CN216838159U - 一种便于定位的溅镀机用定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种便于定位的溅镀机用定位装置，包括所述主体的上方设有盖板，所述盖板上等角度设有连通所述空腔的进料口、溅镀口和出料口，所述空腔的中间位置处设有驱动机构，所述驱动机构通过横杆连接有多个安装盘，所述安装盘上设有用于安装光盘的安装槽，所述安装槽的中心位置处设有用于固定光盘的定位轴芯，所述盖板上设有连接环，所述连接环连接有阴极，所述定位夹具的中间设有与所述定位轴芯同轴同径的定位孔，所述定位夹具与所述连接环连接，移动所述定位夹具与所述连接环，使所述定位孔套于所述定位轴芯上，将所述连接环固定到所述盖板上，实现所述阴极与待溅镀光盘的快速定位，从而提高工作效率。

Description

一种便于定位的溅镀机用定位装置

技术领域

本实用新型涉及溅镀技术领域，具体的是一种便于定位的溅镀机用定位装置。

背景技术

光盘在溅镀过程中，光盘与阴极之间的位置关系非常重要，若光盘与阴极之间的位置关系不合适将会导致光盘的溅镀层出现问题，例如使溅镀层偏心，光盘表面上被溅镀出来的环形区域与圆形的光盘不同心，将会直接影响光盘生产线的成品率。

现有的光盘溅镀调节方式是将阴极、连接环和主体安装完毕后进行溅镀，如发现光盘偏心，再去调整，此方式会消耗较多的时间降低生产效率，且，此方式比较依赖操作员的技术水平，容易出现较大位置偏差，因此，本申请实施例提出一种便于定位的溅镀机用定位装置。

实用新型内容

为了克服现有技术中的缺陷，本实用新型实施例提供了一种便于定位的溅镀机用定位装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本申请实施例公开了：一种便于定位的溅镀机用定位装置，包括主体、盖板、安装盘、阴极、连接环、驱动机构和定位夹具，所述主体设有空腔，所述主体的上方设有盖板，所述盖板上等角度设有连通所述空腔的进料口、溅镀口和出料口，所述空腔的中间位置处设有驱动机构，所述驱动机构通过横杆连接有多个安装盘，所述安装盘上设有用于安装光盘的安装槽，所述安装槽的中心位置处设有用于固定光盘的定位轴芯，所述盖板上设有连接环，所述连接环收容于所述溅镀口内，所述连接环上设有安装孔，所述盖板上设有与所述安装孔匹配的螺孔，所述连接环通过螺钉固定在所述盖板上，所述连接环连接有阴极，所述定位夹具的中间设有与所述定位轴芯同轴同径的定位孔，所述定位夹具与所述连接环连接，移动所述定位夹具与所述连接环，使所述定位孔套于所述定位轴芯上，将所述连接环固定到所述盖板上，实现所述阴极与待溅镀光盘定位。

优选的，所述定位夹具包括圆盘，所述圆盘的中间设有向下的筒状延伸部，所述延伸部伸进所述连接环内，所述定位孔设有所述延伸部底面的中间，所述延伸部的外侧设有位于同一圆周的多个滑槽，所述滑槽内连接有定位块，所述定位块远离所述连接环的一端与所述滑槽的内壁之间连接有弹簧，所述定位块的另一端连接有滚珠，所述连接环的内壁设有环形槽，所述滚珠部分滚动连接在所述环形槽内。

优选的，所述安装槽的直径大于光盘的直径，所述定位轴芯的直径小于光盘中心孔的直径，所述定位轴芯与所述安装盘设有连通的内腔，所述定位轴芯的周面上等角度分布有三个凹槽，所述凹槽内连接有与之匹配的滑块，所述滑块连接有导杆，所述导杆贯穿到所述定位轴芯内，所述安装盘内固定有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴伸进所述定位轴芯内，所述输出轴上等角度分布有三个拨片，所述拨片位于与所述输出轴相切的直线上，所述导杆靠近所述输出轴的一端抵在所述拨片靠近所述输出轴的一端上，所述导杆连接有滚动轴承，所述导杆伸进所述内腔内的部分连接有弹簧，所述弹簧的两端分别固定在所述定位轴芯的内壁与所述导杆的周面上，所述弹簧始终处于压缩状态。

优选的，所述驱动机构包括设于所述主体下方的第二伺服电机，所述主体的底面设有通孔，所述第二伺服电机的转轴由所述通孔伸进所述主体内，所述安装盘通过横杆固定在所述转轴上。

优选的，所述安装盘的上端面设有密封圈，所述密封圈位于所述安装盘与所述连接环之间。

优选的，所述进料口与所述出料口处均设有机械手，所述机械手连接有真空吸盘。

本实用新型的有益效果如下：将待溅镀的光盘防止到所述安装槽内，所述定位轴芯对所述光盘进行定位，所述驱动机构驱动所述圆盘旋转，使光盘转至所述溅镀口的下方，通过所述定位夹具实现所述连接环的快速定位连接，进而实现所述阴极的快速定位，大大提高工作效率，所述阴极对所述光盘进行镀膜，镀膜完成后，所述驱动机构继续驱动所述圆盘转至所述出料口处，便于将所述光盘取出。

为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是一种便于定位的溅镀机用定位装置。

图2是盖板结构示意图。

图3是连接环结构示意图。

图4是定位轴芯结构示意图。

以上附图的附图标记：1、主体；2、盖板；3、安装盘；4、阴极；5、连接环；6、空腔； 7、进料口；8、溅镀口；9、出料口；10、安装槽；11、定位轴芯；12、定位孔；13、圆盘； 14、延伸部；15、滑槽；16、定位块；17、滚珠；18、环形槽；19、内腔；20、凹槽；21、滑块；22、导杆；23、第一伺服电机；24、拨片；25、第二伺服电机；26、密封圈；27、机械手；28、真空吸盘。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参阅图1至图4，一种溅镀机用定位装置，包括主体1、盖板2、安装盘3、阴极4、连接环5、驱动机构和定位夹具，所述主体1设有空腔6，所述主体1的上方设有盖板2，所述盖板2上等角度设有连通所述空腔6的进料口7、溅镀口8和出料口9，所述空腔6的中间位置处设有驱动机构，所述驱动机构通过横杆连接有多个安装盘3，所述安装盘3上设有用于安装光盘的安装槽10，所述安装槽10的中心位置处设有用于固定光盘的定位轴芯11，所述盖板2上设有连接环5，所述连接环5收容于所述溅镀口8内，所述连接环5上设有安装孔，所述盖板2上设有与所述安装孔匹配的螺孔，所述连接环5通过螺钉固定在所述盖板上，所述连接环5连接有阴极4，所述定位夹具的中间设有与所述定位轴芯11同轴同径的定位孔 12，所述定位夹具与所述连接环5连接，移动所述定位夹具与所述连接环5，使所述定位孔 12套于所述定位轴芯11上，将所述连接环5固定到所述盖板2上，实现所述阴极4与待溅镀光盘定位。

所述定位夹具包括圆盘13，所述圆盘13的中间设有向下的筒状延伸部14，所述延伸部 14伸进所述连接环5内，所述定位孔12设有所述延伸部14底面的中间，所述延伸部14的外侧设有位于同一圆周的多个滑槽15，所述滑槽15内连接有定位块16，所述定位块16远离所述连接环5的一端与所述滑槽15的内壁之间连接有弹簧，所述定位块16的另一端连接有滚珠17，所述连接环5的内壁设有环形槽18，所述滚珠17部分滚动连接在所述环形槽18内，使所述连接环5与所述延伸部14同心防止所述连接环5脱落，并可实现所述连接环5 与所述定位夹具的快速拆装，移动所述定位夹具与所述连接环5，使所述定位孔12套在所述定位轴芯11上，将所述连接环5通过螺钉固定到所述盖板2上，取下所述定位夹具，再将所述阴极4与所述连接环5连接，从而实现所述阴极4与待溅镀光盘的快速定位。

所述安装槽10的直径大于光盘的直径，所述定位轴芯11的直径小于光盘中心孔的直径，使光盘与所述安装槽10与所述定位轴芯11的边缘之间留有足够空隙，便于所述光盘的安装和取出，所述定位轴芯11与所述安装盘3设有连通的内腔19，所述定位轴芯11的周面上等角度分布有三个凹槽20，所述凹槽20内连接有与之匹配的滑块21，所述滑块21的伸出端设为光滑弧面，防止光盘的中心孔壁刮损，所述滑块21连接有导杆22，所述导杆22贯穿到所述定位轴芯11内，所述导杆22的背部连接有横向滑轨，所述安装盘3内固定有第一伺服电机23，所述第一伺服电机23的输出轴伸进所述定位轴芯11内，所述输出轴上等角度分布有三个拨片24，所述拨片24位于与所述输出轴相切的直线上，所述导杆22靠近所述输出轴的一端抵在所述拨片24靠近所述输出轴的一端上，所述导杆22连接有滚动轴承，可减小所述导杆22与所述拨片24之间的摩擦，所述导杆22伸进所述内腔19内的部分连接有弹簧，所述弹簧的两端分别固定在所述定位轴芯11的内壁与所述导杆22的周面上，所述弹簧始终处于压缩状态，所述第一伺服电机23驱动所述拨片24逆时针旋转，所述拨片24推动所述导杆22向外侧滑动，所述弹簧被压缩，所述导杆22推动所述滑块21向外侧滑动抵在所述光盘的中心孔的内壁上，对所述光盘进行定位，需要取出所述光盘时，所述第一伺服电机23 驱动所述拨片24反转，所述滑块21在所述弹簧的弹力作用下复位，便于将所述光盘取出。

所述驱动机构包括设于所述主体1下方的第二伺服电机25，所述主体1的底面设有通孔，所述第二伺服电机25的转轴由所述通孔伸进所述主体1内，所述安装盘3通过横杆固定在所述转轴上，所述第二伺服电机25驱动所述转轴自转，进而实现所述安装盘3的绕轴转动。

所述安装盘3的上端面设有密封圈26，所述密封圈26位于所述安装盘3与所述连接环 5之间，增强所述安装盘3与所述连接环5之间的密封程度。

所述进料口7与所述出料口9处均设有机械手27，所述机械手27连接有真空吸盘28，便于对所述光盘的上下了，提高工作效率。

本申请实施例的优势如下：将待溅镀的光盘防止到所述安装槽10内，所述定位轴芯11 对所述光盘进行定位，所述驱动机构驱动所述圆盘13旋转，使光盘转至所述溅镀口8的下方，通过所述定位夹具实现所述连接环5的快速定位连接，进而实现所述阴极4的快速定位，大大提高工作效率，所述阴极4对所述光盘进行镀膜，镀膜完成后，所述驱动机构继续驱动所述圆盘13转至所述出料口9处，便于将所述光盘取出。

本实用新型中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (6)

1.一种便于定位的溅镀机用定位装置，其特征在于：包括主体、盖板、安装盘、阴极、连接环、驱动机构和定位夹具，所述主体设有空腔，所述主体的上方设有盖板，所述盖板上等角度设有连通所述空腔的进料口、溅镀口和出料口，所述空腔的中间位置处设有驱动机构，所述驱动机构通过横杆连接有多个安装盘，所述安装盘上设有用于安装光盘的安装槽，所述安装槽的中心位置处设有用于固定光盘的定位轴芯，所述盖板上设有连接环，所述连接环收容于所述溅镀口内，所述连接环上设有安装孔，所述盖板上设有与所述安装孔匹配的螺孔，所述连接环通过螺钉固定在所述盖板上，所述连接环连接有阴极，所述定位夹具的中间设有与所述定位轴芯同轴同径的定位孔，所述定位夹具与所述连接环连接，移动所述定位夹具与所述连接环，使所述定位孔套于所述定位轴芯上，将所述连接环固定到所述盖板上，实现所述阴极与待溅镀光盘定位。

2.根据权利要求1所述的一种便于定位的溅镀机用定位装置，其特征在于：所述定位夹具包括圆盘，所述圆盘的中间设有向下的筒状延伸部，所述延伸部伸进所述连接环内，所述定位孔设有所述延伸部底面的中间，所述延伸部的外侧设有位于同一圆周的多个滑槽，所述滑槽内连接有定位块，所述定位块远离所述连接环的一端与所述滑槽的内壁之间连接有弹簧，所述定位块的另一端连接有滚珠，所述连接环的内壁设有环形槽，所述滚珠部分滚动连接在所述环形槽内。

3.根据权利要求1所述的一种便于定位的溅镀机用定位装置，其特征在于：所述安装槽的直径大于光盘的直径，所述定位轴芯的直径小于光盘中心孔的直径，所述定位轴芯与所述安装盘设有连通的内腔，所述定位轴芯的周面上等角度分布有三个凹槽，所述凹槽内连接有与之匹配的滑块，所述滑块连接有导杆，所述导杆贯穿到所述定位轴芯内，所述安装盘内固定有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴伸进所述定位轴芯内，所述输出轴上等角度分布有三个拨片，所述拨片位于与所述输出轴相切的直线上，所述导杆靠近所述输出轴的一端抵在所述拨片靠近所述输出轴的一端上，所述导杆连接有滚动轴承，所述导杆伸进所述内腔内的部分连接有弹簧，所述弹簧的两端分别固定在所述定位轴芯的内壁与所述导杆的周面上，所述弹簧始终处于压缩状态。

4.根据权利要求1所述的一种便于定位的溅镀机用定位装置，其特征在于：所述驱动机构包括设于所述主体下方的第二伺服电机，所述主体的底面设有通孔，所述第二伺服电机的转轴由所述通孔伸进所述主体内，所述安装盘通过横杆固定在所述转轴上。

5.根据权利要求1所述的一种便于定位的溅镀机用定位装置，其特征在于：所述安装盘的上端面设有密封圈，所述密封圈位于所述安装盘与所述连接环之间。

6.根据权利要求1所述的一种便于定位的溅镀机用定位装置，其特征在于：所述进料口与所述出料口处均设有机械手，所述机械手连接有真空吸盘。

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