CN211856156U - 一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，包括测试平台，所述测试平台顶部的后侧固定连接有支撑立板，所述支撑立板前侧的顶部固定连接有横向调节机构，所述横向调节机构的底部设置气缸，所述气缸的输出端固定连接有压块，所述压块的前侧开设有锁槽，所述测试平台顶部的左侧设置有推力测试机构，所述测试平台顶部的右侧设置有拉力测试机构。本实用新型解决了传统的推拉力测试机在进行推拉力测试时是要分别检测推力和拉力，推力和拉力测试需要用到不同的测试工具，则需要对其进行更换，给使用者增加了不便的问题，该半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，能够快捷的实现推拉力的测试，提高了测试机的工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及测试机技术领域，具体为一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。
推拉力测试机用于在半导体晶圆生产过程中对产品的质量进行检测，推拉力测试机用于测试各种材料、半成品及成品的抗拉强度、抗压强度及伸长量，可做剥离、撕裂、抗弯、抗折、压缩等试验，适合金属、塑料、橡胶、纺织品、合成化学制品、电线电缆、皮革等行业使用，传统的推拉力测试机在进行推拉力测试时是要分别检测推力和拉力，推力和拉力测试需要用到不同的测试工具，则需要对其进行更换，给使用者增加了不便。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，具有推拉测试便捷的优点，解决了传统的推拉力测试机在进行推拉力测试时是要分别检测推力和拉力，推力和拉力测试需要用到不同的测试工具，则需要对其进行更换，给使用者增加了不便的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，包括测试平台，所述测试平台顶部的后侧固定连接有支撑立板，所述支撑立板前侧的顶部固定连接有横向调节机构，所述横向调节机构的底部设置气缸，所述气缸的输出端固定连接有压块，所述压块的前侧开设有锁槽，所述测试平台顶部的左侧设置有推力测试机构，所述测试平台顶部的右侧设置有拉力测试机构，所述推力测试机构包括固定于测试平台顶部左侧的底支撑座一，所述底支撑座一的顶部设置有压力传感器，所述压力传感器的顶部设置有下测试台，所述测试平台顶部的后侧固定连接有弹性导向机构，所述弹性导向机构的前侧活动连接有上测试台，所述上测试台的顶部固定连接有与压块相适配的推块，所述拉力测试机构包括固定于测试平台顶部右侧的底支撑座二，所述底支撑座二的顶部设置有拉力传感器，所述拉力传感器的顶部设置有下夹具，所述测试平台顶部的后侧固定连接有限位机构，所述限位机构的前侧活动连接有安装座，所述安装座的底部固定连接有上夹具。
优选的，所述弹性导向机构包括固定于测试平台顶部左侧的固定板一，所述固定板一的前侧开设有滑槽，所述滑槽的内腔滑动连接有滑块，所述滑块的前侧与上测试台固定连接，所述滑块的后侧延伸至固定板一的后侧并固定连接有压板，所述压板的底部固定连接有弹簧。
优选的，所述限位机构包括固定于测试平台顶部右侧的固定板二，所述固定板二的顶部开设有T形槽，所述T形槽的内腔滑动连接有T形滑块。
优选的，所述安装座包括固定于T形滑块前侧的安装块，所述安装块的底部与上夹具固定连接，所述安装块内腔的前侧开设有槽体，所述安装块的前侧贯穿设置有螺套二，所述螺套二的内腔螺纹连接有螺杆二，所述螺杆二的后端延伸至槽体的内腔并转动连接有与锁槽相适配的锁块。
优选的，所述横向调节机构包括固定于支撑立板前侧的箱体，所述箱体的右侧固定连接有电机，所述电机的输出轴贯穿至箱体的内腔并固定连接有螺杆一，所述螺杆一的表面螺纹连接有螺套一，所述螺套一的底部固定连接有活动块，所述活动块的底部贯穿至箱体的底部并通过连接件与气缸固定连接，所述箱体的底部开设有与活动块相适配的活动槽。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
1、本实用新型通过横向调节机构可调节气缸和压块的位置，使得气缸和压块位于推力测试机构或拉力测试机构的顶部，实现对半导体晶圆凸块的推力和拉力测试，测试的过程中不需要拆卸测试工具，即可达到推拉测试便捷的目的，解决了传统的推拉力测试机在进行推拉力测试时是要分别检测推力和拉力，推力和拉力测试需要用到不同的测试工具，则需要对其进行更换，给使用者增加了不便的问题，该半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，能够快捷的实现推拉力的测试，提高了测试机的工作效率。
2、本实用新型通过弹性导向机构的设置，推力测试时，通过横向调节机构调节气缸和压块位于推力测试机构的顶部，开启气缸，使得压块进入推力测试机构的内腔，再在下测试台的顶部放置半导体晶圆凸块，开启气缸，气缸带动压块和上测试台向下运动，对半导体晶圆凸块进行推力检测，直至半导体晶圆凸块压碎，通过压力传感器来记录测试数据，上测试台向下运动的过程中带动滑块在滑槽的内腔滑动，滑块带动压板向下运动压缩弹簧，即可实现了对上测试台稳定导向的目的，弹簧能够在不进行推力检测时，使得上测试台远离下测试台，方便了测试物体的放置。
3、本实用新型通过限位机构和安装座的设置，拉力测试时，使用者通过横向调节机构调节气缸和压块位于拉力测试机构的顶部，气缸带动压块伸长，使得压块位于安装块的内腔，使用者转动螺杆二，由于螺杆二与螺套二为螺纹连接关系，则带动螺杆二向后运动，螺杆二带动槽体进入锁槽的内腔与压块进行固定，调节下夹具与上夹具将半导体晶圆凸块固定在下夹具与上夹具之间，气缸收回，带动安装块和上夹具向上运动，直至固定在下夹具和上夹具之间的半导体晶圆凸块撕裂，通过拉力传感器记录拉力的测试数据，即可实现拉力的测试，安装块和上夹具上下运动的过程中会带动T形滑块在T形槽的内腔滑动，起到了对安装块和上夹具限位导向的目的，提高了安装块和上夹具上下运动的稳定性。
4、本实用新型通过横向调节机构的设置，开启电机带动螺杆一转动，螺杆一与螺套一为螺纹连接关系，则带动螺套一在螺杆一的表面左右运动，螺套一带动活动块在活动槽的内腔左右滑动，进而带动气缸和压块左右运动，即可达到调节气缸和压块左右运动的目的。
附图说明
图1为本实用新型结构立体示意图；
图2为本实用新型结构的主视剖面示意图；
图3为本实用新型安装座结构的俯视剖面示意图。
图中：1、测试平台；2、支撑立板；3、横向调节机构；31、箱体；32、电机；33、螺杆一；34、螺套一；35、活动块；36、活动槽；4、气缸；5、压块；51、锁槽；6、推力测试机构；61、底支撑座一；62、压力传感器；63、下测试台；64、弹性导向机构；641、固定板一；642、滑槽；643、滑块；644、压板；645、弹簧；65、上测试台；66、推块；7、拉力测试机构；71、底支撑座二；72、拉力传感器；73、下夹具；74、限位机构；741、固定板二；742、T形槽；743、T形滑块；75、安装座；751、安装块；752、槽体；753、螺套二；754、螺杆二；755、锁块；76、上夹具。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，包括测试平台1，测试平台1顶部的后侧固定连接有支撑立板2，支撑立板2前侧的顶部固定连接有横向调节机构3，横向调节机构3的底部设置气缸4，横向调节机构3包括固定于支撑立板2前侧的箱体31，箱体31的右侧固定连接有电机32，电机32的输出轴贯穿至箱体31的内腔并固定连接有螺杆一33，螺杆一33的表面螺纹连接有螺套一34，螺套一34的底部固定连接有活动块35，活动块35的底部贯穿至箱体31的底部并通过连接件与气缸4固定连接，箱体31的底部开设有与活动块35相适配的活动槽36，通过横向调节机构3的设置，开启电机32带动螺杆一33转动，螺杆一33与螺套一34为螺纹连接关系，则带动螺套一34在螺杆一33的表面左右运动，螺套一34带动活动块35在活动槽36的内腔左右滑动，进而带动气缸4和压块5左右运动，即可达到调节气缸4和压块5左右运动的目的，气缸4的输出端固定连接有压块5，压块5的前侧开设有锁槽51，测试平台1顶部的左侧设置有推力测试机构6，测试平台1顶部的右侧设置有拉力测试机构7，推力测试机构6包括固定于测试平台1顶部左侧的底支撑座一61，底支撑座一61的顶部设置有压力传感器62，压力传感器62的顶部设置有下测试台63，测试平台1顶部的后侧固定连接有弹性导向机构64，弹性导向机构64的前侧活动连接有上测试台65，弹性导向机构64包括固定于测试平台1顶部左侧的固定板一641，固定板一641的前侧开设有滑槽642，滑槽642的内腔滑动连接有滑块643，滑块643的前侧与上测试台65固定连接，滑块643的后侧延伸至固定板一641的后侧并固定连接有压板644，压板644的底部固定连接有弹簧645，上测试台65的顶部固定连接有与压块5相适配的推块66，通过弹性导向机构64的设置，推力测试时，通过横向调节机构3调节气缸4和压块5位于推力测试机构6的顶部，开启气缸4，使得压块5进入推力测试机构6的内腔，再在下测试台63的顶部放置半导体晶圆凸块，开启气缸4，气缸4带动压块5和上测试台65向下运动，对半导体晶圆凸块进行推力检测，直至半导体晶圆凸块压碎，通过压力传感器62来记录测试数据，上测试台65向下运动的过程中带动滑块643在滑槽642的内腔滑动，滑块643带动压板644向下运动压缩弹簧645，即可实现了对上测试台65稳定导向的目的，弹簧645能够在不进行推力检测时，使得上测试台65远离下测试台63，方便了测试物体的放置，拉力测试机构7包括固定于测试平台1顶部右侧的底支撑座二71，底支撑座二71的顶部设置有拉力传感器72，拉力传感器72的顶部设置有下夹具73，测试平台1顶部的后侧固定连接有限位机构74，限位机构74的前侧活动连接有安装座75，限位机构74包括固定于测试平台1顶部右侧的固定板二741，固定板二741的顶部开设有T形槽742，T形槽742的内腔滑动连接有T形滑块743，安装座75的底部固定连接有上夹具76，安装座75包括固定于T形滑块743前侧的安装块751，安装块751的底部与上夹具76固定连接，安装块751内腔的前侧开设有槽体752，安装块751的前侧贯穿设置有螺套二753，螺套二753的内腔螺纹连接有螺杆二754，螺杆二754的后端延伸至槽体752的内腔并转动连接有与锁槽51相适配的锁块755，通过限位机构74和安装座75的设置，拉力测试时，使用者通过横向调节机构3调节气缸4和压块5位于拉力测试机构7的顶部，气缸4带动压块5伸长，使得压块5位于安装块751的内腔，使用者转动螺杆二754，由于螺杆二754与螺套二753为螺纹连接关系，则带动螺杆二754向后运动，螺杆二754带动槽体752进入锁槽51的内腔与压块5进行固定，调节下夹具73与上夹具76将半导体晶圆凸块固定在下夹具73与上夹具76之间，气缸4收回，带动安装块751和上夹具76向上运动，直至固定在下夹具73和上夹具76之间的半导体晶圆凸块撕裂，通过拉力传感器72记录拉力的测试数据，即可实现拉力的测试，安装块751和上夹具76上下运动的过程中会带动T形滑块743在T形槽742的内腔滑动，起到了对安装块751和上夹具76限位导向的目的，提高了安装块751和上夹具76上下运动的稳定性。
综上所述：该半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，通过横向调节机构3可调节气缸4和压块5的位置，使得气缸4和压块5位于推力测试机构6或拉力测试机构7的顶部，实现对半导体晶圆凸块的推力和拉力测试，测试的过程中不需要拆卸测试工具，即可达到推拉测试便捷的目的，解决了传统的推拉力测试机在进行推拉力测试时是要分别检测推力和拉力，推力和拉力测试需要用到不同的测试工具，则需要对其进行更换，给使用者增加了不便的问题，该半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，能够快捷的实现推拉力的测试，提高了测试机的工作效率。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，包括测试平台(1)，其特征在于：所述测试平台(1)顶部的后侧固定连接有支撑立板(2)，所述支撑立板(2)前侧的顶部固定连接有横向调节机构(3)，所述横向调节机构(3)的底部设置气缸(4)，所述气缸(4)的输出端固定连接有压块(5)，所述压块(5)的前侧开设有锁槽(51)，所述测试平台(1)顶部的左侧设置有推力测试机构(6)，所述测试平台(1)顶部的右侧设置有拉力测试机构(7)，所述推力测试机构(6)包括固定于测试平台(1)顶部左侧的底支撑座一(61)，所述底支撑座一(61)的顶部设置有压力传感器(62)，所述压力传感器(62)的顶部设置有下测试台(63)，所述测试平台(1)顶部的后侧固定连接有弹性导向机构(64)，所述弹性导向机构(64)的前侧活动连接有上测试台(65)，所述上测试台(65)的顶部固定连接有与压块(5)相适配的推块(66)，所述拉力测试机构(7)包括固定于测试平台(1)顶部右侧的底支撑座二(71)，所述底支撑座二(71)的顶部设置有拉力传感器(72)，所述拉力传感器(72)的顶部设置有下夹具(73)，所述测试平台(1)顶部的后侧固定连接有限位机构(74)，所述限位机构(74)的前侧活动连接有安装座(75)，所述安装座(75)的底部固定连接有上夹具(76)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述弹性导向机构(64)包括固定于测试平台(1)顶部左侧的固定板一(641)，所述固定板一(641)的前侧开设有滑槽(642)，所述滑槽(642)的内腔滑动连接有滑块(643)，所述滑块(643)的前侧与上测试台(65)固定连接，所述滑块(643)的后侧延伸至固定板一(641)的后侧并固定连接有压板(644)，所述压板(644)的底部固定连接有弹簧(645)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述限位机构(74)包括固定于测试平台(1)顶部右侧的固定板二(741)，所述固定板二(741)的顶部开设有T形槽(742)，所述T形槽(742)的内腔滑动连接有T形滑块(743)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述安装座(75)包括固定于T形滑块(743)前侧的安装块(751)，所述安装块(751)的底部与上夹具(76)固定连接，所述安装块(751)内腔的前侧开设有槽体(752)，所述安装块(751)的前侧贯穿设置有螺套二(753)，所述螺套二(753)的内腔螺纹连接有螺杆二(754)，所述螺杆二(754)的后端延伸至槽体(752)的内腔并转动连接有与锁槽(51)相适配的锁块(755)。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块生产用推拉力测试机，其特征在于：所述横向调节机构(3)包括固定于支撑立板(2)前侧的箱体(31)，所述箱体(31)的右侧固定连接有电机(32)，所述电机(32)的输出轴贯穿至箱体(31)的内腔并固定连接有螺杆一(33)，所述螺杆一(33)的表面螺纹连接有螺套一(34)，所述螺套一(34)的底部固定连接有活动块(35)，所述活动块(35)的底部贯穿至箱体(31)的底部并通过连接件与气缸(4)固定连接，所述箱体(31)的底部开设有与活动块(35)相适配的活动槽(36)。
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20201103 |
|
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