CN114300330A - 一种干泵尾管和离子注入机 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种干泵尾管和离子注入机，所述干泵尾管适用于离子注入机，所述离子注入机中包括干泵以及连接所述干泵的干泵净化管路，所述干泵尾管包括：第一干泵尾管本体、干泵尾管净化管路和排气管路；其中，所述第一干泵尾管本体的一端连接所述干泵；所述第一干泵尾管本体的另一端连接所述排气管路；所述干泵尾管净化管路的进气端连接所述干泵净化管路，所述干泵尾管净化管路的出气端连接所述第一干泵尾管本体。本发明提供的干泵尾管和离子注入机能够减少所述排气管路内的磷源种的浓度，降低所述排气管路受热融化导致机台报警等安全问题，从而增加所述干泵尾管的寿命。
Description
技术领域
本发明涉及半导体集成电路制造领域，尤其涉及一种干泵尾管和离子注入机。
背景技术
高电流离子注入机考虑到机台特性，机台模块需要与地绝缘，其中，排气管由特氟龙材料制成，所述特氟龙材料耐磨损，耐腐蚀，短时间可耐高温到300摄氏度，且一般在240到260摄氏度可以连续工作。由于离子注入工艺中存在注入磷源种，因此，尾管管壁存在磷颗粒附着，而磷颗粒达到一定浓度会燃烧，干泵尾管管路由此受热融化导致机台报警等安全问题。
因此，如何提供一种干泵尾管和离子注入机，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。
发明内容
本发明的目的在于提供一种干泵尾管和离子注入机，以解决现有技术存在的离子注入工艺在注入磷源种后，所述磷源种在干泵尾管中达到一定浓度后燃烧，使得所述干泵尾管受热融化并导致机台报警的问题。
为了达到上述目的，本发明提供了一种干泵尾管，所述干泵尾管适用于离子注入机，所述离子注入机中包括干泵以及连接所述干泵的干泵净化管路，所述干泵尾管包括：第一干泵尾管本体、干泵尾管净化管路和排气管路；
其中，所述第一干泵尾管本体的一端连接所述干泵；所述第一干泵尾管本体的另一端连接所述排气管路；
所述干泵尾管净化管路的进气端连接所述干泵净化管路，所述干泵尾管净化管路的出气端连接所述第一干泵尾管本体。
可选的，还包括调压装置，所述调压装置设置在所述干泵尾管净化管路上。
可选的，所述调压装置包括：调压阀。
可选的，所述干泵尾管净化管路的进气端的管径≤所述干泵净化管路的管径。
可选的，所述干泵尾管净化管路的出气端的管径≤所述第一干泵尾管本体的管径。
可选的，所述排气管路的材质包括：特氟龙。
可选的，所述干泵尾管净化管路中气体包括：氮气。
可选的，所述干泵尾管净化管路与所述干泵净化管路的连接方式和/或所述干泵尾管净化管路与所述第一干泵尾管本体的连接方式包括：利用三通管连接。
可选的，还包括第二干泵尾管本体；
所述第一干泵尾管本体的另一端连接所述排气管路，包括：
所述第一干泵尾管本体的另一端连接所述排气管路的一端，所述第二干泵尾管本体的一端连接所述排气管路的另一端。
本发明还提供一种离子注入机，包括上述任一项所述的干泵尾管。
与现有技术相比，本发明提供的一种干泵尾管和离子注入机具有以下有益效果：
本发明提供的一种干泵尾管，所述干泵尾管适用于离子注入机，所述离子注入机中包括干泵以及连接所述干泵的干泵净化管路，所述干泵尾管包括：第一干泵尾管本体、干泵尾管净化管路和排气管路；其中，所述第一干泵尾管本体的一端连接所述干泵；所述第一干泵尾管本体的另一端连接所述排气管路；所述干泵尾管净化管路的进气端连接所述干泵净化管路，所述干泵尾管净化管路的出气端连接所述第一干泵尾管本体。本发明提供的干泵尾管，通过将所述干泵尾管净化管路的进气端设置在所述干泵净化管路上，能够引流所述干泵净化管路内的气体进入所述干泵尾管净化管路内。并通过将所述干泵尾管净化管路的出气端设置在所述第一干泵尾管上，能够使得所述气体进入所述第一干泵尾管内并进入所述排气管路内，从而与所述排气管路内的磷源种进行中和，由此，能够减少所述排气管路内的所述磷源种的浓度，从而避免了排气管路因所述磷源种的浓度过高受热融化导致机台报警等安全问题。同时，增加了所述干泵尾管的寿命。
由于本发明提供的离子注入机和本发明提供的所述干泵尾管属于同一发明构思，因此，至少具有相同的有益效果，在此，不再一一赘述。
附图说明
图1为本发明提供的干泵尾管的结构示意图；
其中，100-干泵，201-第一干泵尾管本体，202-第二干泵尾管本体，203-排气管路，300-调压装置，400-干泵净化管路，401-干泵尾管净化管路。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。应当了解，说明书附图并不一定按比例的显示本发明的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本发明某些原理的图示性特征也会采取略微简化的画法。本文所公开的本发明的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在本说明书中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列任务，且本文所呈现的这些任务的顺序并非必须是可执行这些任务的唯一顺序，且一些所述的任务可被省略和/或一些本文未描述的其他任务可被添加到该方法。
实施例一
本实施例提供了一种干泵尾管，所述干泵尾管适用于离子注入机，具体地，请参见附图1，图1为本实施例提供的干泵尾管的结构示意图，从图中可以明显看出，所述离子注入机中包括干泵100以及连接所述干泵100的干泵净化管路400，所述干泵尾管包括：第一干泵尾管本体201、干泵尾管净化管路401和排气管路203；其中，所述第一干泵尾管本体201的一端连接所述干泵100；所述第一干泵尾管本体201的另一端连接所述排气管路203；所述干泵尾管净化管路401的进气端连接所述干泵净化管路400，所述干泵尾管净化管路401的出气端连接所述第一干泵尾管本体201。
如此设置，通过将所述干泵尾管净化管路401的进气端设置在所述干泵净化管路400上，能够引流所述干泵净化管路400内的气体进入所述干泵尾管净化管路401内。并通过将所述干泵尾管净化管路401的出气端设置在所述第一干泵尾管上。能够使得所述气体进入所述第一干泵尾管内并进入所述排气管路203内，从而与所述排气管路203内的磷源种进行中和，由此，能够减少所述排气管路203内的所述磷源种的浓度，从而避免了所述排气管路203因所述磷源种的浓度过高受热融化导致机台报警等安全问题。同时，增加了所述干泵尾管的寿命。
在其中一种优选实施方式中，还包括调压装置300，所述调压装置300设置在所述干泵尾管净化管路401上。如此设置，本发明提供的干泵尾管可以在所述调压装置300的作用下，仍保持机台内的压力正常。
优选的，所述调压装置300包括：调压阀。调压阀的种类繁多，包括电动调节阀和自力式调压阀等，无论选用那种调压阀都可以通过调整所述干泵尾管净化管路401上的气体流动压力，从而保证机台的压力正常。需要进一步说明的是，调压阀并不是唯一适用的调压装置300，任何还包括调压器等能够达到调节压力大小的装置都适用于本发明，本发明对此并不做严格限定。
优选的，所述干泵尾管净化管路401的进气端的管径≤所述干泵净化管路400的管径。由此，当所述干泵尾管净化管路401与所述干泵净化管路400相连时，不会因所述干泵尾管净化管路401的出气端的管径过大，而导致从所述干泵净化管路400中流出的气体泄漏，保障了足够的气体从所述干泵净化管路400流向所述干泵尾管净化管路401，从而有效的降低所述排气管路203内磷源种的浓度，避免了所述排气管路203内发生燃烧等安全问题。
优选的，所述干泵尾管净化管路401的出气端的管径≤所述第一干泵尾管本体201的管径。由此，当所述干泵尾管净化管路401与所述第一干泵尾管本体201相连时，不会因所述干泵尾管净化管路401的出气端的管径过大，而导致从所述干泵尾管净化管路401的出气端流出的气体泄漏，污染机台环境。同时，也避免了产生泄漏后的所述干泵尾管净化管路401无法保障有效的降低所述排气管路203内磷源种的浓度，从而导致所述排气管路203发生燃烧等安全问题。
在其中一种优选实施方式中，所述排气管路203的材质包括：特氟龙。所述特氟龙垫圈具有优良的耐热和耐低温特性，它可以在冷冻温度下工作而不脆化，在高温下不融化，同时耐磨损性和耐腐蚀性都使得它在本实施方式中具有更长的使用寿命，降低了使用成本。
优选的，所述干泵尾管净化管路401中气体包括：氮气。由于所述干泵净化管路400中所包含的气体为氮气，所述干泵尾管净化管路401中的所述气体来自所述干泵净化管路400的引流，如此设置，本发明提供的干泵尾管可以利用机台中存在的气体降低所述磷源种的浓度，不需引入新的气体，降低了生产成本。
优选的，所述干泵尾管净化管路401与所述干泵净化管路400的连接方式和/或所述干泵尾管净化管路401与所述第一干泵尾管本体201的连接方式包括：利用三通管连接。其中，三通管的使用方法简单，且安装方便，适用于本发明。
优选的，还包括第二干泵尾管本体202；所述第一干泵尾管本体201的另一端连接所述排气管路203，包括：所述第一干泵尾管本体201的另一端连接所述排气管路203的一端，所述第二干泵尾管本体202的一端连接所述排气管路203的另一端。由此，所述第二干泵尾管本体202可以将所述排气管路203中含量适合的磷源种及其他有效物质过渡至下一工艺流程中。在其中一种优选实施方式中，当所述第一干泵尾管本体201的另一端连接所述排气管路203的一端时，它们的连接处连接有所述干泵尾管净化管路401的出气端。所述第一干泵尾管本体201、所述排气管路203和所述干泵尾管净化管路401的连接处设置有连接适配器，所述连接适配器不仅能够将所述第一干泵尾管本体201、所述排气管路203和所述干泵尾管净化管路401连通，同时能够保障不同的气体从所述干泵尾管净化管路401与所述第一干泵尾管本体201中进入所述排气管路203内。
实施例二
本发明还提供一种离子注入机，包括上述任一项所述的干泵尾管。本发明提供的离子注入机通过将所述干泵尾管净化管路401的进气端设置在所述干泵净化管路400上，能够引流所述干泵净化管路400内的气体进入所述干泵尾管净化管路401内。并通过将所述干泵尾管净化管路401的出气端设置在所述第一干泵尾管上。能够使得所述气体进入所述第一干泵尾管内并进入所述排气管路203内，从而与所述排气管路203内的磷源种进行中和，由此，能够减少所述排气管路203内的所述磷源种的浓度，从而避免了所述排气管路203因所述磷源种的浓度过高受热融化导致机台报警等安全问题。同时，增加了所述干泵尾管的寿命。
另外，在本文各个实施方式中的各功能模块可以集成在一起形成一个独立的部分，也可以是各个模块单独存在，也可以两个或两个以上模块集成形成一个独立的部分。此外，需要说明的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明说中的各个组件。元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。
综上，在本发明实施例提供的一种干泵尾管，所述干泵尾管适用于离子注入机，所述离子注入机中包括干泵100以及连接所述干泵100的干泵净化管路400，所述干泵尾管包括：第一干泵尾管本体201、干泵尾管净化管路401和排气管路203；其中，所述第一干泵尾管本体201的一端连接所述干泵100；所述第一干泵尾管本体201的另一端连接所述排气管路203；所述干泵尾管净化管路401的进气端连接所述干泵净化管路400，所述干泵尾管净化管路401的出气端连接所述第一干泵尾管本体201。本发明提供的干泵尾管，通过将所述干泵尾管净化管路401的进气端设置在所述干泵净化管路400上，能够引流所述干泵净化管路400内的气体进入所述干泵尾管净化管路401内。并通过将所述干泵尾管净化管路401的出气端设置在所述第一干泵尾管上。能够使得所述气体进入所述第一干泵尾管内并进入所述排气管路203内，从而与所述排气管路203内的磷源种进行中和，由此，能够减少所述排气管路203内的所述磷源种的浓度，从而避免了所述排气管路203因所述磷源种的浓度过高受热融化导致机台报警等安全问题。同时，增加了所述干泵尾管的寿命。
由于本发明提供的离子注入机和本发明提供的所述干泵尾管属于同一发明构思，因此，至少具有相同的有益效果，在此，不再一一赘述。
上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种干泵尾管，所述干泵尾管适用于离子注入机，所述离子注入机中包括干泵以及连接所述干泵的干泵净化管路，其特征在于，所述干泵尾管包括：第一干泵尾管本体、干泵尾管净化管路和排气管路；
其中，所述第一干泵尾管本体的一端连接所述干泵；所述第一干泵尾管本体的另一端连接所述排气管路；
所述干泵尾管净化管路的进气端连接所述干泵净化管路，所述干泵尾管净化管路的出气端连接所述第一干泵尾管本体。
2.如权利要求1所述的一种干泵尾管，其特征在于，还包括调压装置，所述调压装置设置在所述干泵尾管净化管路上。
3.如权利要求2所述的一种干泵尾管，其特征在于，所述调压装置包括：调压阀。
4.如权利要求1所述的一种干泵尾管，其特征在于，所述干泵尾管净化管路的进气端的管径≤所述干泵净化管路的管径。
5.如权利要求1所述的一种干泵尾管，其特征在于，所述干泵尾管净化管路的出气端的管径≤所述第一干泵尾管本体的管径。
6.如权利要求1所述的一种干泵尾管，其特征在于，所述排气管路的材质包括：特氟龙。
7.如权利要求1所述的一种干泵尾管，其特征在于，所述干泵尾管净化管路中气体包括：氮气。
8.如权利要求1所述的一种干泵尾管，其特征在于，所述干泵尾管净化管路与所述干泵净化管路的连接方式和/或所述干泵尾管净化管路与所述第一干泵尾管本体的连接方式包括：利用三通管连接。
9.如权利要求1所述的一种干泵尾管，其特征在于，还包括第二干泵尾管本体；
所述第一干泵尾管本体的另一端连接所述排气管路，包括：
所述第一干泵尾管本体的另一端连接所述排气管路的一端，所述第二干泵尾管本体的一端连接所述排气管路的另一端。
10.一种离子注入机，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的干泵尾管。
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