CN211731479U - 一种碳化硅炉晶体搬运小车 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种碳化硅炉晶体搬运小车，包括底座、位于底座下方的车轮，还包括安装在底座上方且自下向上延伸的支架、位于支架上且同样自下向上延伸的线轨、与线轨配合的滑块、连接滑块的炉盖托盘；当碳化硅炉长晶结束后将小车推到设备内，滚珠丝杠带动炉盖托盘向上移动与下炉盖接触，扶手扶着热场外壁这时小车可将热场及晶体运往下套工序，这时另一辆装好料的小车可直接装好料的热场及坩埚送入炉体进行下一炉长晶，以提高生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体硅材料生长炉的技术方案。
背景技术
由于5G通讯和新一代智能互联，传感感应器件上具备广阔的应用空间。2017年全球半绝缘衬底的市场需求约4万片。预计到2020年，4英寸半绝缘衬底的市场保持在4万片，而6英寸半绝缘衬底的市场迅速提升至4～5万片，因此长晶厂会配备大量长晶设备来满足市场。现有技术中，当碳化硅炉长晶结束后，下炉盖松开此时与下炉体链接的升降机构往下运动，将炉盖移动到升降机构的下限位，热场及晶体从炉体内移出，这时需要一台移动小车将将热场及晶体运往下道工序进行操作，在此过程中从设备到小车有一次转运过程，必须有设备升降机构及转运小车两套机构来实现，较为繁琐，且每个碳化硅炉均需要重新设置升降机构，造成成本较高。
因此，急需寻求一种新的技术方案，以便解决上述问题。
实用新型内容
发明目的：本实用新型的目标是提供一种碳化硅炉晶体搬运小车，解决如何通过搬运小车同时实现将热场及晶体从炉体内通过升降方式移除并搬运走的问题。
技术方案：本实用新型可采用以下技术方案：
一种碳化硅炉晶体搬运小车，包括底座、位于底座下方的车轮，还包括安装在底座上方且自下向上延伸的支架、位于支架上且同样自下向上延伸的线轨、与线轨配合的滑块、连接滑块的炉盖托盘；所述支架的两侧分别设有向前延伸的扶手。
进一步的，所述扶手的前端设有圆弧状的侧板，且圆弧向外侧突出。
进一步的，所述炉盖托盘上设有与炉盖配合的开孔。
进一步的，炉盖托盘上还设有围绕开孔配合的定位块。
进一步的，所述支架上还设有自下而上延伸的滚珠丝杠；该滚珠丝杠位于两侧的线轨之间且与线轨平行延伸，所述炉盖托盘的后端与滚珠丝杆上的丝杆升降块固定。
有益效果：本实用新型提供了碳化硅炉晶体搬运小车，当碳化硅炉长晶结束后将小车推到设备内，滚珠丝杠带动炉盖托盘向上移动与下炉盖接触，扶手扶着热场外壁这时小车可将热场及晶体运往下套工序，这时另一辆装好料的小车可直接装好料的热场及坩埚送入炉体进行下一炉长晶。一般长晶厂最少都会有几十台长晶设备，按以前方案每天都要配有升降机构若干台小车，本发明可取消每台长晶设备的升降机构，通过搬运机构集成升降机构可实现一台小车为多台长晶设备服务的方式节省设备的制造成本并减少了中间一次热场及晶体转运时间提高了生产效率。
附图说明
图1是本实用新型碳化硅炉晶体搬运小车的立体图。
图2是当碳化硅炉长晶结束后将小车推到设备内时的状态图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
请结合图1所示，本实用新型公开一种碳化硅炉晶体搬运小车，包括底座6、位于底座6下方的车轮7、安装在底座6上方且自下向上延伸的支架8、位于支架8上且同样自下向上延伸的线轨5、与线轨5配合的滑块9、连接滑块9的炉盖托盘2。支架8上还设有自下而上延伸的滚珠丝杠4；该滚珠丝杠4位于两侧的线轨5之间且与线轨5平行延伸。所述炉盖托盘2的后端与滚珠丝杆4上的丝杆升降块(未图示)固定，通过滚珠丝杆4与丝杆升降块的相对移动，带动炉盖托盘2沿着线轨5移动。同时由于滚珠丝杆4自身具有的自锁功能，可以使炉盖托盘2移动到固定高度后完成自锁。所述支架8的两侧分别设有向前延伸的扶手3。所述扶手3的前端设有圆弧状的侧板，且圆弧向外侧突出。所述炉盖托盘2上设有与炉盖配合的开孔21。炉盖托盘上还设有围绕开孔配合的定位块22。
本实用新型提供了碳化硅炉晶体搬运小车，当碳化硅炉长晶结束后将小车推到设备内，滚珠丝杠4带动炉盖托盘2向上移动与下炉盖1接触，定位块22与开孔21与下炉盖定位后，滚珠丝杠4带动炉盖托盘2向上移动与下炉盖接触，扶手扶着热场外壁这时小车可将热场及晶体运往下套工序，这时另一辆装好料的小车可直接装好料的热场及坩埚送入炉体进行下一炉长晶。一般长晶厂最少都会有几十台长晶设备，按以前方案每天都要配有升降机构若干台小车，本发明可取消每台长晶设备的升降机构，通过搬运机构集成升降机构可实现一台小车为多台长晶设备服务的方式节省设备的制造成本并减少了中间一次热场及晶体转运时间提高了生产效率。
另外，本实用新型的具体实现方法和途径很多，以上所述仅是本实用新型的优选实施方式。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种碳化硅炉晶体搬运小车，包括底座、位于底座下方的车轮，其特征在于，还包括安装在底座上方且自下向上延伸的支架、位于支架上且同样自下向上延伸的线轨、与线轨配合的滑块、连接滑块的炉盖托盘；所述支架的两侧分别设有向前延伸的扶手。
2.根据权利要求1所述的碳化硅炉晶体搬运小车，其特征在于：所述扶手的前端设有圆弧状的侧板，且圆弧向外侧突出。
3.根据权利要求1所述的碳化硅炉晶体搬运小车，其特征在于：所述炉盖托盘上设有与炉盖配合的开孔。
4.根据权利要求3所述的碳化硅炉晶体搬运小车，其特征在于：炉盖托盘上还设有围绕开孔配合的定位块。
5.根据权利要求1或2或3所述的碳化硅炉晶体搬运小车，其特征在于：所述支架上还设有自下而上延伸的滚珠丝杠；该滚珠丝杠位于两侧的线轨之间且与线轨平行延伸，所述炉盖托盘的后端与滚珠丝杆上的丝杆升降块固定。
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|---|---|---|---|
| CN201922380870.7U CN211731479U (zh) | 2019-12-26 | 2019-12-26 | 一种碳化硅炉晶体搬运小车 |
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| CN201922380870.7U CN211731479U (zh) | 2019-12-26 | 2019-12-26 | 一种碳化硅炉晶体搬运小车 |
Publications (1)
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| CN211731479U true CN211731479U (zh) | 2020-10-23 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113981527A (zh) * | 2021-10-22 | 2022-01-28 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 热场装载设备和半导体工艺系统 |
| CN114348917A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-04-15 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 热场组件的装载设备、半导体工艺设备、装载系统和方法 |
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2019
- 2019-12-26 CN CN201922380870.7U patent/CN211731479U/zh active Active
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| CN114348917A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-04-15 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 热场组件的装载设备、半导体工艺设备、装载系统和方法 |
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