。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种六氟化钨加工用纯化装置，包括吸附塔本体(1)，其特征在于：所述吸附塔本体(1)的底部和顶部的侧壁上分别固定连接有进气口(101)和出气口(102)，所述吸附塔本体(1)的两侧分别设有进料口(103)和出料口(104)，所述进料口(103)和出料口(104)上分别设有第一挡块(4)和第二挡块(5)，所述进料口(103)下方对应的吸附塔本体(1)的侧壁上固定连接有支板(3)，所述支板(3)的端部上固定连接有立板(301)，所述立板(301)上滑动插接有推杆(302)，所述推杆(302)的端部与第一挡块(4)固定连接，所述支板(3)上滑动连接有钢丝网支撑框(6)，所述钢丝网支撑框(6)滑接穿入吸附塔本体(1)的内部，所述钢丝网支撑框(6)的内部设有细网纱布袋(7)，所述细网纱布袋(7)的端部设有袋口(701)，所述袋口(701)贯穿至钢丝网支撑框(6)的侧壁上。

2.根据权利要求1所述的一种六氟化钨加工用纯化装置，其特征在于：所述进料口(103)和出料口(104)均与钢丝网支撑框(6)滑动连接，所述第一挡块(4)和第二挡块(5)的环形侧壁上均设有螺纹槽(401)，所述进料口(103)和出料口(104)均与螺纹槽(401)相匹配连接。

3.根据权利要求1所述的一种六氟化钨加工用纯化装置，其特征在于：所述第二挡块(5)的外壁上固定连接有手柄(501)。

4.根据权利要求1所述的一种六氟化钨加工用纯化装置，其特征在于：所述钢丝网支撑框(6)的内部设有固定槽(601)，所述固定槽(601)与细网纱布袋(7)相匹配连接，所述细网纱布袋(7)设有两个，所述细网纱布袋(7)的内部分别填充有氟化钠填料层(8)和氟化钾填料层(9)。

5.根据权利要求1所述的一种六氟化钨加工用纯化装置，其特征在于：所述吸附塔本体(1)的内部固定连接有过滤筛板(2)，所述过滤筛板(2)上设有均匀分布的透气孔(201)，所述钢丝网支撑框(6)位于过滤筛板(2)的上方，所述过滤筛板(2)的一端与出料口(104)相对应。

6.根据权利要求1所述的一种六氟化钨加工用纯化装置，其特征在于：所述钢丝网支撑框(6)的一侧中部设有导向孔(602)，所述袋口(701)处穿入至导向孔(602)上。

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