CN212533104U - 一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉 - Google Patents

一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉 Download PDF

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王永超
赵泽良
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Shanghai suwu Shenying Electronic Materials Co.,Ltd.
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Abstract

本实用新型公开了一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉,包括真空热压炉本体,所述真空热压炉本体底座上设有固定轴,所述真空热压炉本体内设有模槽,所述模槽内插设有模具,所述模槽的顶面和底部上均插设有柱形水冷组件本体,所述模具的上下两端分别与两个柱形水冷组件本体相抵接触。本实用新型通过橡胶制品的圆形块配合圆形插槽内的环形密封圈对柱形水冷组件本体提供防护,延长柱形水冷组件本体的使用寿命,通过伺服电机带动螺纹杆转动,使其带动螺纹套接的升降块在连接杆上滑块和滑槽的限位作用下进行升降,并配合圆形套筒带动压紧杆抵住柱形水冷组件本体后配合固定轴压紧模具,代替人工手动操作,省时省力。

Description

一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉
技术领域
本实用新型涉及真空热压炉技术领域,尤其涉及一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉。
背景技术
高纯钌靶采用高纯化合物粉末为原料,通过常压烧结法、真空热压法以及热等静压法等工艺成型,真空热压炉广泛应用于硬质合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高温、高真空条件下进行热压烧结处理,也可在充气保护情况下热压成形烧结。
现有的真空热压炉在实际使用时,其丝杆压紧结构需要人工手动调节,费时费力,且炉内水冷块缺少防护结构,现提出一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型提出了一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉,用于解决背景技术中现有的真空热压炉在实际使用时,其丝杆压紧结构需要人工手动调节,费时费力,且炉内水冷块缺少防护结构的技术问题。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉,包括真空热压炉本体,所述真空热压炉本体底座上设有固定轴,所述真空热压炉本体内设有模槽,所述模槽内插设有模具,所述模槽的顶面和底部上均插设有柱形水冷组件本体,所述模具的上下两端分别与两个柱形水冷组件本体相抵接触,所述柱形水冷组件本体远离模槽的一端均设有防护件,所述真空热压炉本体的上端贯穿设有压紧机构,所述压紧机构上设有驱动件,所述驱动件与压紧机构传动连接,所述压紧机构和固定轴均与防护件卡接。
优选地,所述防护件包括分别固定连接于两个柱形水冷组件本体远离模槽一端上的圆形块,两块所述圆形块远离柱形水冷组件本体的一端均设有圆形插槽,所述圆形插槽的环形内壁上固定连接有环形密封圈,所述压紧机构和固定轴分别插设于两侧圆形插槽内并贯穿环形密封圈设置。
优选地,所述圆形块和环形密封圈均为橡胶制品。
优选地,所述压紧机构包括固定连接于真空热压炉本体上端的U型板,所述U型板的开口竖直朝下设置,所述驱动件设置于U型板靠近右侧的上端,所述U型板的顶面上竖直转动贯穿设有螺纹杆,所述螺纹杆位于U型板开口外的一端上同轴固定连接有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮与驱动件传动连接,所述螺纹杆位于U型板开口内的一端上螺纹套接有升降块,所述升降块与U型板开口的左侧内壁滑动连接,所述升降块的下端固定连接有罩设螺纹杆设置的圆形套筒,所述圆形套筒的下端固定连接有压紧杆,所述压紧杆的下端贯穿真空热压炉本体上端并插设于圆形插槽内,所述压紧杆贯穿环形密封圈设置。
优选地,所述U型板开口的左侧内壁上设有滑槽,所述滑槽内滑动连接有与之相匹配的滑块,所述升降块的左端侧壁上固定连接有连接杆,所述滑块远离滑槽的一端与连接杆固定连接。
优选地,所述驱动件包括固定安装于U型板靠近右侧上端的伺服电机,所述伺服电机的驱动轴上固定连接有转轴,所述转轴上同轴固定连接有第二锥齿轮,所述第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合。
本实用新型与现有技术相比,其有益效果为:
1、通过橡胶制品的圆形块配合圆形插槽内的环形密封圈对柱形水冷组件本体提供防护,延长柱形水冷组件本体的使用寿命。
2、通过伺服电机带动螺纹杆转动,使其带动螺纹套接的升降块在连接杆上滑块和滑槽的限位作用下进行升降,并配合圆形套筒带动压紧杆抵住柱形水冷组件本体后配合固定轴压紧模具,代替人工手动操作,省时省力。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉的透视示意图;
图2为图1中A处的局部放大图;
图3为本实用新型提出的一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉的圆形块的结构示意图;
图4为图1中B处的局部放大图;
图5为本实用新型提出的一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉的圆形套筒的结构示意图。
图中:1真空热压炉本体、2固定轴、3模槽、4模具、5柱形水冷组件本体、6圆形块、7圆形插槽、8环形密封圈、9U型板、10螺纹杆、11第一锥齿轮、12升降块、13圆形套筒、14压紧杆、15滑槽、16滑块、17连接杆、18伺服电机、19转轴、20第二锥齿轮。
具体实施方式
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
参照图1-5,一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉,包括真空热压炉本体1,真空热压炉本体1底座上设有固定轴2,固定轴2用于配合压紧杆14对插设于模槽3内的模具4和柱形水冷组件本体5进行压紧固定,真空热压炉本体1内设有模槽3,模槽3内插设有模具4,模槽3的顶面和底部上均插设有柱形水冷组件本体5,模具4的上下两端分别与两个柱形水冷组件本体5相抵接触,柱形水冷组件本体5远离模槽3的一端均设有防护件,防护件包括分别固定连接于两个柱形水冷组件本体5远离模槽3一端上的圆形块6,两块圆形块6远离柱形水冷组件本体5的一端均设有圆形插槽7,圆形插槽7的环形内壁上固定连接有环形密封圈8,压紧机构和固定轴2分别插设于两侧圆形插槽7内并贯穿环形密封圈8设置,圆形块6和环形密封圈8均为橡胶制品,橡胶制品的圆形块6和环形密封圈8能够对柱形水冷组件本体5提供防护,延长柱形水冷组件本体5的使用寿命。
真空热压炉本体1的上端贯穿设有压紧机构,压紧机构包括固定连接于真空热压炉本体1上端的U型板9,U型板9的开口竖直朝下设置,驱动件设置于U型板9靠近右侧的上端,U型板9的顶面上竖直转动贯穿设有螺纹杆10,螺纹杆10位于U型板9开口外的一端上同轴固定连接有第一锥齿轮11,第一锥齿轮11与驱动件传动连接,螺纹杆10位于U型板9开口内的一端上螺纹套接有升降块12,升降块12与U型板9开口的左侧内壁滑动连接,升降块12的下端固定连接有罩设螺纹杆10设置的圆形套筒13,圆形套筒13的下端固定连接有压紧杆14,圆形套筒13用于配合升降块12带动压紧杆14进行升降,压紧杆14的下端贯穿真空热压炉本体1上端并插设于圆形插槽7内,压紧杆14贯穿环形密封圈8设置。
U型板9开口的左侧内壁上设有滑槽15,滑槽15内滑动连接有与之相匹配的滑块16,升降块12的左端侧壁上固定连接有连接杆17,滑块16远离滑槽15的一端与连接杆17固定连接,滑块16在滑槽15内移动时,配合连接杆17防止螺纹杆10转动带动升降块12同时转动,并限制升降块12的升降范围,压紧机构上设有驱动件,驱动件与压紧机构传动连接,压紧机构和固定轴2均与防护件卡接,驱动件包括固定安装于U型板9靠近右侧上端的伺服电机18,伺服电机18的型号为:MSME-021G1,伺服电机18用于带动转轴19上的第二锥齿轮20转动,伺服电机18的驱动轴上固定连接有转轴19,转轴19上同轴固定连接有第二锥齿轮20,第二锥齿轮20与第一锥齿轮11啮合,第二锥齿轮20转动带动啮合的第一锥齿轮11转动,并带动与第一锥齿轮11同轴连接的螺纹杆10转动。
本实用新型在使用时,手动将其中一个柱形水冷组件本体5贯穿插设于模槽3的底部设置,使得固定轴2的上端插设于圆形块6上的圆形插槽7内并贯穿环形密封圈8设置,将模具4插设于模槽3内并与模槽3底部的柱形水冷组件本体5上端相抵接触,同时将另外一个柱形水冷组件本体5贯穿插设于模槽3的顶面设置,启动U型板9上的伺服电机18带动转轴19上的第二锥齿轮20转动,并由第二锥齿轮20带动与之啮合的第一锥齿轮11转动,从而带动与第一锥齿轮11同轴连接的螺纹杆10转动,并使得转动的螺纹杆10带动螺纹套接的升降块12在连接杆17上的滑块16和滑槽15的限位作用下进行升降,进而由升降块12配合圆形套筒13带动压紧杆14的下端插设于模槽3顶面柱形水冷组件本体5的圆形插槽7内,配合固定轴2压紧模具4,代替人工手动操作,省时省力,使得橡胶制品的圆形块6配合环形密封圈8对柱形水冷组件本体5提供防护,延长柱形水冷组件本体5的使用寿命。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉,包括真空热压炉本体(1),所述真空热压炉本体(1)底座上设有固定轴(2),其特征在于,所述真空热压炉本体(1)内设有模槽(3),所述模槽(3)内插设有模具(4),所述模槽(3)的顶面和底部上均插设有柱形水冷组件本体(5),所述模具(4)的上下两端分别与两个柱形水冷组件本体(5)相抵接触,所述柱形水冷组件本体(5)远离模槽(3)的一端均设有防护件,所述真空热压炉本体(1)的上端贯穿设有压紧机构,所述压紧机构上设有驱动件,所述驱动件与压紧机构传动连接,所述压紧机构和固定轴(2)均与防护件卡接。
2.根据权利要求1所述的一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉,其特征在于,所述防护件包括分别固定连接于两个柱形水冷组件本体(5)远离模槽(3)一端上的圆形块(6),两块所述圆形块(6)远离柱形水冷组件本体(5)的一端均设有圆形插槽(7),所述圆形插槽(7)的环形内壁上固定连接有环形密封圈(8),所述压紧机构和固定轴(2)分别插设于两侧圆形插槽(7)内并贯穿环形密封圈(8)设置。
3.根据权利要求2所述的一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉,其特征在于,所述圆形块(6)和环形密封圈(8)均为橡胶制品。
4.根据权利要求2所述的一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉,其特征在于,所述压紧机构包括固定连接于真空热压炉本体(1)上端的U型板(9),所述U型板(9)的开口竖直朝下设置,所述驱动件设置于U型板(9)靠近右侧的上端,所述U型板(9)的顶面上竖直转动贯穿设有螺纹杆(10),所述螺纹杆(10)位于U型板(9)开口外的一端上同轴固定连接有第一锥齿轮(11),所述第一锥齿轮(11)与驱动件传动连接,所述螺纹杆(10)位于U型板(9)开口内的一端上螺纹套接有升降块(12),所述升降块(12)与U型板(9)开口的左侧内壁滑动连接,所述升降块(12)的下端固定连接有罩设螺纹杆(10)设置的圆形套筒(13),所述圆形套筒(13)的下端固定连接有压紧杆(14),所述压紧杆(14)的下端贯穿真空热压炉本体(1)上端并插设于圆形插槽(7)内,所述压紧杆(14)贯穿环形密封圈(8)设置。
5.根据权利要求4所述的一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉,其特征在于,所述U型板(9)开口的左侧内壁上设有滑槽(15),所述滑槽(15)内滑动连接有与之相匹配的滑块(16),所述升降块(12)的左端侧壁上固定连接有连接杆(17),所述滑块(16)远离滑槽(15)的一端与连接杆(17)固定连接。
6.根据权利要求4所述的一种用于高纯钌靶制备的真空热压炉,其特征在于,所述驱动件包括固定安装于U型板(9)靠近右侧上端的伺服电机(18),所述伺服电机(18)的驱动轴上固定连接有转轴(19),所述转轴(19)上同轴固定连接有第二锥齿轮(20),所述第二锥齿轮(20)与第一锥齿轮(11)啮合。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114777476A (zh) * 2022-04-19 2022-07-22 南通泰德电子材料科技有限公司 用于制备半导体芯片的高纯铝的真空提纯炉

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