CN212648192U - 补片装置及扩散设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种补片装置，包括用于承接花篮的花篮上料机构、能够检测花篮内是否缺片的缺片检测机构、以及能够对缺片位置进行补片的补片机构；缺片检测机构能够检测花篮内是否缺片，以便于补片机构向缺片的卡槽供入假片；通过设置补片装置，能够确保每一上料的花篮中片齐全。本申请还公开了一种扩散设备，包括上述补片装置，还包括配对装置和中转装置；配对装置能够提取花篮内的硅片或者假片，并将这些片两两配对；中转装置中，任一中转槽内的片为一组；后续对硅片进行扩散处理时，由于一组配对的片贴合在一起，二者贴合的面被彼此遮挡、能够避免被处理，而另一面因为暴露在外、能够接受处理。

Description

补片装置及扩散设备

技术领域

本申请涉及硅片处理设备技术领域，具体涉及一种补片装置及扩散设备。

背景技术

向花篮装备硅片时，由于是流水线工作，可能会因为少片、导致花篮中缺片。传统设备中，多由人工进行补片，操作费时且容易出现漏片。

发明内容

本申请提供了一种补片装置及扩散设备，以解决现有技术中缺片待补的问题。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种补片装置，包括：花篮上料机构，用于承接花篮；缺片检测机构，设于花篮上料机构一侧、用于检测花篮内是否缺片；补片机构，设于花篮上料机构一侧、用于向花篮的缺片位置补入假片；其中，花篮上设置有多个卡槽，任一卡槽能够接收一硅片；装备好硅片的花篮进入花篮上料机构，以便于缺片检测机构检测各卡槽内是否存在硅片；卡槽内缺少硅片时，补片机构向卡槽供给假片。

进一步地，花篮上料机构包括：检测平台，用于承接花篮；中转组件，用于自检测平台搬运花篮；上料平台和传送组件，传送组件连接上料平台、并能够驱动上料平台向下游运动；其中，缺片检测机构设于检测平台一侧，花篮进入检测平台后，缺片检测机构检测花篮内是否缺片；中转组件能够将花篮搬入上料平台；花篮满载后，传送组件驱动上料平台向下游运送花篮。

进一步地，补片机构包括：料盘，用于提供假片；搬运组件，用于自料盘提取假片、并将假片插入花篮的缺片位置；搬运组件包括：搬运提取件，用于提取假片；搬运驱动件，连接搬运提取件、并能够驱动搬运提取件转移假片。

进一步地，缺片检测机构采用CCD相机。

本申请还提供了一种扩散设备，包括上述补片装置，还包括：配对装置，用于提取花篮内的片、并将片两两配对；中转装置，中转装置上设置有多个中转槽，任一中转槽能够接收一组配对的片；花篮内缺片时，补片装置能够向缺片位置补入假片，此时，花篮内的片包括硅片和假片；花篮内不缺片时，花篮内的片仅包括硅片；花篮内的片独立置于各卡槽中，通过配对装置，能够使得任一片与另一片贴合在一起、构成一组，以便于中转槽接收。

进一步地，配对装置包括：第一配对组件，用于提取一组片；第二配对组件，用于提取另一组片；配对驱动组件，用于驱动第一配对组件和第二配对组件相对运动，以便于两组片交叉配对。

进一步地，第一配对组件包括多个第一配对提取件，任一第一配对提取件能够提取一硅片或者一假片，第一配对提取件采用吸盘；第二配对组件包括多个第二配对提取件，任一第二配对提取件能够提取一硅片或者一假片，第二配对提取件采用吸盘；第一配对提取件和第一配对提取件的吸附面相反；配对驱动组件驱动第一配对组件和第二配对组件相向运动、至两组片交叉时，配对的两个片彼此正对。

进一步地，配对装置还包括至少一组合片驱动件，合片驱动件连接第一配对组件或第二配对组件、并能够驱动第一配对组件沿多个第一配对提取件的排列方向运动；或者，并能够驱动第二配对组件沿多个第二配对提取件的排列方向运动，以便于配对的两个片相互靠近至贴合。

进一步地，配对装置还包括：第一旋转组件，连接第一配对组件、并能够驱动第一配对组件旋转；第二旋转组件，连接第二配对组件、并能够驱动第二配对组件旋转；其中，硅片或者假片为主体呈矩形的小片，第一配对组件和第二配对组件接取片时，片的底边水平延伸，第一旋转组件驱动第一配对组件旋转、第二旋转组件驱动第二配对组件旋转，使得片的任一边不与水平面平行、以便于中转槽接收片。

进一步地，中转装置包括：中转舟，中转槽设置在中转舟上；中转输送组件，连接中转舟、并能够驱动中转舟朝向处理装置运动；处理装置用于对片进行扩散处理。

本申请提供了一种补片装置，包括用于承接花篮的花篮上料机构、能够检测花篮内是否缺片的缺片检测机构、以及能够对缺片位置进行补片的补片机构；花篮经由花篮上料机构上料后，缺片检测机构能够对花篮进行检测，进而获知其内是否缺片，并在花篮内缺片时，获知缺片位置，以便于补片机构向缺片的卡槽供入假片；通过设置补片装置，能够快速、有效地对花篮进行补片，进而确保每一上料的花篮中片齐全，便于后续使用。

本申请还提供了一种扩散设备，包括上述补片装置，还包括配对装置和中转装置；配对装置能够提取花篮内的硅片或者假片，并将这些片两两配对；由于花篮内的片齐全，能够保证任一硅片或者假片均与另一硅片或者假片配对、贴合在一起；如此，中转装置中，任一中转槽内的片为一组；后续对硅片进行扩散处理时，由于一组配对的片贴合在一起，二者贴合的面被彼此遮挡、能够避免被处理，而另一面因为暴露在外、能够接受处理。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1是本申请提供的一种补片装置的结构示意图；

图2是本申请提供的一种花篮的结构示意图；

图3是图2中花篮的主视图；

图4是本申请提供的一种扩散设备的结构示意图；

图5是图4中配对装置的主视结构示意图；

图6是图5中第一配对组件、合片驱动件及第一旋转组件的侧视结构示意图；

图7是多个第一配对提取件211和多个第二配对提取件221对片进行配对的第一状态示意图；

图8是多个第一配对提取件211和多个第二配对提取件221对片进行配对的第二状态示意图；

图9是本申请提供的一种中转舟的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

参照图1，本申请揭示了一种补片装置100，其包括：花篮上料机构110，用于承接花篮10；缺片检测机构120，设于花篮上料机构110一侧、用于检测花篮10内是否缺片；补片机构130，设于花篮上料机构110一侧、用于向花篮10的缺片位置补入假片；其中，花篮10上设置有多个卡槽，任一卡槽能够接收一硅片；装备好硅片的花篮10进入花篮上料机构110，以便于缺片检测机构120检测卡槽内是否存在硅片；卡槽内缺少硅片时，补片机构130向缺片的卡槽供给假片。

参照图2和图3，图中展示了一种花篮10的具体结构。花篮10大致呈长方体，其包括相对设置顶板11和底板12，以及相对设置、衔接顶板11和底板12的两个侧板13，侧板13上具有多个沿竖直方向间隔设置的卡槽；两个侧板13上的卡槽一一对应，以承托硅片的两侧。另外，在衔接顶板11、底板12以及两个侧板13的一个面上，还设有栏杆14。如此，花篮10主体的六个面上，只有一个面是留空的，以方便硅片进出。

可知，通过沿直线方向间隔设置的卡槽，一个花篮10能够同时承接多个硅片，而这些硅片沿卡槽的布置方向排列。

在对花篮10装备硅片时，因为流水线作业，且花篮10内卡槽较为密集，容易出现缺片。通过设置补片装置100，花篮上料机构110接收到花篮10后，缺片检测机构120即可对花篮10进行检测，进而准确地判断花篮10内是否缺片；花篮10中存在卡槽未承载硅片时，缺片检测机构120还能够获知缺片的卡槽(即“缺片位置”)，以便于补片机构130将假片置入该卡槽。

如此，任一完成补片的花篮10，其各卡槽内均具有片(硅片或者假片)，也就是说，任意上料的花篮10都是满载的。当上料的花篮10规格一致时，满载的花篮10中，片的数量、相对位置都是一致的，能够方便后续处理。

需要解释的是，硅片是构成光伏电池的重要材料，而假片是外形规格与硅片近似的另一种可重复利用的小片。利用假片对缺片位置进行补偿，由于假片可重复使用，一组小片处理结束后，能够取出假片以供下次使用。

有关硅片和假片的使用情况在下文详述。

对花篮上料机构110而言，在补片装置100中，其主要用于提供一个方便放置花篮10的平台，以便于缺片检测机构120对花篮10进行检测。

为此，一实施方式中(未图示)，花篮上料机构110可以仅包括一个检测平台，用于承接花篮10。此时，缺片检测机构120设于检测平台一侧，花篮10置于检测平台后，缺片检测机构120的工作端正对花篮10的留空面，能够方便地检测各卡槽的硅片装备情况。同时，补片机构130也设于检测平台一侧，能够从花篮10的留空面供入假片至缺片位置。

另一实施方式中(未图示)，花篮上料机构110包括检测平台及传送组件，传送组件连接检测平台、并能够驱动检测平台向下游运动。此时，传送组件可以采用电缸、模组等传送驱动组件，检测平台设置在传送组件的工作端、能够在传送组件的驱动下运动。此时，一个花篮10满载后，传送组件能够通过驱动检测平台、将满载花篮10输送出去。

又一实施方式中，花篮上料机构110包括检测平台111，用于承接花篮10；中转组件112，用于自检测平台111搬运花篮10；上料平台114和传送组件114，传送组件114连接上料平台114、并能够驱动上料平台114向下游运动；其中，缺片检测机构120设于检测平台111一侧，花篮10进入检测平台111后，缺片检测机构120检测花篮10内是否缺片；中转组件112能够将花篮10搬入上料平台114；花篮10满载后，传送组件114驱动上料平台114向下游运送花篮10。

该实施方式中，补片机构130可以设于检测平台111一侧，此时，缺片检测机构120检测到缺片位置后，补片机构130即可对缺片位置进行补片。或者，补片机构130也可以设于中转组件112一侧，缺片检测机构120检测到缺片位置后，中转组件112取走检测平台111上的花篮10，补片机构130再对缺片位置进行补片。或者，补片机构130还可以设于上料平台114一侧，缺片检测机构120检测到缺片位置后，中转组件112取走检测平台111上的花篮10、并将之传送到上料平台114上，随后，补片机构130再对缺片位置进行补片。

该实施方式中，中转组件112可以采用天车、机械手、机器人等搬运组件，其能够自检测平台111接取花篮10，并将该花篮10转移至上料平台114。传送组件114可以采用电缸、模组等传送驱动组件，上料平台114设于传送组件114的工作端，能够在传送组件114的驱动下运动。

该实施方式中，通过区分检测平台111和上料平台114，能够加速补片流程，使得一组花篮10在检测平台111接受缺片检测时，另一组花篮10能够经由上料平台114输送出去。

一具体实施例中，参照图1，花篮上料机构110包括多个检测平台111，此时，检测平台111还有缓存的作用，能够协调设备运动的节拍，避免传送组件114驱动上料平台114向下游运动时，满载的花篮10停滞在检测平台111上，而待检测的花篮10无法上料。此时，装备好硅片的花篮10进入其中一个检测平台111，缺片检测机构120对其进行缺片检测，补片机构130随之进行补片；花篮10满载后，可以在检测平台111上等待中转组件112和上料平台114空置；而下一个装备好硅片的花篮10进入另一个检测平台111……

进一步地，检测平台111和/或上料平台114上还可以设置用于固定花篮10的限位组件115；通过设置限位组件115，一方面，可以固定花篮10，防止花篮10在平台上位移或者倾倒，保证花篮10的稳定；另一方面，可以限定花篮10的位置，以便于花篮10进入平台后，始终处于同一位置上，便于操作。其中，限位组件115可以采用围设的容置腔、或者夹爪、吸盘等能够固定花篮10的结构。

例如，参照图1，上料平台114上设置有限位组件115；此时，花篮10进入上料平台114后、其留空面朝上卧置在上料平台114上。限位组件115包括正对花篮10顶板11和底板12的两个压板、以及驱动两个压板相对运动的限位驱动件(可以采用气缸、电缸等驱动构件)，花篮10到位后，处于两个压板之间，限位驱动件驱动两个压板相对运动至压紧顶板11和底板12，进而限定花篮10的位置。

为方便对缺片位置进行补片，一实施方式中，补片机构130包括：料盘(未图示)，用于提供假片；搬运组件，用于自料盘提取假片、并将假片插入花篮10的缺片位置；搬运组件包括：搬运提取件，用于提取假片；搬运驱动件，连接搬运提取件、并能够驱动搬运提取件转移假片。

其中，料盘内存储有多个假片，以便于搬运组件时时提取。搬运提取件可以采用机械手或者吸盘，能够夹取或者吸取假片。搬运驱动件可以采用机器人、或者配合的两个方向模组(一个沿竖直方向设置，一个沿水平方向设置)，用以驱动搬运提取件靠近料盘至提取假片、再远离料盘以接近花篮10、然后将假片插入缺片位置、最后驱动搬运提取件松开假片、远离花篮10、返回料盘。

另外，一实施例中，片处理结束后，花篮10载着处理好的片回到补片机构130的工作工位，补片机构130能够自花篮10取出假片，并将假片放回料盘、以备下次使用。

一具体实施方式中，缺片检测机构120采用CCD(Charge-coupled Device)相机。此时，缺片检测机构120包括相机和光源，光源用于为花篮10补光，以便于相机对花篮10进行拍照，进而准确地获取花篮10装备硅片的情况；随后，相机将相片信息传递给控制系统，由控制系统判断花篮10内是否有缺片、并计算缺片位置；需要补片时，控制系统控制搬运驱动件驱动搬运提取件自料盘内提取假片、并将假片供入缺片位置，进而完成补片。

当然，其他实施方式中，缺片检测机构120也可以采用光电传感器等、能够通过信号收发检测对应位置是否有硅片存在的检测构件。

本申请还提供了一种扩散设备，其包括上述补片装置100，还包括：配对装置200，用于提取花篮10内的片、并将片两两配对；中转装置300，中转装置300上设置有多个中转槽311，任一中转槽311能够接收一组配对的片；花篮10内缺片时，补片装置100能够向缺片位置补入假片，此时，花篮10内的片包括硅片和假片；花篮10内不缺片时，花篮10内的片仅包括硅片；花篮10内的片独立置于各卡槽中，通过配对装置200，能够使得任一片与另一片贴合在一起、构成一组，以便于中转槽311接收。

需要解释的是，为方便硅片构成光伏电池，需要对硅片进行扩散处理，以提高硅片的电性能。硅片为主体大致呈矩形的小片，其厚度较薄，可忽略不计。一些扩散工艺中，仅对硅片的一个面进行扩散处理；为此，在硅片进入处理装置(未图示)前，需要遮挡其一个面，使得硅片的两个面中，一个暴露在外、可被处理，而另一个被遮挡、不可被处理。

通过设置配对装置200，任一片与另一片贴合在一起、构成一组时，贴合在一起的两个片有一面被彼此遮挡；这样，一组片进入处理装置，其相互贴合的一面不会被处理，而相互远离的一面暴露在外、会被处理。

需要补充的是，当配对的两个片都是硅片时，由于硅片的规格一致，只要保证两个硅片对齐、贴合在一起，就能使得二者贴合的面被完全遮挡，进而避免处理。同理，当配对的两个片都是假片时，由于假片的规格一致，使得两个假片对齐、贴合在一起，即可满足任一片的一面被遮挡、而另一面暴露在外。另外，当配对的两个片是硅片和假片时，需要保证假片的贴合面不小于硅片的贴合面，以保证硅片与假片贴合时，硅片的贴合面完全被遮挡、进而避免处理。

在扩散设备中，通过设置补片装置100，能够确保任一上料的花篮10均呈满载状态；如此，配对装置200自花篮10取片时，能够准确地从预设位置(即各卡槽；可知，花篮10上料工位保持不变时，在上料工位，各花篮10内卡槽的位置是固定的，而各卡槽内片的位置也是固定的)取出预设数量的片。

例如，参照图4，花篮上料机构110包括检测平台111、中转组件112、上料平台114以及传送组件114；装备好硅片的花篮10进入检测平台111，经过缺片检测机构120检测，由补片机构130完成补片；花篮10满载后，经由中转组件112搬运至上料平台114。花篮10留空面朝上卧置在上料平台114上，传送组件114驱动上料平台114朝向配对装置200运动，使得花篮10到达配对装置200的工作工位(也就是上述的花篮10“上料工位”)。假设花篮10具有五十个卡槽，花篮10满载时，其内装载有五十个片；配对装置200可以设置五十个提取件，这些提取件能够与卡槽一一对应；花篮10到位后，配对装置200的提取件能够伸入花篮10、一次取走全部的片；由于花篮10满载，任一提取件均可以提取一硅片或者一假片，不会出现取空的情况；配对时，片与片能够完美地两两对应，不会因为缺片存在单片硅片。

一实施方式中(未图示)，配对装置200包括多个提取件(提取件可以采用夹具、吸盘等提取构件)，以及驱动这些提取件朝向花篮10运动的驱动组件(驱动组件可以采用气缸、电缸等驱动构件)。满载的花篮10到位后，驱动组件驱动提取件靠近至伸入花篮10；此时，多个提取件与卡槽一一对应，能够伸入对应卡槽一侧的间隙，以接触卡槽内的片，并在获取片后将片拉出卡槽。

该实施方式中，配对装置200的多个提取件，两两配合、能够相对运动。如此，提取件获得片、并将片拉出卡槽后，配合的两个提取件可以相互靠近，以便于两个硅片贴合在一起。此时，一个花篮10中的片相互配对。

进一步地，为避免提取件卡在两个片之间，影响片与片贴合；一实施例中，提取件可以采用吸盘；以图3所示的花篮10的设置方向为例进行说明，配合的两个吸盘，其中一个伸入对应的卡槽上方提取片，而另一个伸入对应的卡槽下方提取片，如此，由这两个吸盘取出的片相对、且片与片之间没有阻挡；随着两个吸盘相互靠近，两个片能够直接贴合在一起。

另一实施方式中，配对装置200包括：第一配对组件210，用于提取一组片；第二配对组件220，用于提取另一组片；配对驱动组件230，用于驱动第一配对组件210和第二配对组件220相对运动，以便于两组片交叉配对。此时，第一配对组件210与第二配对组件220提取的片一一对应，通过相互交叉、对齐、最终贴合在一起；能够简化配对装置200的结构，方便系统控制。

其中，配对驱动组件230可以采用两组驱动件(驱动件可以采用电缸、直线模组等驱动构件)，两组驱动件分别连接第一配对组件210与第二配对组件220，此时，第一配对组件210与第二配对组件220能够在对应驱动件的驱动下、独立地靠近或远离彼此。配对驱动组件230也可以仅采用一组驱动件，此时，第一配对组件210与第二配对组件220中的一个相对固定，而另一个连接该组驱动件、并能在驱动件的驱动下朝向另一个配对组件运动。

该实施方式中，第一配对组件210与第二配对组件220可以从同一花篮10中提取片。例如，一个花篮10中装载有五十个片时，第一配对组件210与第二配对组件220能够分别从花篮中提取二十五个片，并通过相向运动使得片交叉对齐。

或者，第一配对组件210与第二配对组件220可以从两个花篮10中分别提取片。此时，花篮上料机构110一次输送至少两个满载的花篮10至配对装置200的工作工位，第一配对组件210与第二配对组件220分别从一个花篮10中提取片，并通过相向运动使得片交叉对齐。具体参照图4，花篮上料机构110包括：上料平台114，用于承接两组花篮10；传送组件114，连接上料平台114、并能够驱动上料平台114朝向配对装置200运动；其中，第一配对组件210用于提取其中一组花篮10中的片；第二配对组件220用于提取另一组花篮10中的片。如此，配对装置200一次能够配对两组片，加快工作效率。

进一步地，第一配对组件210包括多个第一配对提取件211，任一第一配对提取件211能够提取一硅片或者一假片，第一配对提取件211采用吸盘；第二配对组件220包括多个第二配对提取件221，任一第二配对提取件221能够提取一硅片或者一假片，第二配对提取件221采用吸盘；第一配对提取件211和第一配对提取件211的吸附面相反，如此，配对驱动组件230驱动第一配对组件210和第二配对组件220相向运动、至两组片交叉时，配对的两个片彼此正对。

具体参照图5至图6，多个第一配对提取件211沿一直线布置，多个第二配对提取件221也沿一直线布置。接取片时，多个第一配对提取件211与卡槽一一对应，能够伸至卡槽一侧接取片；同理，接取片时，多个第二配对提取件221也与卡槽一一对应，能够伸至卡槽另一侧接取片。

以图4所示的方向为例进行说明，此时，花篮10沿左右方向卧置在花篮上料机构110上；花篮10内，片沿左右方向间隔布置。对应的，多个第一配对提取件211、以及多个第二配对提取件221均沿左右方向间隔布置；此时，第一配对提取件211和第二配对提取件221中的一种提取件、其吸附面朝左，而另一种提取件、其吸附面朝右。配对片时，吸附面朝左的提取件会伸至卡槽右侧，使得其吸附面接触片；而吸附面朝右的提取件会伸至卡槽左侧，使得其吸附面接触片；此时，第一配对提取件211和第二配对提取件221中对应配合的两个提取件，沿左右方向是相错的。具体参照图7和图8，图示了多组对应配合的第一配对提取件211和第二配对提取件221及其接取的片的相对位置状态；可知，对应配合的两个提取件、其提取的片彼此相对、没有遮挡、且能够直接贴合。

容易理解的，如果第一配对提取件211和第二配对提取件221是常规的边缘齐整的结构，片与片交叉时、提取件容易相互干涉。参照图7和图8，图示了多组对应配合的第一配对提取件211和第二配对提取件221相互靠近至片交叉、相互对齐；为方便描述，对图中的提取件及片进行标数，自上而下，第一配对提取件211依次为第一配对提取件211a、第一配对提取件211b、第一配对提取件211c……第二配对提取件221依次为第二配对提取件221a、第二配对提取件221b、第二配对提取件221c……其中，第一配对提取件211a提取的片分别为片a、片c、片e……第二配对提取件221提取的片分别为片b、片d、片f……另外，自上而下，一个第一配对提取件211和一个第二配对提取件221配合，实现两个片的配对。片交叉前，第二配对提取件221a正对第一配对提取件211a和第一配对提取件211b之间的间隙；片交叉时，第二配对提取件221a伸入第一配对提取件211a和第一配对提取件211b之间、并使得片a与片b相对。与此同时，片交叉前，第一配对提取件211b正对第二配对提取件221a和第二配对提取件221b之间的间隙；片交叉时，第一配对提取件211b伸入二配对提取件221a和第二配对提取件221b之间、并使得片c与片d相对……参照图8可知，片与片交叉至对齐时，第二配对提取件221a接近第一配对提取件211b，第二配对提取件221c接近第二配对提取件221c；随着提取件不断靠近，接近的两个提取件容易相互干涉。

为保证配对的片对齐，同时避免接近的两个提取件相互干涉，一实施例中，可以使得第一配对提取件211吸取片远离第二配对提取件221的一侧，而对应配合的第二配对提取件221吸取片远离第一配对提取件211的一侧；如此，提取件相互接近至片对齐时，两个提取件之间还具有间隙，从而避免了接近的两个提取件相互干涉。或者，参照图5，配合的第一配对提取件211和第二配对提取件221，二者靠近彼此的一侧可以裁去边角，进一步避免接近的两个提取件相互接触。

进一步地，配对装置200还包括升降驱动组件270，升降驱动组件270连接第一配对组件210和第二配对组件220，并能够驱动二者靠近或远离花篮10、以便于提取片。参照图4和图5，花篮10卧置于配对装置200的工作工位时，非取片状态下，第一配对组件210和第二配对组件220悬于花篮10上方；取片时，升降驱动组件270驱动第一配对组件210和第二配对组件220下降、靠近至提取片；接着，升降驱动组件270驱动第一配对组件210和第二配对组件220上升、远离花篮10以便于合片(合片即使得配对的两个片相互对齐贴合)。

此时，升降驱动组件270可以包括两组升降驱动件(升降驱动件可以采用电缸、直线模组等驱动构件)，两组升降驱动件分别连接第一配对组件210和第二配对组件220，以便于第一配对组件210和第二配对组件220独立实现取片。或者，升降驱动组件270可以仅包括一组升降驱动件，此时，该组升降驱动件同时连接第一配对组件210和第二配对组件220，以便于驱动第一配对组件210和第二配对组件220同步升降。

进一步地，参照图6，配对装置200还包括至少一组合片驱动件240，合片驱动件240连接第一配对组件210或第二配对组件220、并能够驱动第一配对组件210沿多个第一配对提取件211的排列方向运动，或者，并能够驱动第二配对组件220沿多个第二配对提取件221的排列方向运动，以便于配对的两个片相互靠近至贴合。

容易理解的，为方便片与片交叉，第一配对提取件211和第二配对提取件221相互靠近时，配对的提取件是交错的。可参照图7和8，第一配对组件210或第二配对组件220提取片后，其内任意相邻的两个片之间具有间隙，叉片(叉片即第一配对组件210和第二配对组件220相互靠近至片与片交叉)时，配合的片能够插入对方的间隙中，直至片与片正对且对齐。通过设置合片驱动件240，片与片对齐后，能够驱动配对的片相互靠近至贴合。

其中，合片驱动件240可以仅设置一组，连接第一配对组件210或第二配对组件220；此时，第一配对组件210和第二配对组件220中的一个相对固定，另一个连接合片驱动件240、并能在合片驱动件240的驱动下使得配对的片贴合。或者，合片驱动件240可以设置两组，如此，第一配对组件210和第二配对组件220均能够沿片的排列方向运动，一方面，能够加快合片速度，另一方面，在实际使用过程中，能够调试配对组件的基准位置，以便于提高合片的准确性。

另外，通过设置合片驱动件240，能够根据花篮10的上料位置，调试第一配对组件210或第二配对组件220的对应位置，以确保第一配对组件210或第二配对组件220的各提取件与对应花篮10的卡槽一一对应。

进一步地，可知，为方便第一配对提取件211和第二配对提取件221伸入花篮10，各提取件也是从靠近卡槽的空隙中伸入；通过设置第一配对提取件211和第二配对提取件221相互靠近，能够在提取件伸入花篮10后，驱动提取件沿片的排列方向运动，以保证提取件靠近至获取片，以便于提取片取出卡槽中的片。

其中，合片驱动件240可以采用气缸、电缸等驱动构件。

进一步地，配对装置200还包括：第一旋转组件250，连接第一配对组件210、并能够驱动第一配对组件210旋转；第二旋转组件260，连接第二配对组件220、并能够驱动第二配对组件220旋转；其中，硅片或者假片为主体呈矩形的小片，第一配对组件210和第二配对组件220接取片时，片的底边水平延伸，第一旋转组件250驱动第一配对组件210旋转、第二旋转组件260驱动第二配对组件220旋转，使得片的任一边不与水平面平行，以便于中转槽311接收片。

容易理解的，由于花篮10的构型限定，片置于花篮10中时，其位置状态相对固定。例如，图1所示的状态下，花篮10沿左右方向卧置于配对装置200的工作工位时，其内的片的底边沿上下方向水平延伸。而中转槽311为了更好地限定片，其内槽大致呈倒三角型。为方便中转槽311接收片，设置第一旋转组件250和第二旋转组件260，能够在合片前、合片期间或者合片后将片翻转至一个角垂直纸面向外、一个角垂直纸面向内，进而便于置入中转槽311中。

一具体实施方式中，参照图5和图6，第一旋转组件250和第二旋转组件260可以采用电机加转轴。以第一旋转组件250为例进行说明，此时，第一旋转组件250包括电机251和转轴252，第一配对组件210设于转轴252上，电机251的驱动端连接转轴252、并能够驱动转轴252自转，进而带动第一配对组件210绕转轴252中心轴旋转，使得第一配对组件210提取的片成菱形状布置。

另外，中转装置300包括：中转舟310，中转槽311设置在中转舟310上；中转输送组件320，连接中转舟310、并能够驱动中转舟310朝向处理装置运动；处理装置用于对片进行扩散处理。

其中，中转舟310可以采用石英舟，石英舟上，间隔设置有多个中转槽311；任一中转槽311能够接收一组贴合的片。例如，参照图9，图示了一种中转舟310的具体构型，此时，任一中转槽311由两个台阶312、以及设置在台阶312上、沿矩形四个角布置的卡板313构成，当片一个角正对水平面时，片能够插入卡板313之间，而台阶312能够抬起片水平皮方向的两个角。如此设置，能够较大程度地暴露片，以便于处理装置对片进行扩散处理。

中转输送组件320可以采用电缸、直线模组等驱动构件。

待处理的片到位，中转输送组件320驱动中转舟310朝向处理装置运动；中转舟310进入处理装置，处理装置能够对片暴露在外的面进行处理。处理结束，中转输送组件320驱动中转舟310远离处理装置，以便于处理好的片被取走，而新的待处理的片被置入中转槽311。

进一步地，扩散设备可以包括至少两组中转装置300，如此，一组中转装置300在处理装置中接受处理时，其他中转装置300能够接收待处理的片，进而完善扩散设备的处理节拍，保证设备持续运行。

进一步地，为方便将合片后的片置入中转槽311，扩散设备还包括转移装置(未图示)，其可以自配对装置200中取走配对好的片，并将之转移到中转槽311；此时，转移装置可以采用天车、机器人能搬运机构。或者，转移装置可以驱动处于合片状态的第一配对组件210和第二配对组件220朝向中转装置300运动，使得配对的各组片正对各中转槽311，进而下降第一配对组件210和第二配对组件220、亦或是上升中转槽311，便于中转槽311接收片。

一具体实施例中，参照图4，配对驱动组件230可用作转移装置，此时，中转槽311处于配对驱动组件230的运动路径上；第一配对组件210和第二配对组件220接取并完成合片后，配对驱动组件230驱动第一配对组件210和第二配对组件220朝向中转槽311，使得片悬于中转槽311上方，接着，升降驱动组件270驱动第一配对组件210和第二配对组件220下降，以便于片进入中转槽311。

需要补充的是，片处理好后，中转输送组件320能够驱动中转舟310回到初始的上料工位；此时，第一配对组件210和第二配对组件220重新提取对应的片，并通过反向动作，使得贴合在一起的片相互远离，随后，第一配对组件210和第二配对组件220在配对驱动组件230的驱动下相互远离、解除交叉状态，以便于第一配对组件210和第二配对组件220将片还回花篮10中。此时，花篮10满载处理好的片，便于片下料。

以下详述一种扩散设备的具体使用步骤：

两组装备好硅片的花篮10进入花篮上料机构110；

缺片检测机构120对花篮10进行检测；

花篮10中缺片时，补片机构130向卡槽供给假片；

满载的两组花篮10经由花篮上料机构110传送至配对装置200的工作工位，此时，花篮10卧置，第一配对组件210和第二配对组件220悬于对应的花篮10上方；

升降驱动组件270驱动第一配对组件210和第二配对组件220下降，以便于多个第一配对提取件211和多个第二配对提取件221对应插入花篮10中、吸取片；

升降驱动组件270驱动第一配对组件210和第二配对组件220上升，以便于第一配对提取件211、第二配对提取件221及二者提取的片离开花篮10；

第一旋转组件250驱动第一配对组件210朝向第二配对组件220旋转45°，第二旋转组件260驱动第二配对组件220朝向第一配对组件210旋转45°，旋转后，第一配对组件210、第二配对组件220及其提取的片的状态参照图5；

配对驱动组件230驱动第一配对组件210和第二配对组件220相互靠近，至片交叉对齐；

合片驱动件240驱动第一配对组件210和第二配对组件220沿片的排列方向相向运动，使得配对的片与片贴合；

配对驱动组件230进一步驱动第一配对组件210和第二配对组件220同步朝向中转装置300运动，至贴合的片悬于中转舟310上方；

升降驱动组件270驱动第一配对组件210和第二配对组件220同步下降，以便于贴合的片对应落入中转槽311；

第一配对组件210和第二配对组件220松开片，升降驱动组件270驱动第一配对组件210和第二配对组件220同步上升，远离中转舟310；

中转输送组件320驱动中转舟310朝向处理装置运动；

片完成处理后，中转输送组件320驱动中转舟310回到初始工作工位；

升降驱动组件270驱动第一配对组件210和第二配对组件220同步下降，以便于第一配对组件210和第二配对组件220重新对应提取片；

升降驱动组件270驱动第一配对组件210和第二配对组件220上升，以便于将处理好的片自中转装置300取出；

配对驱动组件230反向驱动第一配对组件210和第二配对组件220同步朝向花篮10运动，使得第一配对组件210和第二配对组件220与花篮10一一对应；

升降驱动组件270驱动第一配对组件210和第二配对组件220同步下降，以便于处理好的片回到花篮10中，通过转移花篮10，实现片的下料。

此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或部件的过程、方法、系统、产品或设备，没有限定于已列出的步骤或部件，而是可选地还包括没有列出的步骤或部件，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或部件。

以上所述仅为本申请的实施例，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种补片装置(100)，其特征在于，包括：

花篮上料机构(110)，用于承接花篮(10)；

缺片检测机构(120)，设于所述花篮上料机构(110)一侧、用于检测花篮(10)内是否缺片；

补片机构(130)，设于所述花篮上料机构(110)一侧、用于向花篮(10)的缺片位置补入假片；

其中，花篮(10)上设置有多个卡槽，任一所述卡槽能够接收一硅片；装备好硅片的花篮(10)进入所述花篮上料机构(110)，以便于所述缺片检测机构(120)检测各所述卡槽内是否存在硅片；所述卡槽内缺少硅片时，所述补片机构(130)向所述卡槽供给假片。

2.根据权利要求1所述补片装置(100)，其特征在于，所述花篮上料机构(110)包括：

检测平台(111)，用于承接花篮(10)；

中转组件(112)，用于自所述检测平台(111)搬运花篮(10)；

上料平台(114)和传送组件(113)，所述传送组件(113)连接所述上料平台(114)、并能够驱动所述上料平台(114)向下游运动；

其中，所述缺片检测机构(120)设于所述检测平台(111)一侧，花篮(10)进入所述检测平台(111)后，所述缺片检测机构(120)检测花篮(10)内是否缺片；所述中转组件(112)能够将花篮(10)搬入所述上料平台(114)；花篮(10)满载后，所述传送组件(113)驱动所述上料平台(114)向下游运送所述花篮(10)。

3.根据权利要求1所述补片装置(100)，其特征在于，所述补片机构(130)包括：

料盘，用于提供假片；

搬运组件，用于自所述料盘提取假片、并将所述假片插入花篮(10)的缺片位置；所述搬运组件包括：

搬运提取件，用于提取假片；

搬运驱动件，连接所述搬运提取件、并能够驱动所述搬运提取件转移假片。

4.根据权利要求1所述补片装置(100)，其特征在于，所述缺片检测机构(120)采用CCD相机。

5.一种扩散设备，其特征在于，包括权利要求1-4任一项所述的补片装置(100)，还包括：

配对装置(200)，用于提取花篮(10)内的片、并将所述片两两配对；

中转装置(300)，所述中转装置(300)上设置有多个中转槽(311)，任一所述中转槽(311)能够接收一组配对的片；

花篮(10)内缺片时，所述补片装置(100)能够向缺片位置补入假片，此时，花篮(10)内的片包括硅片和假片；花篮(10)内不缺片时，花篮(10)内的片仅包括硅片；

花篮(10)内的片独立置于各所述卡槽中，通过所述配对装置(200)，能够使得任一片与另一片贴合在一起、构成一组，以便于所述中转槽(311)接收。

6.根据权利要求5所述的扩散设备，其特征在于，所述配对装置(200)包括：

第一配对组件(210)，用于提取一组片；

第二配对组件(220)，用于提取另一组片；

配对驱动组件(230)，用于驱动所述第一配对组件(210)和所述第二配对组件(220)相对运动，以便于两组片交叉配对。

7.根据权利要求6所述的扩散设备，其特征在于，所述第一配对组件(210)包括多个第一配对提取件(211)，任一所述第一配对提取件(211)能够提取一硅片或者一假片，所述第一配对提取件(211)采用吸盘；

所述第二配对组件(220)包括多个第二配对提取件(221)，任一所述第二配对提取件(221)能够提取一硅片或者一假片，所述第二配对提取件(221)采用吸盘；

所述第一配对提取件(211)和所述第一配对提取件(211)的吸附面相反；配对驱动组件(230)驱动所述第一配对组件(210)和所述第二配对组件(220)相向运动、至两组片交叉时，配对的两个片彼此正对。

8.根据权利要求7所述的扩散设备，其特征在于，所述配对装置(200)还包括至少一组合片驱动件(240)，所述合片驱动件(240)连接所述第一配对组件(210)或所述第二配对组件(220)、并能够驱动所述第一配对组件(210)沿多个所述第一配对提取件(211)的排列方向运动；或者，并能够驱动所述第二配对组件(220)沿多个所述第二配对提取件(221)的排列方向运动，以便于配对的两个片相互靠近至贴合。

9.根据权利要求6所述的扩散设备，其特征在于，所述配对装置(200)还包括：

第一旋转组件(250)，连接所述第一配对组件(210)、并能够驱动所述第一配对组件(210)旋转；

第二旋转组件(260)，连接所述第二配对组件(220)、并能够驱动所述第二配对组件(220)旋转；

其中，硅片或者假片为主体呈矩形的小片，所述第一配对组件(210)和所述第二配对组件(220)接取片时，片的底边水平延伸，所述第一旋转组件(250)驱动所述第一配对组件(210)旋转、所述第二旋转组件(260)驱动所述第二配对组件(220)旋转，使得片的任一边不与水平面平行、以便于所述中转槽(311)接收片。

10.根据权利要求5所述的扩散设备，其特征在于，所述中转装置(300)包括：

中转舟(310)，所述中转槽(311)设置在所述中转舟(310)上；

中转输送组件(320)，连接所述中转舟(310)、并能够驱动所述中转舟(310)朝向处理装置运动；

所述处理装置用于对片进行扩散处理。

Images