CN218392963U - 一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及气体纯化技术领域，公开的一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置，包括：干燥吸附系统、过滤系统、复合精馏系统、冷冻分离系统，所述复合精馏系统由一级精馏罐和二级精馏罐连通组成，一级精馏罐输入端通过管道与过滤系统输出端连通，过滤系统输入端通过管道与干燥吸附系统连通；二级精馏罐输出端通过管道与冷冻分离系统连通。本实用新型能够使物料在最短时间内实现分离，降低杂质含量，实现客户所需高纯化丙烯产品。并且节省了生产能耗。
Description
技术领域
本实用新型涉及气体纯化技术领域，尤其涉及一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置。
背景技术
目前，丙烯是 C3馏分中最重要的一个品种，近十几年来随着我国工业和科学技术的高速发展，电子、 石油化工、医疗、环保、半导体等部门不但对各种纯气体的需求量增多，而且质量要求也很严格，特别是我国从70年代开始引进了多套大型装置。这些装置需要包括丙烯在内的20多种特种气体。精密仪器的标定和分析，以及含丙烯的特种混合气的配制都需要高纯丙烯，因此，高纯丙烯的需求量也越来越多。以前高纯丙烯都是靠进口，价格很贵，由于国内高纯丙烯稀缺，基于上述情况需要对99.5％的丙烯原料进行提纯。
发明内容
为解决丙烯纯化技术难题，本实用新型目的提供一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置。解决现有技术中存在的问题，满足半导体行业用气体的规定。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置，包括：干燥吸附系统、过滤系统、复合精馏系统、冷冻分离系统，所述复合精馏系统由一级精馏罐和二级精馏罐连通组成，一级精馏罐输入端通过管道与过滤系统输出端连通，过滤系统输入端通过管道与干燥吸附系统连通；二级精馏罐输出端通过管道与冷冻分离系统连通。
一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置，所述的一级精馏罐和二级精馏罐的输入端均为设置在罐体底端的输入管；一级精馏罐和二级精馏罐的输出端均为设置在罐体顶端的输出管。
一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置，所述冷冻分离系统由制冷机与冷冻分离腔体连接组成冷冻干燥纯化一体结构。
一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置，所述干燥吸附系统由干燥吸附罐内吸附腔、丙烯腔、剩余腔组成，丙烯腔输出端管道与过滤系统连通。
一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置，所述过滤系统为塔式过滤器，塔式过滤器中部置有丙烯输入端，塔式过滤器顶部置有丙烯输出端，塔式过滤器底部置有排废口。
由于采用如上所述的技术方案，本实用新型具有如下有益效果：
一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置，能够使物料在最短时间内实现分离，降低杂质含量，实现客户所需产品，节省了生产能耗。
具体效果如下：
1、通过工艺改进提高精馏温度控制的精准度。
2、提高产品纯度，使丙烯产品中的杂质N2 <10ppmv，O2< 2ppmv，CO <1ppmv，CO2 <1ppmv，H2O < 3ppmv，Other Hydrocarbons < 300ppmv，使丙烯产品纯度达到99.97%以上。高效的吸附系统，使产品中H2O < 3ppmv。
3、提高企业在同行业中的竞争力，增加了企业经济效益。为企业长期持续发展提供了良好的基础。
附图说明
图1为高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
如图1所示，一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置，其特征是：包括：干燥吸附系统1、过滤系统2、复合精馏系统、冷冻分离系统5，所述复合精馏系统由一级精馏罐3和二级精馏罐4连通组成一体结构，一级精馏罐3输入端通过管道与过滤系统2输出端连通，过滤系统2输入端通过管道与干燥吸附系统1连通；二级精馏罐4输出端通过管道与冷冻分离系统5连通。
所述的一级精馏罐3和二级精馏罐4的输入端均为设置在罐体底端的输入管；一级精馏罐3和二级精馏罐4的输出端均为设置在罐体顶端的输出管。
所述冷冻分离系统5由制冷机与冷冻分离腔体连接组成冷冻干燥纯化一体结构。
所述干燥吸附系统1由干燥吸附罐内吸附腔、丙烯腔、剩余腔组成，丙烯腔输出端管道与过滤系统2连通。
所述过滤系统2为塔式过滤器，塔式过滤器中部置有丙烯输入端，塔式过滤器顶部置有丙烯输出端，塔式过滤器底部置有排废口。
使用时，可以根据客户对产品指标的要求，针对原料成分进行分析，采用纯化处理装置的高效分离设备以及精准的精馏系统控制，选择最合适的工艺参数，提高产品的纯度和收率；物料能够在最短时间内实现分离，降低杂质含量。
具体实施如下：
现将纯度为99.5%的原料，经过丙烯纯化处理装置纯化，如：干燥吸附系统1、过滤系统2、复合精馏系统和冷冻分离系统5的纯化，将丙烯产品纯度提高至99.97%，具体要求N2<10ppmv，O2 < 2ppmv，CO <1ppmv，CO2 <1ppmv，H2O < 3ppmv，Other Hydrocarbons <300ppmv，来满足客户的使用要求。
Claims (5)
1.一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置，其特征是：包括：干燥吸附系统（1）、过滤系统（2）、复合精馏系统、冷冻分离系统（5），所述复合精馏系统由一级精馏罐（3）和二级精馏罐（4）连通组成，一级精馏罐（3）输入端通过管道与过滤系统（2）输出端连通，过滤系统（2）输入端通过管道与干燥吸附系统（1）连通；二级精馏罐（4）输出端通过管道与冷冻分离系统（5）连通。
2.根据权利要求1所述的一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置，其特征是：所述的一级精馏罐（3）和二级精馏罐（4）的输入端均为设置在罐体底端的输入管；一级精馏罐（3）和二级精馏罐（4）的输出端均为设置在罐体顶端的输出管。
3.根据权利要求1所述的一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置，其特征是：所述冷冻分离系统（5）由制冷机与冷冻分离腔体连接组成冷冻干燥纯化一体结构。
4.根据权利要求1所述的一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置，其特征是：所述干燥吸附系统（1）由干燥吸附罐内吸附腔、丙烯腔、剩余腔组成，丙烯腔输出端管道与过滤系统（2）连通。
5.根据权利要求1所述的一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置，其特征是：所述过滤系统（2）为塔式过滤器，塔式过滤器中部置有丙烯输入端，塔式过滤器顶部置有丙烯输出端，塔式过滤器底部置有排废口。
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| CN202222413688.9U CN218392963U (zh) | 2022-09-13 | 2022-09-13 | 一种高纯度半导体行业用丙烯纯化处理装置 |
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Publications (1)
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| CN218392963U true CN218392963U (zh) | 2023-01-31 |
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