CN211826181U - 一种半导体器件测试探针平台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体器件测试探针平台，包括底座、固定在所述底座上的测试放置台、所述底座上还放置有通过导线连接的体式显微镜、控制箱和操作屏；其特征在于：所述测试放置台包括顶部设有检测圆台；所述底座上还设有探针定位装置，该探针定位装置与所述测试放置台滑动连接；所述探针定位装置包括与所述底座固定的支承座，所述支承座顶端活动连接有滑动槽，在该滑动槽内设置有滑动导轨；与所述滑动导轨滑动连接有横向定位装置和纵向定位装置。
Description
技术领域
本实用新型属于探针测试领域，具体涉及一种半导体器件测试探针平台。
背景技术
以一般电路板为例，其在板体上插设各种主、被动组件及相关电路后，为确保其正常运作，通常会以探针装置进行必要的测试。
例如公告号：CN2519281Y所提出的一种探针测试装置，其使成排探针被定位于两承架纸件，并在此等承架内表面预设气动导轨装置，使成排探针在测试时可因受控而先行上升，并驱使该等成排探针垂直偏转使所有探针朝下，然后可驱动成排探针下降触接受测电路板进行探测。但上述探针测试装置结构过于复杂。
基于此，特提出了一种半导体器件测试探针平台。
实用新型内容
针对上述现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题是：通过简单的探针定位装置结构对探针进行位移控制。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下的技术方案：一种半导体器件测试探针平台，包括底座、固定在所述底座上的测试放置台、所述底座上还放置有通过导线连接的体式显微镜、控制箱和操作屏；其特征在于：所述测试放置台包括顶部设有检测圆台；所述底座上还设有探针定位装置，该探针定位装置与所述测试放置台滑动连接；
所述探针定位装置包括与所述底座固定的支承座，所述支承座顶端活动连接有滑动槽，在该滑动槽内设置有滑动导轨；与所述滑动导轨滑动连接有横向定位装置和纵向定位装置。
优选的，所述探针定位装置通过探针臂与所述测试放置台滑动连接，且该探针臂连接所述测试放置台端处设有探针，且该探针伸入所述检测圆台内。
优选的，所述检测圆台设有两层，上层为玻璃窗口，下层为放置台，且上层和下层铰接。
优选的，所述滑动槽侧壁上设有升降装置，所述滑动槽的底部与所述支承座的顶部之间设有伸缩柱，该伸缩柱通过所述升降装置控制伸缩。
优选的，所述横向定位装置的侧壁和所述纵向定位装置的顶部分别设有伸缩柱和与伸缩柱配合的升降装置。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：通过简单的结构能够达到对探针的位移；通过检测圆台、体式显微镜、控制箱和操作屏的配合操作对探针工作进行监测。
附图说明
图1为本实用新型测试探针平台的结构示意图；
图2为图1中检测圆台的结构示意图；
图3为图1中探针定位装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的详细说明。
具体实施时：如图1至图3所示，一种半导体器件测试探针平台，包括底座1、固定在底座1上的测试放置台2、底座1上还放置有通过导线连接的体式显微镜3、控制箱4和操作屏5；其特征在于：测试放置台2包括顶部设有检测圆台201；底座1上还设有探针定位装置6，该探针定位装置6与测试放置台2滑动连接；探针定位装置6包括与底座1固定的支承座601，支承座601顶端活动连接有滑动槽602，在该滑动槽602内设置有滑动导轨603；与滑动导轨603滑动连接有横向定位装置604和纵向定位装置605。将半导体器件放置在测试放置台2的检测圆台201上；探针定位装置6通过探针臂7与测试放置台2滑动连接，且该探针臂7连接测试放置台2端处设有探针8，且该探针8伸入检测圆台201内；通过横向定位装置604、纵向定位装置605、滑动导轨603的滑动配合，控制探针臂7将探针8控制在检测圆台201内操作检测。通过体式显微镜3、控制箱4和操作屏5的配合，对探针8进行监控，控制探针8进行操作检测并及时记录情况，其中体式显微镜3和操作屏5通过支柱架固定在底座1上，检测圆台201设有两层，上层为玻璃窗口，下层为放置台，且上层和下层铰接，打开上下层，对待测半导体器件进行轻微移动，进一步方便检测；检测过程中，通过上层的玻璃窗口对检测过程进行实时监控；滑动槽602侧壁上设有升降装置901，滑动槽602的底部与支承座601的顶部之间设有伸缩柱，该伸缩柱通过升降装置901控制伸缩；横向定位装置604的侧壁和纵向定位装置605的顶部分别设有伸缩柱和与伸缩柱配合的升降装置901。通过升降装置901和伸缩柱的配合能够对探针8位置进行轻微调整变动，能够更为精确的对待测半导体器件进行检测。
以上仅是本实用新型优选的实施方式，需指出的是，对于本领域技术人员在不脱离本技术方案的前提下，作出的若干变形和改进的技术方案应同样视为落入本权利要求书要求保护的范围。
Claims (5)
1.一种半导体器件测试探针平台，包括底座(1)、固定在所述底座(1)上的测试放置台(2)、所述底座(1)上还放置有通过导线连接的体式显微镜(3)、控制箱(4)和操作屏(5)；其特征在于：所述测试放置台(2)包括顶部设有检测圆台(201)；所述底座(1)上还设有探针定位装置(6)，该探针定位装置(6)与所述测试放置台(2)滑动连接；
所述探针定位装置(6)包括与所述底座(1)固定的支承座(601)，所述支承座(601)顶端活动连接有滑动槽(602)，在该滑动槽(602)内设置有滑动导轨(603)；与所述滑动导轨(603)滑动连接有横向定位装置(604)和纵向定位装置(605)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体器件测试探针平台，其特征在于：所述探针定位装置(6)通过探针臂(7)与所述测试放置台(2)滑动连接，且该探针臂(7)连接所述测试放置台(2)端处设有探针(8)，且该探针(8)伸入所述检测圆台(201)内。
3.根据权利要求1所述的一种半导体器件测试探针平台，其特征在于：所述检测圆台(201)设有两层，上层为玻璃窗口，下层为放置台，且上层和下层铰接。
4.根据权利要求1所述的一种半导体器件测试探针平台，其特征在于：所述滑动槽(602)侧壁上设有升降装置(901)，所述滑动槽(602)的底部与所述支承座(601)的顶部之间设有伸缩柱，该伸缩柱通过所述升降装置(901)控制伸缩。
5.根据权利要求4所述的一种半导体器件测试探针平台，其特征在于：所述横向定位装置(604)的侧壁和所述纵向定位装置(605)的顶部分别设有伸缩柱和与伸缩柱配合的升降装置(901)。
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