CN211689215U - 用于真空热处理的移动式三维加热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于真空热处理的移动式三维加热装置，包括上端敞口的隔热罩，所述隔热罩的底部与驱动其上下移动的升降组件连接，其内部设有用于加热坩埚的加热组件。所述加热组件包括能抵靠到坩埚底部的电加热盘，所述电加热盘的中部设有通孔，所述通孔外侧设有若干呈圆周阵列分布在所述电加热盘上的凹槽。所述通孔与若干所述凹槽内共同设有用于加热坩埚底部的加热元件。所述电加热盘上还设有能套装到坩埚侧壁上的导热环，所述导热环的外壁上固接有若干与所述凹槽一一对应的加热竖条，若干所述加热竖条均与所述加热元件连接。本实用新型的移动式三维加热装置能够使坩埚受热更加均匀，工作效率更高。

Description

用于真空热处理的移动式三维加热装置

技术领域

本实用新型涉及真空热处理领域，尤其涉及一种用于真空热处理的移动式三维加热装置。

背景技术

真空镀膜在液晶显示屏、半导体及太阳能电池等领域中有着广泛的应用，为了将蒸镀材料均匀涂布到基板上，一般是将基板设置于坩埚的开口上方，再借由加热系统对放置在坩埚内的蒸镀材料进行加热蒸发，使之均匀地散射到基板上。现有的加热系统是采用坩埚与加热丝一体式的加热方式，容易造成坩埚上下端温差较大，导致蒸镀材料在蒸发时受热不均，影响蒸镀质量，而且一体式的结构也导致蒸镀结束后坩埚的冷却速度较慢，影响工作效率。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于真空热处理的移动式三维加热装置，通过改进加热装置的结构，使得坩埚受热更加均匀，工作效率更高。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于真空热处理的移动式三维加热装置。包括上端敞口的隔热罩，所述隔热罩的底部与驱动其上下移动的升降组件连接，其内部设有用于加热坩埚的加热组件。所述加热组件包括能抵靠到坩埚底部的电加热盘，所述电加热盘的中部设有通孔，所述通孔外侧设有若干呈圆周阵列分布在所述电加热盘上的凹槽。所述通孔与若干所述凹槽内共同设有用于加热坩埚底部的加热元件。所述电加热盘上还设有能套装到坩埚侧壁上的导热环，所述导热环的外壁上固接有若干与所述凹槽一一对应的加热竖条，若干所述加热竖条均与所述加热元件连接。

本实用新型的有益效果在于：通过升降组件实现了隔热罩的上下移动，进而实现了加热组件的上下移动，在坩埚工作时，加热组件上移对其加热，在坩埚工作结束时或加热温度过高时，加热组件及时下移退回，提高坩埚的冷却速度；通过电加热盘及加热元件的设置能够对坩埚底部进行加热，再通过加热竖条对导热环的加热能够将导热环上的热量均匀地传导到坩埚侧壁上，使得坩埚侧壁受热均匀，减小坩埚上下端的温差；本实用新型的加热组件实现了对坩埚的三维加热，使得坩埚受热更加均匀，同时通过升降组件实现了加热组件的上下移动，便于坩埚及时散热冷却。

进一步来说，所述加热元件包括位于所述通孔内的圆形加热块、若干位于所述凹槽内的加热横条。每个所述加热横条的一端均与所述圆形加热块连接，另一端均与对应的所述加热竖条连接。所述圆形加热块、加热横条、加热竖条一体成型。将圆形加热块、加热横条、加热竖条设置为一体式结构便于将其安装到电加热盘上。

进一步来说，所述凹槽包括与所述加热横条匹配的一号凹槽。所述一号凹槽的一端与所述通孔连通，另一端设有与之连通的二号凹槽，所述二号凹槽用于容置所述加热竖条。

进一步来说，所述隔热罩的底部设有与所述通孔连通的穿线孔，所述穿线孔用于所述加热元件连接外置的真空电连接器。

进一步来说，所述隔热罩内还设有用于限制所述电加热盘位置的限位凸块。

进一步来说，所述升降组件包括上固定板、下固定板，所述上固定板、下固定板上安装有竖直方向的丝杆。所述丝杆上套装有与所述隔热罩固接的升降基座，所述丝杆的一端与固接在所述下固定板上的驱动电机连接。通过丝杆、驱动电机、升降基座的设置实现了隔热罩的上下移动。

进一步来说，所述丝杆的两侧还对称设有穿设在所述升降基座上的导向杆，所述导向杆的一端与所述上固定板连接，另一端与所述下固定板连接。通过导向杆的设置使得升降基座的移动更加平稳。

进一步来说，所述升降基座包括套装在所述丝杆上的螺母座，所述螺母座的一侧固接有呈L型结构的升降板，所述升降板上设有用于支撑所述隔热罩的支撑块。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的隔热罩的剖面结构示意图；

图3为本实用新型实施例的加热组件的结构示意图；

图4为本实用新型实施例的电加热盘的结构示意图；

图5为本实用新型实施例的升降组件的结构示意图。

图中：

1-隔热罩；11-穿线孔；12-限位凸块；2-电加热盘；21-通孔；22-凹槽；221-一号凹槽；222-二号凹槽；3-导热环；31-加热竖条；41-上固定板；42-下固定板；43-丝杆；44-升降基座；441-螺母座；442-升降板；45-驱动电机；46-导向杆。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

实施例

参见附图1-4所示，本实用新型的一种用于真空热处理的移动式三维加热装置。包括上端敞口的隔热罩1，所述隔热罩1的底部与驱动其上下移动的升降组件连接，其内部设有用于加热坩埚的加热组件。所述加热组件包括能抵靠到坩埚底部的电加热盘2，所述电加热盘2的中部设有通孔21，所述通孔21外侧设有若干呈圆周阵列分布在所述电加热盘2上的凹槽22。所述通孔21与若干所述凹槽22内共同设有用于加热坩埚底部的加热元件。所述电加热盘2上还设有能套装到坩埚侧壁上的导热环3，所述导热环3的外壁上固接有若干与所述凹槽一一对应的加热竖条31，若干所述加热竖条31均与所述加热元件连接。

通过升降组件实现了隔热罩的上下移动，进而实现了加热组件的上下移动，在坩埚工作时，加热组件上移对其加热，在坩埚工作结束时或加热温度过高时，加热组件及时下移退回，便于坩埚及时散热冷却。通过电加热盘2实现了对坩埚的支撑，通过容置在通孔21及凹槽22内的加热元件实现了对坩埚底部的加热，再通过加热竖条31对导热环3的加热能够将导热环3上的热量均匀地传导到坩埚侧壁上，进而实现对坩埚的三维加热，以此减小坩埚上下端的温差。

具体的，所述加热元件包括位于所述通孔21内的圆形加热块、若干位于所述凹槽22内的加热横条。每个所述加热横条的一端均与所述圆形加热块连接，另一端均与对应的所述加热竖条31连接。所述圆形加热块、加热横条、加热竖条31一体成型。将圆形加热块、加热横条、加热竖条31设置为一体式结构便于将其安装到电加热盘2上，而且能够通过将圆形加热块与外置的真空电连接器连接即可实现对若干加热横条、加热竖条31的同步加热。

在本实施例中，参见附图4所示，所述凹槽22包括与所述加热横条匹配的一号凹槽221。所述一号凹槽221的一端与所述通孔21连通，另一端设有与之连通的二号凹槽222，所述二号凹槽222用于容置所述加热竖条31。

参见附图2所示，所述隔热罩1的底部设有与所述通孔21连通的穿线孔11，所述穿线孔11用于圆形加热块连接外置的真空电连接器。此外，为了提高加热组件在隔热罩1内的稳固性，所述隔热罩1内还设有用于限制所述电加热盘2位置的限位凸块12。

参见附图5所示，所述升降组件包括上固定板41、下固定板42，所述上固定板41、下固定板42上安装有竖直方向的丝杆43。所述丝杆43上套装有与所述隔热罩1固接的升降基座44，所述丝杆43的一端与固接在所述下固定板42上的驱动电机45连接。通过丝杆43、驱动电机45、升降基座44的设置实现了隔热罩1的上下移动。优选的，为了提高升降基座44移动的平稳性，所述丝杆43的两侧还对称设有穿设在所述升降基座44上的导向杆46，所述导向杆46的一端与所述上固定板41连接，另一端与所述下固定板42连接。

具体的，所述升降基座44包括套装在所述丝杆43上的螺母座441，所述螺母座441的一侧固接有呈L型结构的升降板442，所述升降板442上设有用于支撑所述隔热罩1的支撑块，所述支撑块与所述隔热罩1固接。

以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (8)

1.一种用于真空热处理的移动式三维加热装置，其特征在于：包括上端敞口的隔热罩，所述隔热罩的底部与驱动其上下移动的升降组件连接，其内部设有用于加热坩埚的加热组件；所述加热组件包括能抵靠到坩埚底部的电加热盘，所述电加热盘的中部设有通孔，所述通孔外侧设有若干呈圆周阵列分布在所述电加热盘上的凹槽；所述通孔与若干所述凹槽内共同设有用于加热坩埚底部的加热元件；所述电加热盘上还设有能套装到坩埚侧壁上的导热环，所述导热环的外壁上固接有若干与所述凹槽一一对应的加热竖条，若干所述加热竖条均与所述加热元件连接。

2.根据权利要求1所述的三维加热装置，其特征在于：所述加热元件包括位于所述通孔内的圆形加热块、若干位于所述凹槽内的加热横条；每个所述加热横条的一端均与所述圆形加热块连接，另一端均与对应的所述加热竖条连接；所述圆形加热块、加热横条、加热竖条一体成型。

3.根据权利要求2所述的三维加热装置，其特征在于：所述凹槽包括与所述加热横条匹配的一号凹槽；所述一号凹槽的一端与所述通孔连通，另一端设有与之连通的二号凹槽，所述二号凹槽用于容置所述加热竖条。

4.根据权利要求1-3任一所述的三维加热装置，其特征在于：所述隔热罩的底部设有与所述通孔连通的穿线孔，所述穿线孔用于所述加热元件连接外置的真空电连接器。

5.根据权利要求4所述的三维加热装置，其特征在于：所述隔热罩内还设有用于限制所述电加热盘位置的限位凸块。

6.根据权利要求1所述的三维加热装置，其特征在于：所述升降组件包括上固定板、下固定板，所述上固定板、下固定板上安装有竖直方向的丝杆；所述丝杆上套装有与所述隔热罩固接的升降基座，所述丝杆的一端与固接在所述下固定板上的驱动电机连接。

7.根据权利要求6所述的三维加热装置，其特征在于：所述丝杆的两侧还对称设有穿设在所述升降基座上的导向杆，所述导向杆的一端与所述上固定板连接，另一端与所述下固定板连接。

8.根据权利要求6所述的三维加热装置，其特征在于：所述升降基座包括套装在所述丝杆上的螺母座，所述螺母座的一侧固接有呈L型结构的升降板，所述升降板上设有用于支撑所述隔热罩的支撑块。

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