CN211677008U - 一种干法蚀刻设备icp尾气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置，包括干泵以及与干泵连通的尾气管；所述尾气管上安装有与管内连通的氮气吹扫装置，且在尾气管的管壁上包裹有保温棉；所述尾气管的自由端安装有可拆卸的清理管；所述清理管与洗涤塔相连通。本实用新型的优点：1.把粉尘迅速通过热氮气吹扫至清理管，通过冷凝管路将粉尘集中凝结，并定期处理清理管内凝结固体，保证后端管路通畅。2.尾气管不需管路外壁缠绕加热带进行管路加热，只需要保温棉保温。

Description

一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置

技术领域

本实用新型涉及一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置，属于ICP设备干法蚀刻装置技术领域。

背景技术

ICP设备干法蚀刻在蓝宝石平片衬底上用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形，利用ICP刻蚀技术刻蚀蓝宝石，并去掉掩膜，使平片蓝宝石衬底上产生图形，以此来提高LED的发光效率。ICP设备干法蚀刻技术，是在真空密闭的PM Chamber内，通过电极将BCL3气体电离，电离出的离子轰击蓝宝石表面，以此来产生需要的图形。在生产时需要干泵连续为腔体提供真空环境，此时如果干泵排气管路不畅，将造成不良品产生，降低产品良率。通常采用的是计划性停泵清理，然而计划性停泵存在的问题：

1停泵后泵体内粉尘静止时间久会导致干泵卡死无法开启、增加维修成本；

2停泵后清洗管路等待时间长，安装比较吃力。

发明内容

为了克服上述现有技术的不足，本实用新型提供了一种解决干法蚀刻设备ICP上干泵后端尾气管路在使用一段时间后，尾气管路内的粉尘长时间堆积造成尾气管内部排气不畅，甚至堵塞尾气管导致干泵异常停止的尾气处理装置，具体为：一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置。

本实用新型是通过如下技术方案实现的，一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置，包括干泵以及与干泵连通的尾气管；所述尾气管上安装有与管内连通的氮气吹扫装置，且在尾气管的管壁上包裹有保温棉；

所述尾气管的自由端安装有可拆卸的清理管；所述清理管与洗涤塔相连通。

作为本实用新型所述的一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置的优选方案：所述清理管的管壁上安装有冷凝管。

作为本实用新型所述的一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置的优选方案：所述冷凝管为PCW型冷凝管。

作为本实用新型所述的一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置的优选方案：所述尾气管与清理管通过法兰连接。

作为本实用新型所述的一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置的优选方案：所述氮气吹扫装置，包括储存氮气的氮气储存罐，将氮气加热的加热棒，以及将加热后的氮气通过风机送入尾气管的排气管路。

本实用新型的优点：

1. 把粉尘迅速通过热氮气吹扫至清理管，通过冷凝管路将粉集中凝结，并定期处理清理管内凝结固体，保证后端管路通畅。

2. 尾气管不需管路外壁缠绕加热带进行管路加热，只需要保温棉保温。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是图1中A-A剖视图；

图3是氮气吹扫装置结构示意图；

图中：10-干泵；11-尾气管；12-保温棉；13-清理管；14-冷凝管；20-氮气吹扫装置；21-氮气储存罐；22-加热棒；23-排气管路；30-洗涤塔。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合说明书附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

其次，此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本实用新型至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本说明书中不同地方出现的“在一个实施例中”并非均指同一个实施例，也不是单独的或选择性的与其他实施例互相排斥的实施例。

参照图1，作为本实用新型第一个实施例，提供了一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置，包括干泵10以及与干泵10连通的尾气管11；所述尾气管11上安装有与管内连通的氮气吹扫装置20，且在尾气管11的管壁上包裹有保温棉12；

所述尾气管11的自由端安装有可拆卸的清理管13；所述清理管13与洗涤塔30相连通。

具体地，氮气吹扫装置20将尾气管11内的气态三氯化硼，吹至尾端防止凝结，让气态三氯化硼在可拆卸的清理管13中凝结，方便拆卸清理；洗涤塔30的作用主要用于半导体工业制程生产废气处理设备，使废气排放符合环境保护标准，公司使用的是湿式洗涤塔，主要通过喷水的作用和相关工艺反应后通过厂务端把废水排出去。

参照图2，所述清理管13的管壁上安装有冷凝管14。

进一步地，所述冷凝管14为PCW型冷凝管。

具体地饿，安装有冷凝管14，可以有效降低管内温度，实现热交换，使得气态三氯化硼凝结。

所述尾气管11与清理管13通过法兰连接。该种连接方式，方便拆卸，操作安全可靠。

参照图3，所述氮气吹扫装置20，包括储存氮气的氮气储存罐21，将氮气加热的加热棒22，以及将加热后的氮气通过风机送入尾气管11的排气管路23。

具体地，排气管路23安装有风机，可以有效给加热后的氮气加压，提高输送效率，减少在干泵10处的凝结；加热棒22需要将氮气N2加热到80-150℃，可满足使用。

应说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (5)

1.一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置，包括干泵（10）以及与干泵（10）连通的尾气管（11）；其特征在于：所述尾气管（11）上安装有与管内连通的氮气吹扫装置（20），且在尾气管（11）的管壁上包裹有保温棉（12）；

所述尾气管（11）的自由端安装有可拆卸的清理管（13）；所述清理管（13）与洗涤塔（30）相连通。

2.根据权利要求1所述的一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置，其特征在于：所述清理管（13）的管壁上安装有冷凝管（14）。

3.根据权利要求2所述的一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置，其特征在于：所述冷凝管（14）为PCW型冷凝管。

4.根据权利要求2所述的一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置，其特征在于：所述尾气管（11）与清理管（13）通过法兰连接。

5.根据权利要求1所述的一种干法蚀刻设备ICP尾气处理装置，其特征在于：所述氮气吹扫装置（20），包括储存氮气的氮气储存罐（21），将氮气加热的加热棒（22），以及将加热后的氮气通过风机送入尾气管（11）的排气管路（23）。

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