CN212476946U - 一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种涉及单晶炉的领域,尤其是一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,设置在主炉室的一侧并与副炉室相连接,包括支撑架、升降机构、旋转机构和连接副炉室的连接机构,所述的支撑架与主炉室机架相连,支撑架上设置有主轴,所述的升降机构设置在支撑架上并与主轴活动连接,所述的旋转机构设置在支撑架的顶部并与主轴相连接,所述的连接机构的一端与升降机构相连接,其另一端与旋转机构相连接,连接机构设置在主轴的侧面并与主轴固定连接。本申请具有提高了单晶炉运行的稳定性,保证了单晶炉在生产过程中能够长期安全、可靠运行的效果。
Description
技术领域
本申请涉及单晶炉的领域,尤其是涉及一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置。
背景技术
目前,单晶炉是生产太阳能级单晶硅棒产能最高的设备,为了进一步提高其产能,降低生产成本,提高单晶硅棒生产效率,众多硅棒制造厂商多采用单炉多次加料,多次拉制单晶硅棒的办法来提套产能。这就要求单晶炉在制备硅棒时副炉室被多次升起和旋开以实现多次加料。
目前市场上的单晶炉装备副炉室升降装置多采用液压驱动,该方法成本比较高,后期维护也不是很方便;旋转装置多采用楔形轮的方式驱动,该方式在副室炉频繁旋转过程中,楔形带容易松弛、打滑,同时,楔形带长时间使用易产生疲劳,发生断裂。
针对上述中的相关技术,发明人认为存在有单晶炉副炉室升降与旋转装置的运行不稳定、可靠性低的缺陷。
实用新型内容
为了提高单晶炉副炉室升降与旋转装置的稳定性和可靠性,本申请提供一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置。
本申请提供的一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置采用如下的技术方案:
一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,设置在主炉室的一侧并与副炉室相连接,包括支撑架、升降机构、旋转机构和连接副炉室的连接机构,所述的支撑架与主炉室机架相连,支撑架上设置有主轴,所述的升降机构设置在支撑架上并与主轴活动连接,所述的旋转机构设置在支撑架的顶部并与主轴相连接,所述的连接机构的一端与升降机构相连接,其另一端与旋转机构相连接,连接机构设置在主轴的侧面并与主轴固定连接。
通过采用上述技术方案,连接机构与副炉室相连接,当需要打开副炉室时,升降机构带动连接机构进行升起,从而带动副炉室升起,连接机构升起后,旋转机构启动,带动连接机构以主轴为轴并围绕主轴向外旋转,从而带动副炉室向外旋转,单晶炉副炉室打开;当需要关闭副炉室时,旋转机构启动,带动连接机构向内旋转,从而带动副炉室向内旋转,副炉室停止内旋,升降机构启动,带动连接机构下降,从而带动副炉室下降,副炉室关闭。升降机构、旋转机构和连接机构能够稳定、灵活的完成副炉室的开关,提高了单晶炉运行的可靠性。
优选的,所述的的机架包括主体柱,所述的主体柱的底部与主炉体的机架相连接,所述的主轴固定连接在主体柱的侧面上,在主体柱与主轴相对的侧面上由下至上依次设置有第一支承座、第二支承座和第三支承座,主轴的一端由下至上依次穿过第一支承座、第二支承座和第三支承座,主体柱上设置有滑轨,在主体柱上远离主轴的一侧面上设置有杆件,所述的杆件向外延伸的端头上设置有副炉室内旋行程限位开关。
通过采用上述技术方案,主轴贯穿升降机构、旋转机构和连接机构,主轴与支撑架固定连接,从而使升降机构、旋转机构和连接机构设置在主体柱上,杆件上设置的副炉室内旋行程限位开关,可以对副炉室的向内旋转的位置进行限位。副炉室的升降和旋转通过升降机构、旋转机构和连接机构实现,副炉室内旋行程限位开关使副炉室旋转到位置时自动停止,保证副炉室的旋转不发生偏移。
优选的,所述的主体柱上设置有副炉室下降行程限位开关和副炉室上升行程位移限位开关,所述的副炉室下降行程限位开关位于副炉室上升行程位移限位开关的下方,所述的副炉室上升行程位移限位开关位于第一支承座下方。
通过采用上述技术方案,升降机构升起过程中触碰到副炉室上升行程位移限位开关时,升降机构停止升起动作,升降机构下降过程中触碰到副炉室下降行程限位开关时,升降机构停止下降动作。副炉室下降行程限位开关与副炉室上升行程位移限位开关使升降机构自动停止,从而保证副炉室的升降位置不发生偏移。
优选的,所述的升降机构包括第一电机、第一蜗轮蜗杆减速机和丝杠,所述的第一蜗轮蜗杆减速机固定连接在主体柱上,第一蜗轮蜗杆减速机与第一电机相连接,所述的丝杠位于第一蜗轮蜗杆减速机的顶端,在丝杠上由下至上依次套装有第一螺母、第二螺母和支撑座,所述的第二螺母与支撑座固定连接,所述的第二螺母与第一螺母纵向固定连接,所述的主轴的末端插入支撑座内并固定连接,丝杠的一端穿过第一螺母、第二螺母和支撑座并延伸进主轴内,所述的支撑座与主体柱滑动连接并位于副炉室下降行程限位开关与副炉室上升行程位移限位开关之间,所述的副炉室下降行程限位开关位于第一螺母与第一蜗轮蜗杆减速机之间。
通过采用上述技术方案,升降机构升起,启动第一电机,第一电机驱动第一蜗轮蜗杆减速机运转,第一蜗轮蜗杆减速机带动与之连接的丝杠运转,驱动套装在丝杠上的第一螺母向上运动,使第二螺母向上移动并推动支撑座,支撑座带动主轴升起,从而使副炉室升起,当支撑座触碰到副炉室上升行程位移限位开关时,第一电机停止工作;升降机构下降,启动第一电机,第一电机驱动第一蜗轮蜗杆减速机反向运转,第一蜗轮蜗杆减速机到带动与之连接的丝杠反向运转,支撑座带动主轴下降,从而使副炉室下降,当支撑座触碰到副炉室下降行程位移限位开关时,第一电机停止工作,完成副炉室的开关动作。实现副炉室升降的自动化,操作更加灵活、稳定,定位精准。
优选的,所述的主体柱上设置有导轨,所述的导轨位于第一支承座的下方,支撑座靠近主体柱的侧面上开设有与导轨配合使用的滑槽,支撑座与导轨滑动连接。
通过采用上述技术方案,支撑座沿导轨滑动,使主轴在主体柱上进行上下移动,其结构简单,操作简便,使得主轴的上下移动更加平稳。
优选的,所述的连接机构包括旋臂组件和连接组件,所述的旋臂组件与至少一个连接组件固定连接;
所述的旋臂组件包括第一连接柱和第二连接柱,所述的第一连接柱与主轴相连接,所述的第一连接柱与第二连接柱相互平行并连接;
所述的连接组件包括连接块和至少一块与连接块相连接的夹块,所述的连接块与副炉室相连接,所述的夹块与连接块浮动连接,夹块与第二连接柱固定连接。
通过采用上述技术方案,旋臂组件的第一连接柱与主轴相连接,连接组件的连接块与副炉室相连接,使副炉室通过连接机构与主轴相连接,从而在主轴进行运动时会带动副炉室运动。连接机构保证了副炉室运行的平稳性和安全性。
优选的,所述的主轴由下至上依次套装有第一连接座和第二连接座,第一连接座与第二连接座分别与第一连接柱固定连接,所述的第一连接座位于第一支承座上方,所述的第二连接座位于第二支承座上方,在第一连接座的底部和第二连接座的底部各设置有一个固定套。
通过采用上述技术方案,第一连接座与第二连接座的设置,增加了主轴与连接机构的接触,增加了副炉室运行的平稳性,固定套对第一连接座和第二连接座起托举的作用。
优选的,所述的旋转机构包括第二电机、第二蜗轮蜗杆减速机、曲柄连杆机构和拨叉,所述的第二蜗轮蜗杆减速机位于主体柱的顶部,第二蜗轮蜗杆减速机的一端与第二电机相连接,另一端与曲柄连杆机构相连接,所述的曲柄连杆机构与拨叉活动连接,所述的第一连接柱位于拨叉的两臂之间,在拨叉的下方设置有过渡套筒,拨叉套装在过渡套筒上,所述的过渡套筒位于第三支承座的顶部,所述的主轴的一端向上延伸插入过渡套筒,在第三支承座上设置有副炉室外旋行程限位开关。
通过采用上述技术方案,旋转机构向外旋转,第二电机启动,驱动第二蜗轮蜗杆减速机运转,第二蜗轮蜗杆减速机带动与之相连的曲柄连杆机构运动,从而带动拨叉绕过渡套筒向外旋转,拨叉带动连接机构旋转,使副炉室向外旋转,当第一连接柱旋转过程中触碰到副炉室外旋行程限位开关时,第二电机停止工作;旋转机构向内旋转,第二电机启动,驱动第二蜗轮蜗杆减速机反向运转,第二蜗轮蜗杆减速机带动与之相连的曲柄连杆机构运动,从而带动拨叉绕过渡套筒向内旋转,拨叉带动连接机构旋转,使副炉室向内旋转,当第一连接柱旋转过程中触碰到副炉室内旋行程限位开关时,第二电机停止工作。实现副炉室旋转的自动化,操作更加灵活、稳定,定位精准
优选的,所述的旋转机构还包括第三蜗轮蜗杆减速机,所述的第三蜗轮蜗杆减速机位于第二电机与第二蜗轮蜗杆减速机之间并相互连接。
通过采用上述技术方案,第三蜗轮蜗杆减速机的设置,增加了传递扭矩和速比,提高了单晶炉工作的可靠性。
综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:
1、本申请中的升降机构、旋转机构和连接机构,实现自动化操作,能够灵活的完成副炉室的开关,提高了单晶炉运行的稳定性,保证了单晶炉在生产过程中能够长期安全、可靠的运行;
2、本申请中第三蜗轮蜗杆减速机的设置,增加了传递扭矩和速比,提高了单晶炉工作的可靠性。
附图说明
图1是本申请的整体结构示意图。
图2是本申请的升降机构与导轨的结构示意图。
图3是本申请的旋转机构与连接机构的结构示意图。
图4是本申请的连接组件的结构示意图。
图5是本申请的夹块的结构示意图。
图6是本申请的旋转机构的结构示意图。
附图标记说明:1、支撑架,11、主体柱,12、副柱;
2、升降机构,21、第一电机,22、第一蜗轮蜗杆减速机,23、丝杠,24、第一螺母,25、第二螺母,26、支撑座;
3、旋转机构,31、第二电机,32、第二蜗轮蜗杆减速机,33、曲柄连杆机构,34、拨叉,35、过渡套筒,36、第三蜗轮蜗杆减速机;
4、连接机构,41、旋臂组件,411、第一连接柱,412、第二连接柱,413、第三连接柱,414、第四连接柱,42、连接组件,421、连接块,422、夹块,4221、长圆孔,4222、长形孔,423、第一垫板,424、第二垫板;
5、主轴,6、第一支承座,7、第二支承座,8、第三支承座,9、副炉室下降行程限位开关,10、副炉室上升行程位移限位开关,20、副炉室外旋行程限位开关,30、杆件,40、副炉室内旋行程限位开关,50、导轨,60、第一连接座,70、第二连接座,80、第一销钉。
具体实施方式
以下结合附图1-6对本申请作进一步详细说明。
本申请实施例公开一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置。参照图1, 一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,设置在主炉室的一侧并与副炉室相连接,包括支撑架1、升降机构2、旋转机构3和连接副炉室的连接机构4,支撑架1与主炉室机架相连,支撑架1上设置有主轴5,升降机构2设置在支撑架1上并与主轴5相连接,旋转机构3设置在支撑架1的顶部并与主轴5活动连接,连接机构4的一端与升降机构2相连接,其另一端与旋转机构3相连接,连接机构4设置在主轴5的侧面并与主轴5固定连接。
支撑架1包括主体柱11和副柱12,主体柱11与副柱12并列设置,主体柱11与副柱12的底部与主炉体的机架相连接,主轴5固定连接在主体柱11的侧面上,在主体柱11与主轴5相对的侧面上由下至上依次设置有第一支承座6、第二支承座7和第三支承座8,主轴5的一端由下至上依次穿过第一支承座6、第二支承座7和第三支承座8,在主体柱11上远离主轴5的一侧面上设置有L形杆件30,杆件30的短边与主体柱11相连接,其长边的端头上设置有副炉室内旋行程限位开关40。
主体柱11上设置有副炉室下降行程限位开关9和副炉室上升行程位移限位开关10,副炉室下降行程限位开关9位于副炉室上升行程位移限位开关10的下方,副炉室上升行程位移限位开关10位于第一支承座6下方。
参照图2,升降机构2包括第一电机21、第一蜗轮蜗杆减速机22和丝杠23,第一蜗轮蜗杆减速机22的底部设置有安装座,第一蜗轮蜗杆减速机22通过安装座固定连接在主体柱11上,第一蜗轮蜗杆减速机22与第一电机21相连接,丝杠23位于第一蜗轮蜗杆减速机22的顶端,在丝杠23上由下至上依次套装有第一螺母24、第二螺母25和支撑座26,第二螺母25与支撑座26固定连接,第二螺母25与第一螺母24上各开有两个竖槽,通过销钉纵向固定连接,主轴5的末端插入支撑座26内并固定连接,丝杠23的一端穿过第一螺母24、第二螺母25和支撑座26并延伸进主轴5内,支撑座26与主体柱11滑动连接并位于副炉室下降行程限位开关9与副炉室上升行程位移限位开关10之间。
主体柱11上设置有导轨50,导轨50位于第一支承座6的下方,支撑座26靠近主体柱11的侧面上开设有与导轨50配合使用的滑槽,支撑座26与导轨50滑动连接。
第二螺母25由于长时间承受副炉室的载荷,内螺纹会出现磨损,导致第二螺母25失效,失去紧固的作用,如果第二螺母25失效,就会导致副炉室突然向下坠落,对主炉体造成损害。第一螺母24位于第二螺母25下方,具有防护的作用,由于第一螺母24与第二螺母25之间距离很小,当第二螺母25失效, 副炉室突然坠落,第一螺母24能够承受副炉室坠落所产生的冲击力,能够防止副炉室继续坠落或者减缓副炉室坠落的速度,对主炉室起到防护的作用。
参照图3,连接机构4包括旋臂组件41和两个连接组件42,两个连接组件42分别位于旋臂组件41的上下两端部并相互连接;
旋臂组件41包括第一连接柱411和第二连接柱412,第一连接柱411与第二连接柱412相互平行,在第一连接柱411与第二连接柱412之间设置有五个横向的第三连接柱413,第三连接柱413的两端分别与第一连接柱411与第二连接柱412固定连接,两个连接组件42分别位于第二连接柱412的上下两端并相对设置;
第二连接柱412的长度小于第一连接柱411的长度,第一连接柱411与第二连接柱412的顶部处于同一水平面,其第一连接柱411与第二连接柱412的底部之间设置有斜向的第四连接柱414,位于最下方的第三连接柱413和第四连接柱414之间设置有纵向的第一加强筋,第一个第三连接柱411与第二个第三连接柱411之间设置有纵向的第二加强筋,第一加强筋和第二加强筋与第二连接柱412相接触。第一加强筋和第二加强筋起到了加固旋臂组件41的效果,保持旋臂组件41工作的稳定性。
参照图4,连接组件42包括连接块421和两个与连接块421相连接的夹块422,连接块421的外侧面固定连接有安装板,连接块421通过安装板与副炉室相连接,两个夹块422与连接块421浮动连接,两个夹块422和第二连接柱412固定连接,两个夹块422分别设置在第二连接柱412的上部和下部并相对设置。
参照图5,夹块422的后段上开设有四个长圆孔4221,夹块422的前段上开设有一个长形孔4222,长形孔4221的空间由一端至另一端逐渐变大,连接块421位于两个夹块422之间的前段位置,在连接块421与夹块422之间设置有第一垫板423,第一垫板423上开有与长形孔4222相对应的通孔,连接块421上开有与长形孔4222相对应的圆通孔,通过第一销钉80插入两个长形孔4222、通孔和圆通孔使两个夹块422与两个第一垫423板和连接块421固定连接。
当升降机构2升起连接机构4时,因为连接块421与副炉室相连接,将副炉室升起,由于副炉室的重力作用,副炉室将第一销钉80压向长形孔4222空间小的一端,当升降机构2降低连接机构4时,副炉室也随着连接块421下降,副炉室下降完成后,旋臂组件41会继续下降,然后两个夹块422开始浮动,长形孔4222沿第一销钉80上下浮动,最终使第一销钉80位于长形孔4222的中间位置,防止副炉室卡死,同时位于长形孔4222的中间位置的第一销钉80距离长形孔4222空间大的另一端留有空间,用于,可以防止副炉室内的炉压过高,把副炉室顶起,对主炉室及其他装置造成破坏。
第二连接柱412位于两个夹块422之间的后段位置,在第二连接柱412与夹块422之间设置有一个第二垫板424,第二垫板424上开有与四个长圆孔4221相对应的长孔,第二连接柱412上开有与四个长圆孔4221相对应的长通孔,通过螺钉插入长圆孔4221、长孔和长通孔使两个夹块422与两个第二垫板424和第二连接柱412固定连接。
位于上方的第二垫板424固定连接在第二连接柱412上,并与第一加强筋和位于最下方第三连接柱413固定连接。
位于下方的第二垫板424固定连接在第二连接柱412上,并与第二加强筋和位于最上方第三连接柱413固定连接。
主轴5由下至上依次套装有第一连接座60和第二连接座70,第一连接座60与第二连接座70上分别设置有两个限位板,第一连接柱411位于两个限位板之间使第一连接柱411与主轴5相连接,第一连接座60位于第一支承座6上方,第二连接座70位于第二支承座7上方,在第一连接座60的底部和第二连接座70的底部各设置有一个固定套。
参照图6,旋转机构3包括第二电机31、第二蜗轮蜗杆减速机32、曲柄连杆机构33、拨叉34和第三蜗轮蜗杆减速机36,第三蜗轮蜗杆减速机36位于第二电机31与第二蜗轮蜗杆减速机32之间并相互连接,第二蜗轮蜗杆减速机32位于主体柱11的顶部,第二蜗轮蜗杆减速机32的一端与第二电机31相连接,另一端与曲柄连杆机构33相连接,曲柄连杆机构33与拨叉34活动连接,拨叉34的两臂的端头处各设有一个导向轮,第一连接柱411位于拨叉34的两臂和两个导向轮之间,在第一连接柱411上与两个导向轮相对的侧面上各设有一个滑条,在升降机构2升起时,带动主轴5上升,随之将副炉室升起,这时导向轮沿第一连接柱411上的滑条滑动,增加了第一连接柱411与主轴5之间的摩擦力,具有防滑的效果,在拨叉34的下方设置有过渡套筒35,拨叉34套装在过渡套筒35上,过渡套筒35位于第三支承座8上方并插入第三支承座8,主轴5的一端向上延伸插入过渡套筒35,在第三支承座8上设置有副炉室外旋行程限位开关20。
本申请实施例一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置的实施原理为:单晶炉生产过程中,需要打开副炉室,升降机构2开始工作,启动第一电机21,第一电机21驱动第一蜗轮蜗杆减速机22运转,第一蜗轮蜗杆减速机22带动与之连接的丝杠23运转,驱动套装在丝杠23上的第一螺母24向上运动,第一螺母24带动第二螺母25向上运动并推动支撑座26,支撑座26带动主轴5升起,主轴5推动第一连接座60、第二连接座70,使连接机构4上升,从而使副炉室升起,当支撑座26上升过程中触碰到副炉室上升行程位移限位开关10时,第一电机21停止工作,这时旋转机构3工作,开始向外旋转,第二电机31启动,驱动第三蜗轮蜗杆减速机运转36,第三蜗轮蜗杆减速机36带动第二蜗轮蜗杆减速机32运转,第二蜗轮蜗杆减速机32带动与之相连的曲柄连杆机构33运动,从而带动拨叉34绕过渡套筒35向外旋转,拨叉34带动第一连接柱411旋转,使连接机构4向外旋转,从而使副炉室向外旋转,当第一连接柱411向外旋转过程中触碰到副炉室外旋行程限位开关20时,第二电机31停止工作,此时,副炉室打开;
当完成相关生产工艺需要关闭副炉室时,旋转机构3工作,开始向内旋转,第二电机31启动,驱动第三蜗轮蜗杆减速机36反向运转,第三蜗轮蜗杆减速机36带动第二蜗轮蜗杆减速机32反向运转,第二蜗轮蜗杆减速机32带动与之相连的曲柄连杆机构33运动,从而带动拨叉34绕过渡套筒35向内旋转,拨叉34带动第一连接柱411旋转,使连接机构4向外旋转,从而使副炉室向内旋转,当副炉室旋转过程中触碰到副炉室内旋行程限位开关40时,第二电机31停止工作,这时升降机构2下降,启动第一电机21,第一电机21驱动第一蜗轮蜗杆减速机22反向运转,第一蜗轮蜗杆减速机22到带动与之连接的丝杠23反向运转,支撑座26带动主轴5下降,连接机构4下降,从而使副炉室下降,当支撑座26触碰到副炉室下降行程位移限位开关9时,第一电机21停止工作,副炉室停止下降,此时副炉室关闭,即可进行后续相关的生产工艺。
以上均为本申请的较佳实施例,并非依此限制本申请的保护范围,故:凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化,均应涵盖于本申请的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,设置在主炉室的一侧并与副炉室相连接,其特征在于:包括支撑架(1)、升降机构(2)、旋转机构(3)和连接副炉室的连接机构(4),所述的支撑架(1)与主炉室机架相连,支撑架(1)上设置有主轴(5),所述的升降机构(2)设置在支撑架(1)上并与主轴(5)活动连接,所述的旋转机构(3)设置在支撑架(1)的顶部并与主轴(5)相连接,所述的连接机构(4)的一端与升降机构(2)相连接,其另一端与旋转机构(3)相连接,连接机构(4)设置在主轴(5)的侧面并与主轴(5)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,其特征在于:所述的支撑架(1)包括主体柱(11),所述的主体柱(11)的底部与主炉体的机架相连接,所述的主轴(5)固定连接在主体柱(11)的侧面上,在主体柱(11)与主轴(5)相对的侧面上由下至上依次设置有第一支承座(6)、第二支承座(7)和第三支承座(8),主轴(5)的一端由下至上依次穿过第一支承座(6)、第二支承座(7)和第三支承座(8),在主体柱(11)上远离主轴(5)的一侧面上设置有杆件(30),所述的杆件(30)向外延伸的端头上设置有副炉室内旋行程限位开关(40)。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,其特征在于:所述的主体柱(11)上设置有副炉室下降行程限位开关(9)和副炉室上升行程位移限位开关(10),所述的副炉室下降行程限位开关(9)位于副炉室上升行程位移限位开关(10)的下方,所述的副炉室上升行程位移限位开关(10)位于第一支承座(6)下方。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,其特征在于:所述的升降机构(2)包括第一电机(21)、第一蜗轮蜗杆减速机(22)和丝杠(23),所述的第一蜗轮蜗杆减速机(22)固定连接在主体柱(11)上,第一蜗轮蜗杆减速机(22)与第一电机(21)相连接,所述的丝杠(23)位于第一蜗轮蜗杆减速机(22)的顶端,在丝杠(23)上由下至上依次套装有第一螺母(24)、第二螺母(25)和支撑座(26),所述的第二螺母(25)与支撑座(26)固定连接,所述的第二螺母(25)与第一螺母(24)纵向固定连接,所述的主轴(5)的末端插入支撑座(26)内并固定连接,丝杠(23)的一端穿过第一螺母(24)、第二螺母(25)和支撑座(26)并延伸进主轴(5)内,所述的支撑座(26)与主体柱(11)滑动连接并位于副炉室下降行程限位开关(9)与副炉室上升行程位移限位开关(10)之间,所述的副炉室下降行程限位开关(9)位于第一螺母(24)与第一蜗轮蜗杆减速机(22)之间。
5.根据权利要求4所述的一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,其特征在于:所述的主体柱(11)上设置有导轨(50),所述的导轨(50)位于第一支承座(6)的下方,支撑座(26)靠近主体柱(11)的侧面上开设有与导轨(50)配合使用的滑槽,支撑座(26)与导轨(50)滑动连接。
6.根据权利要求2所述的一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,其特征在于:所述的连接机构(4)包括旋臂组件(41)和至少一个连接组件(42),所述的旋臂组件(41)与连接组件(42)固定连接;
所述的旋臂组件(41)包括第一连接柱(411)和第二连接柱(412),所述的第一连接柱(411)与主轴(5)相连接,所述的第一连接柱(411)与第二连接柱(412)相互平行并连接;
所述的连接组件(42)包括连接块(421)和至少一块与连接块(421)相连接的夹块(422),所述的连接块(421)与副炉室相连接,所述的夹块(422)与连接块(421)浮动连接,夹块(422)与第二连接柱(412)固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,其特征在于:所述的主轴(5)由下至上依次套装有第一连接座(60)和第二连接座(70),第一连接座(60)与第二连接座(70)分别与第一连接柱(411)固定连接,所述的第一连接座(60)位于第一支承座(6)上方,所述的第二连接座(70)位于第二支承座(7)上方,在第一连接座(60)的底部和第二连接座(70)的底部各设置有一个固定套。
8.根据权利要求6所述的一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,其特征在于:所述的旋转机构(3)包括第二电机(31)、第二蜗轮蜗杆减速机(32)、曲柄连杆机构(33)和拨叉(34),所述的第二蜗轮蜗杆减速机(32)位于主体柱(11)的顶部,第二蜗轮蜗杆减速机(32)的一端与第二电机(31)相连接,另一端与曲柄连杆机构(33)相连接,所述的曲柄连杆机构(33)与拨叉(34)活动连接,所述的第一连接柱(411)位于拨叉(34)的两臂之间,在拨叉(34)的下方设置有过渡套筒(35),拨叉(34)套装在过渡套筒(35)上,所述的过渡套筒(35)位于第三支承座(8)的顶部,所述的主轴(5)的一端向上延伸插入过渡套筒(35),在第三支承座(8)上设置有副炉室外旋行程限位开关(20)。
9.根据权利要求8所述的一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置,其特征在于:所述的旋转机构(3)还包括第三蜗轮蜗杆减速机(36),所述的第三蜗轮蜗杆减速机(36)位于第二电机(31)与第二蜗轮蜗杆减速机(32)之间并相互连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202021775091.3U CN212476946U (zh) | 2020-08-22 | 2020-08-22 | 一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN212476946U true CN212476946U (zh) | 2021-02-05 |
Family
ID=74448329
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202021775091.3U Active CN212476946U (zh) | 2020-08-22 | 2020-08-22 | 一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN212476946U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111850678A (zh) * | 2020-08-22 | 2020-10-30 | 北京北方华创真空技术有限公司 | 一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置 |
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- 2020-08-22 CN CN202021775091.3U patent/CN212476946U/zh active Active
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