CN211897098U - 一种可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具，包含主动力传动杆、主轴承、圆盘架和拨杆机构；所述主动力传动杆带动圆盘架转动，圆盘架上设置有多个活动机构，多个活动机构环绕主动力传动杆的轴线排列，活动机构上设置有轴销和多个从动杆，活动机构通过轴销转动设置在圆盘架上，多个从动杆环绕轴销的轴线排列；所述拨杆机构包含从动套筒，从动套筒上设置有多个拨杆，拨杆用于拨动活动机构的从动杆；本方案通过圆盘架带动活动机构公转，并通过拨杆机构带动活动机构自转，能够提高pvd涂层均匀性，提高品质，延长镀膜工件寿命，提高产量，降低工件消耗成本；该悬挂治具的结构较现有技术拆卸更简单，制作此治具成本更低。

Description

一种可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具

技术领域

本实用新型涉及一种可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具，属于真空镀膜夹治具技术领域。

背景技术

随着我国进入制造业强国，一些高性能的材料被大量采用，提高优越的性能的同时，加工难度与成本也随之剧增，怎么应用相对较低质材料而具备高材料性能，具有改善工模具、刀具表面硬度，耐磨性，耐高温等多种pvd（物理气相沉积）镀膜涂层也应运而生。

pvd（物理气相沉积）硬质涂层品质的性能好坏与机器设备、靶材间距、气体流量稳定性、镀膜工艺、工件挂装方式等相关，目前市场上机器设备与靶材间距都已固定，镀膜工艺与气体流量稳定性已趋于成熟，工件的挂装方式是一个提高涂层品质与性能一个很好的质量控制点。

目前一些镀膜工件挂架只有单一的公自转转轴，工件之间遮挡较多，且背向靶源一侧的镀膜效果较差甚至无法实现镀膜，导致镀膜均匀性较差，影响涂层品质与性能，镀膜工件使用寿命不能实现较大的提升。

因此为了满足市场对高品质，多面镀膜工件的需求，需要开发一种可公自转的pvd镀膜工件悬挂装置，以期提高pvd涂层均匀性，提高品质，延长镀膜工件寿命，提高产量，降低工件消耗成本。

目前市场有两种可旋转悬挂装置：

一、专利号：201910191374.9，名称：一种柔性可自转涂层用治具，此技术发明，拨片在300-600摄氏度的高温环境中易软化，对自转盘的拨动的效果较低，甚至出现遗漏，达不到拨转效果，且如果拨片安装数量少，则工件自转效率非常低，而若安装多组拨片，则对空间要求较高，扭矩需求变大，且夹具拨片的安装费时费力，也不便于后期维护。

二、专利号：201820685234.8，名称：一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置，该装置为齿轮传动，在真空且300-600摄氏度的高温下，极易冷焊咬合，导致传动失败甚至中断，并且结构较为复杂，制作加工成本高。

实用新型内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种拆卸方便，经济实用的可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具，包含主动力传动杆、主轴承、圆盘架和拨杆机构；所述主动力传动杆通过主轴承带动圆盘架转动，圆盘架上设置有多个活动机构，多个活动机构环绕主动力传动杆的轴线排列，活动机构上设置有轴销和多个从动杆，活动机构通过轴销转动设置在圆盘架上，多个从动杆环绕轴销的轴线排列；所述拨杆机构包含从动套筒，从动套筒上设置有多个拨杆，拨杆用于拨动活动机构的从动杆。

优选的，所述圆盘架包含上活动盘和底托活动盘，上活动盘位于底托活动盘的上侧，上活动盘与底托活动盘固定连接，上活动盘与主轴承固定连接；所述的活动机构通过轴销转动设置在底托活动盘上，上活动盘具有用于避让活动机构的孔结构，活动机构的顶部通过该孔结构伸出至上活动盘的上侧。

优选的，所述从动套筒上设置有副轴承，副轴承通过卡环与主轴承配合；所述底托活动盘的内圈具有避让从动套筒的开口结构，从动套筒的上部通过该开口结构伸至底托活动盘的上侧，多个拨杆环绕设置在从动套筒的上部的外圆周上。

优选的，还包含固定杆，所述从动套筒上设置有限位连杆，固定杆用于止挡限位连杆，从而限制从动套筒的转动。

优选的，所述主动力传动杆上还设置有传动杆套筒，传动杆套筒套在主动力传动杆上，主轴承的下端抵在传动杆套筒的上端，同一主动力传动杆上可设置多个本实用新型所述的悬挂治具，多个悬挂治具通过传动杆套筒隔开。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本方案通过圆盘架带动活动机构公转，并通过拨杆机构带动活动机构自转，能够提高pvd涂层均匀性，提高品质，延长镀膜工件寿命，提高产量，降低工件消耗成本；该悬挂治具的结构较现有技术拆卸更简单，制作此治具成本更低。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

附图1为本实用新型所述的一种可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具的一种具体实施方式的结构示意图；

附图2为本实用新型所述的悬挂治具的俯视图；

附图3为本实用新型所述的悬挂治具的剖视图；

附图4为本实用新型所述的悬挂治具的部分爆炸图；

附图5为本实用新型所述的活动机构的结构图。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

如图1-5所示，本实用新型所述的一种可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具，包含主动力传动杆101、圆盘架和拨杆机构；所述主动力传动杆101安装在真空镀膜设备的公自转转架系统（图中未示出）上，主动力传动杆101上固定安装有主轴承102，圆盘架包含上活动盘104和底托活动盘106，上活动盘104位于底托活动盘106的上侧，上活动盘104与底托活动盘106固定连接，主轴承102具有轴肩结构，上活动盘104与主轴承102的轴肩结构固定连接；主动力传动杆101通过键槽、轴销等方式主轴承102配合，主动力传动杆101通过主轴承102带动圆盘架转动。

所述底托活动盘106上设置有多个活动机构103，多个活动机构103环绕主动力传动杆101的轴线排列，活动机构103上设置有轴销113和多个从动杆114，活动机构103通过轴销113转动设置在底托活动盘106上，多个从动杆114环绕轴销113的轴线排列；所述上活动盘104上设置有若干用于避让活动机构103的预留孔结构，活动机构103的顶部通过该孔结构伸出至上活动盘104的上侧，预留孔的数量不得少于活动机构103的数量。

所述拨杆机构包含从动套筒110和固定杆109，从动套筒110上设置有副轴承111，副轴承111通过卡环115与主轴承102的轴肩结构配合；底托活动盘106的内圈具有避让从动套筒110的开口结构，从动套筒110的上部通过该开口结构伸至底托活动盘106的上侧，从动套筒110位于底托活动盘106上侧的部位的外圆周上设置有一圈拨杆112，拨杆112用于拨动活动机构103的从动杆114。

所述从动套筒110上设置有限位连杆108，固定杆109用于止挡限位连杆108，从而限制从动套筒110的转动，使拨杆机构形成一套相对固定的体系。

所述主动力传动杆101上还设置有传动杆套筒107，传动杆套筒107套在主动力传动杆101上，主轴承102的下端抵在传动杆套筒107的上端；在主动力传动杆101上通过增加或者减少传动杆套筒107的数量，可以调整圆盘架和拨杆机构的高度。

本方案的悬挂治具与主动力传动杆以套筒方式连接，拆卸更方便快捷。

工作时，主动力传动杆101在真空镀膜设备的公自转转架系统主动齿轮的作用下绕轴心转动，主动力传动杆101转动同时带动第一轴承102绕轴心转动，第一轴承102带动上活动盘104与底托活动盘106绕中心旋转，所述底托活动盘106带动活动机构103绕中心呈圆周转动。

所述拨杆112、从动套筒110、限位连杆108在固定杆109作用下不随着第一轴承旋转，因此，活动机构103在公转过程中，其从动杆114会触碰拨杆112，使活动机构103同时自转，从而带动直接悬挂在活动机构103上的镀膜工件，或者通过转接治具悬挂在活动结构103的镀膜工件自转，以保证pvd涂层均匀性。

以上仅是本实用新型的具体应用范例，对本实用新型的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本实用新型权利保护范围之内。

Claims (5)

1.一种可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具，其特征在于：包含主动力传动杆（101）、主轴承（102）、圆盘架和拨杆机构；所述主动力传动杆（101）通过主轴承（102）带动圆盘架转动，圆盘架上设置有多个活动机构（103），多个活动机构（103）环绕主动力传动杆（101）的轴线排列，活动机构（103）上设置有轴销（113）和多个从动杆（114），活动机构（103）通过轴销（113）转动设置在圆盘架上，多个从动杆（114）环绕轴销（113）的轴线排列；所述拨杆机构包含从动套筒（110），从动套筒（110）上设置有多个拨杆（112），拨杆（112）用于拨动活动机构（103）的从动杆（114）。

2.根据权利要求1所述的可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具，其特征在于：所述圆盘架包含上活动盘（104）和底托活动盘（106），上活动盘（104）位于底托活动盘（106）的上侧，上活动盘（104）与底托活动盘（106）固定连接，上活动盘（104）与主轴承（102）固定连接；所述的活动机构（103）通过轴销（113）转动设置在底托活动盘（106）上，上活动盘（104）具有用于避让活动机构（103）的孔结构，活动机构（103）的顶部通过该孔结构伸出至上活动盘（104）的上侧。

3.根据权利要求2所述的可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具，其特征在于：所述从动套筒（110）上设置有副轴承（111），副轴承（111）通过卡环（115）与主轴承（102）配合；所述底托活动盘（106）的内圈具有避让从动套筒（110）的开口结构，从动套筒（110）的上部通过该开口结构伸至底托活动盘（106）的上侧，多个拨杆（112）环绕设置在从动套筒（110）的上部的外圆周上。

4.根据权利要求1所述的可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具，其特征在于：还包含固定杆（109），所述从动套筒（110）上设置有限位连杆（108），固定杆（109）用于止挡限位连杆（108），从而限制从动套筒（110）的转动。

5.根据权利要求1所述的可公自转的pvd镀膜涂层用悬挂治具，其特征在于：所述主动力传动杆（101）上还设置有传动杆套筒（107），传动杆套筒（107）套在主动力传动杆（101）上，主轴承（102）的下端抵在传动杆套筒（107）的上端。

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