CN211905293U - 一种硅片缺陷检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硅片生产领域的一种硅片缺陷检测装置，包括固定在地面上的底座，底座上配合设置有主框架，主框架的四周配合设置有挡板；主框架包括上层工作部和下层工作部，下层工作部密封设置；上层工作部分别配合设置有进口和出口，上层工作部的进口和出口处设置有输送装置；上层工作部的内部配合设置有检测机构，检测机构对应输送装置的中心位置设置；输送装置位于进口处配合设置有限位装置；输送装置的中心位置处还配合设置有定位装置；输送装置还配合设置有用于固定硅片的托盘组件；本实用新型结构简单，紧凑，在对硅片进行检测之前可以实现对硅片位置的固定及限位，提高标注化，对操作人员的要求较低同时还能够提高检测的准确性。

Description

一种硅片缺陷检测装置

技术领域

本实用新型涉及硅片生产领域，具体而言涉及一种缺陷检测装置。

背景技术

随着半导体特征尺寸的不断减小，半导体行业对于小型硅片的表面缺陷要求越来越高；半导体行业不仅对硅片正面的缺陷要求越来越高，而且对硅片背面缺陷和边缘缺陷的要求也越来越苛刻。这些缺陷例如包括污点、刮痕以及硅片边缘的缺口等，这些缺陷通常由人为通过检测装置发现；而且现有技术中还没有一些专用的设备对硅片表面的缺陷进行检测，及时检测都需要人工的干预或者对人工的要求比较高，不利于长期的使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片缺陷检测装置，本实用新型结构简单，紧凑，在对硅片进行检测之前可以实现对硅片位置的固定及限位，提高标注化，对操作人员的要求较低同时还能够提高检测的准确性。

一种硅片缺陷检测装置，包括固定在地面上的底座，底座上配合设置有主框架，主框架的四周配合设置有挡板；

所述主框架包括上层工作部和下层工作部，下层工作部密封设置；

上层工作部分别配合设置有进口和出口，所述上层工作部的进口和出口处设置有输送装置；

所述上层工作部的内部配合设置有检测机构，所述检测机构对应输送装置的中心位置设置；

所述输送装置位于进口处配合设置有限位装置；

所述输送装置的中心位置处还配合设置有定位装置；

所述输送装置还配合设置有用于固定硅片的托盘组件。

进一步的实施例中，为了保证输送装置输送可靠，而且输送平稳；所述输送装置为皮带输送机构，输送装置自上侧工作部的进口处一直延伸到上侧工作部的出口处。

进一步的实施例中，为了保证限位装置能够一次性进行限位而且限位可靠，精准度高；所述限位装置包括设置在输送装置侧面的定位座，固定在定位座上电动推杆，设置在电动推杆末端的L形挡板，设置在L形挡板上的限位板，所述电动推杆带动L形挡板进行前后移动。

进一步的实施例中，为了保证定位装置能够实现快速定位；所述定位装置包括分别设置在输送装置两侧的固定座，分别设置在固定座上的气缸，两边的气缸相对设置，每个气缸上均配合设置有定位板，两边的定位板平行设置。

进一步的实施例中，为了保证定位装置具有较好的缓冲性能；所述定位板与气缸连接的位置还配合设置有缓冲组件。

进一步的实施例中，为了保证托盘固定硅片稳定可靠，而且不容易移位；所述托盘组件包括托盘，设置在托盘上的吸盘，所述托盘设置有若干组。

本实用新型在实际工作时，待检测的硅片放置在托盘上，托盘上的吸盘可以稳稳的将硅片吸住，机械手再将托盘放置到输送装置上靠近L形挡板的位置，电动推杆推动L形挡板并卡住托盘，然后电动推杆缓慢的移动，实现对托盘位置的调整，调整之后，输送装置将托盘朝前输送一直到定位装置的位置，此时定位装置两边平行的定位板可以夹住托盘的两侧，在此过程中，定位板和气缸连接的位置设置的缓冲组件可以有效的起到缓冲的作用，进而避免产生较大的震动，最后可以稳定通过检测机构进行检测；检测完毕之后，气缸松开托盘，输送装置将托盘运走，然后机械手可以直接将下一个待检测硅片的托盘移动过来，依次类推，这样可以实现批量化生产，提高效率。

本实用新型的有益效果为，该实用新型结构简单，紧凑，在对硅片进行检测之前可以实现对硅片位置的固定及限位，提高标注化，对操作人员的要求较低同时还能够提高检测的准确性。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明：

图1为本实用新型的立体图。

图2为本图1中A处主视图。

其中，1上层工作部、2下层工作部、3检测机构、4吸盘、5托盘、6定位装置、7限位装置、8主框架、9固定座、10气缸、11定位板、12缓冲组件、13定位座、14电动推杆、15L形挡板、16限位板、17输送装置。

具体实施方式

如图1-2所示，种硅片缺陷检测装置，包括固定在地面上的底座，底座上配合设置有主框架8，主框架8的四周配合设置有挡板；所述主框架8包括上层工作部1和下层工作部2，下层工作部2密封设置；上层工作部1分别配合设置有进口和出口，所述上层工作部1的进口和出口处设置有输送装置17；所述上层工作部1的内部配合设置有检测机构3，所述检测机构3对应输送装置17的中心位置设置；所述输送装置17位于进口处配合设置有限位装置7；所述输送装置17的中心位置处还配合设置有定位装置6；所述输送装置17还配合设置有用于固定硅片的托盘组件；所述输送装置17为皮带输送机构，输送装置17自上侧工作部的进口处一直延伸到上侧工作部的出口处；所述限位装置7包括设置在输送装置17侧面的定位座13，固定在定位座13上电动推杆14，设置在电动推杆14末端的L形挡板15，设置在L形挡板15上的限位板16，所述电动推杆14带动L形挡板15进行前后移动；所述定位装置6包括分别设置在输送装置17两侧的固定座9，分别设置在固定座9上的气缸10，两边的气缸10相对设置，每个气缸10上均配合设置有定位板11，两边的定位板11平行设置；所述定位板11与气缸10连接的位置还配合设置有缓冲组件12；所述托盘组件包括托盘4，设置在托盘4上的吸盘4，所述托盘4设置有若干组。

本实用新型在实际工作时，待检测的硅片放置在托盘4上，托盘4上的吸盘4可以稳稳的将待检测的硅片吸住，机械手再将托盘4放置到输送装置17上靠近L形挡板15的位置，电动推杆14推动L形挡板15并卡住托盘4，然后电动推杆14缓慢的移动，实现对托盘4位置的调整，调整之后，输送装置17将托盘4朝前输送一直到定位装置6的位置，此时定位装置6两边平行的定位板11可以夹住托盘4的两侧，在此过程中，定位板11和气缸10连接的位置设置的缓冲组件12可以有效的起到缓冲的作用，进而避免产生较大的震动，最后可以稳定通过检测机构3进行检测；检测完毕之后，气缸10松开托盘4，输送装置17将托盘4运走，然后机械手可以直接将下一个待检测硅片的托盘4移动过来，依次类推，这样可以实现批量化生产，提高效率。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种硅片缺陷检测装置，包括固定在地面上的底座，底座上配合设置有主框架，主框架的四周配合设置有挡板；

其特征在于，所述主框架包括上层工作部和下层工作部，下层工作部密封设置；

上层工作部分别配合设置有进口和出口，所述上层工作部的进口和出口处设置有输送装置；

所述上层工作部的内部配合设置有检测机构，所述检测机构对应输送装置的中心位置设置；

所述输送装置位于进口处配合设置有限位装置；

所述输送装置的中心位置处还配合设置有定位装置；

所述输送装置还配合设置有用于固定硅片的托盘组件。

2.根据权利要求1所述的一种硅片缺陷检测装置，其特征在于：所述输送装置为皮带输送机构，输送装置自上侧工作部的进口处一直延伸到上侧工作部的出口处。

3.根据权利要求1所述的一种硅片缺陷检测装置，其特征在于：所述限位装置包括设置在输送装置侧面的定位座，固定在定位座上电动推杆，设置在电动推杆末端的L形挡板，设置在L形挡板上的限位板，所述电动推杆带动L形挡板进行前后移动。

4.根据权利要求1所述的一种硅片缺陷检测装置，其特征在于：所述定位装置包括分别设置在输送装置两侧的固定座，分别设置在固定座上的气缸，两边的气缸相对设置，每个气缸上均配合设置有定位板，两边的定位板平行设置。

5.根据权利要求4所述的一种硅片缺陷检测装置，其特征在于：所述定位板与气缸连接的位置还配合设置有缓冲组件。

6.根据权利要求1所述的一种硅片缺陷检测装置，其特征在于：所述托盘组件包括托盘，设置在托盘上的吸盘，所述托盘设置有若干组。

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