CN211652958U

CN211652958U - 用于并行测试机台的针座装置

Info

Publication number: CN211652958U
Application number: CN201922414998.0U
Authority: CN
Inventors: 王雅静; 尹彬峰; 吴奇伟
Original assignee: Shanghai Huali Integrated Circuit Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Shanghai Huali Integrated Circuit Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2019-12-27
Filing date: 2019-12-27
Publication date: 2020-10-09
Anticipated expiration: 2029-12-27

Abstract

本申请公开了一种用于并行测试机台的针座装置，涉及半导体测试领域。该针座装置至少包括接线盒、接线面板、探针卡面板、两组接线柱和两组转换柱；两组接线柱设置在接线面板上；接线盒内设置有两组转换柱，第1组转换柱与第2组转换柱连接；第1组转换柱与探针卡面板连接；第2组转换柱中的第i个转换柱与第1组接线柱中的第i个接线柱、第2组接线柱中的第j个接线柱分别连接，i＝1,2，……,n；j＝1,2，……,n；i+j＝n+1；解决了现有的针座装置需要使用两类探针卡，使用成本高的问题；并行测试机台上使用本申请实施例提供的针座装置，可以只采用一类探针卡，达到提高探针卡的通用性和利用率，降低成本的效果。

Description

用于并行测试机台的针座装置

技术领域

本申请涉及半导体测试领域，具体涉及一种用于并行测试机台的针座装置。

背景技术

在并行测试机台中，通过特定的针座装置将多块探针卡固定在并行测试机台上。针座装置上设置有接线柱，针座装置的内部设置有导线，当探针卡与针座装置连接时，通过针座装置内部的导线将接线柱与探针卡上的探针引脚连接。

目前，为了分散且更多地测试晶圆上的测试结构，并行测试机台上的针座装置面对面设置。如图1所示，针座装置14上包括接线柱15，针座装置14连接探针卡，探针卡包括探针引脚16。从图1可以看出，上半部分11中的针座装置14和下半部分12中的针座装置14面对面，属于上半部分11的针座装置14上的探针引脚16与属于下半部分12的针座装置14上的探针引脚16相对。

如图2所示，属于上半部分的针座装置21上的接线柱211与属于下半部分的针座装置22上的接线柱221对称。由于探针卡与探针装置连接时，需要令接线柱和探针引脚一一对应，故，连接针座装置21的探针卡24与连接针座装置22的探针25对称，探针卡24的探针引脚241与探针卡25的探针引脚251对称。一般情况下，测试结构23上的测试焊盘从左向右排布，在测试时，上下两个部分的针座装置连接的探针卡的探针引脚都需要与测试结构上的测试焊盘一一对应，因此，用于上半部分的探针卡不能用于下半部分的针座装置，用于下半部分的探针卡也不能用于上半部分的针座装置。

实用新型内容

本申请提供了一种用于并行测试机台的针座装置，可以解决相关技术中并行测试机台需使用两类探针卡的问题。

一方面，本申请实施例提供了一种用于并行测试机台的针座装置，至少包括接线盒、接线面板、探针卡面板、两组接线柱和两组转换柱；

接线面板和探针卡面板设置在接线盒的两侧，两组接线柱设置在接线面板上；

接线盒内设置有两组转换柱，第1组转换柱与第2组转换柱连接；

第1组转换柱与探针卡面板连接；

第2组转换柱中的第i个转换柱与第1组接线柱中的第i个接线柱、第2组接线柱中的第j个接线柱分别连接，

其中，i＝1,2，……,n；j＝1,2，……,n；i+j＝n+1；n表示接线柱的数量，n为整数。

可选的，每组转换柱数量相等；

第1组转换柱与第2组转换柱一一对应连接。

可选的，每组转换柱数量相等，第1组转换柱与第2组转换柱一一对应连接，每对转换柱之间连接有电阻。

可选的，电阻的阻值范围为100欧姆至1000欧姆。

可选的，探针卡面板上设置有接插件，接插件包括至少n个引脚；

第1组转换柱中的每个接线柱连接探针卡面板上的一个引脚。

可选的，当探针卡的探针引脚顺序与接线柱顺序相同时，第1组接线柱连接量测单元；

当探针卡的探针引脚顺序与接线柱顺序相反时，第2组接线柱连接量测单元。

可选的，n＝12。

本申请技术方案，至少包括如下优点：

本申请实施例提供的用于并行测试机台的针座装置，至少包括接线盒、接线面板、探针卡面板、两组接线柱和两组转换柱，接线面板和探针卡面板分别设置在接线盒的两侧，两组接线柱设置在接线面板上，接线盒内设置有两组转换柱，第1组转换柱和第2组转换柱连接，第1组转换柱与探针卡面板连接，第2组转换柱中的第i个转换柱与第1组转换柱中的第i个接线柱、第2组接线柱中的第j个接线柱连接，根据探针卡的探针引脚顺序与接线柱顺序需要选择相应的接线柱组连接量测单元，即可实现探针卡的探针引脚与接线柱一一对应，解决了现有的针座装置需要使用两类探针卡，使用成本高的问题；并行测试机台上使用本申请实施例提供的针座装置，可以只采用一类探针卡，达到提高探针卡的通用性和利用率，降低成本的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是一种并行测试机台的俯视图；

图2是用于并行测试机台的上半部分的针座装置、下半部分的针座装置、测试结构的关系示意图；

图3是本申请实施例提供的一种用于并行测试机台的针座装置的示意图；

图4是本申请实施例提供的一种针座装置上接线面板的示意图；

图5是本申请实施例提供的一种用于并行测试机台的针座装置的结构示意图；

图6是本申请实施例提供的针座装置中一组转换柱与两组接线柱的连接原理图；

图7本申请实施例提供的另一种用于并行测试机台的针座装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在不做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电气连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

此外，下面所描述的本申请不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本申请实施例提供了一种用于并行测试机台的针座装置，如图3所示，该针座装置至少包括接线盒31、接线面板32、探针卡面板33、两组接线柱34和两组转换柱35。

接线面板32和探针卡面板33设置在接线盒31的两侧。

两组接线柱34设置在接线面板32上；如图4所示，第一组接线柱341和第二组接线柱342设置在接线面板32上。

每组接线柱包括n个接线柱340，n为正整数。接线柱用于连接量测单元，量测单元用于发送电信号。

探针卡面板用于连接探针卡，探针卡接收量测单元发送的电信号。

如图3所示，接线盒31内设置有两组转换柱35，第1组转换柱和第2组转换柱连接。

如图5所示，第1组转换柱351与探针卡面板33连接，探针卡面板33用于与探针卡40连接。

可选的，探针卡面板33上设置有接插件，接插件包括至少n个引脚。

第1组转换柱351中的每个转换柱与探针卡面板上的接插件的引脚通过导线连接。接插件的结构为现有技术，这里不再赘述。

第2组转换柱352中的第i个转换柱与第1组接线柱341中的第i个接线柱、第2组接线柱342中的第j个接线柱分别连接。

其中，i＝1,2，……,n；j＝1,2，……,n；i+j＝n+1。

可选的，n＝12。

在一个例子中，n＝12，第2组转换柱352中的第1个转换柱与第1组接线柱341中的第1个接线柱连接，第2组转换柱352中的第1个转换柱与第2组接线柱中342中的第12个接线柱连接；第2组转换柱352中的第2个转换柱与第1组接线柱341中的第2个接线柱连接，第2组转换柱352中的第2个转换柱与第2组接线柱中342中的第11个接线柱连接；……；第2组转换柱352中的第12个转换柱与第1组接线柱341中的第12个接线柱连接，第2组转换柱352中的第12个转换柱与第2组接线柱中342中的第1个接线柱连接，如图6所示。

在一种情况中，每组转换柱数量相等，每组接线柱中接线柱的数量与每组转换柱中转换柱的数量相等；第1组转换柱与第2组转换柱一一对应连接。

在另一种情况下，第1组转换柱和第2组转换柱之间连接有电阻；电阻用于实现对晶圆上高电压器件的测试。

具体地，每组接线柱中接线柱的数量与每组转换柱中转换柱的数量相等；第1组转换柱与第2组转换柱一一对应连接，每对转换柱之间连接有电阻，即第1组转换柱351中的第1个转换柱与第2组转换柱352中的第2个转换柱通过电阻R1连接，……，第1组转换柱351中的第n个转换柱与第2组转换柱352中的第n个转换柱通过电阻Rn连接。

在一个例子中，n＝12，第1组转换柱与第2组转换柱一一对应连接，每对转换柱之间连接有电阻，即第1组转换柱351中的第1个转换柱与第2组转换柱352中的第2个转换柱通过电阻R1连接，……，第1组转换柱351中的第12个转换柱与第2组转换柱352中的第12个转换柱通过电阻R12连接，如图7所示。

可选的，电阻的阻值范围为100欧姆至1000欧姆。每对转换柱之间连接的电阻的阻值可以相同也可以不相同，每对转换柱之间连接的电阻的阻值根据实际情况确定，本申请实施例对此不作限定。

在探针卡与针座装置连接时，当探针卡的探针引脚顺序与接线柱顺序相同时，第1组接线柱连接量测单元；当探针卡的探针引脚顺序与接线柱顺序相反时，第2组接线柱连接量测单元。

比如：当探针卡的探针引脚顺序为1-12，每组接线柱的接线柱顺序是1-12，探针卡与针座装置连接时，第1组接线柱连接量测单元，实现探针卡的探针引脚顺序与接线柱顺序一致，为1-12，探针引脚与接线柱一一对应；当探针卡的探针引脚顺序为12-1，每组接线柱的接线柱顺序是1-12时，第2组接线柱连接量测单元，实现探针卡的探针引脚顺序与接线柱顺序一致，为12-1，探针引脚与接线柱一一对应。

因此，无论是探针卡的探针引脚顺序与接线柱顺序相同，还是探针卡的探针引脚顺序与接线柱顺序不相同，只需要选择相应的接线柱组连接量测单元，即可实现探针卡的探针引脚与接线柱一一对应，解决了现有的针座装置需要使用两类探针卡，使用成本高的问题；并行测试机台上使用本申请实施例提供的针座装置，可以只采用一类探针卡，也即即使上半部分和下半部分的针座装置上的接线柱对称，上半部分和下半部分的针座装置也可以共用一类探针卡，达到提高探针卡的通用性和利用率，降低成本的效果。

需要说明的是，当本申请实施例提供的针座装置应用在并行测试机台上时，用于上半部分的针座装置上的接线柱和用于下半部分的针座装置上的接线柱对称；本申请实施例中附图内各个部件的位置仅为示例性说明，各个部件的实际位置根据实际情况确定，本申请实施例对此不作限定。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本申请创造的保护范围之中。

Claims

1.一种用于并行测试机台的针座装置，其特征在于，至少包括接线盒、接线面板、探针卡面板、两组接线柱和两组转换柱；

所述接线面板和所述探针卡面板设置在所述接线盒的两侧，所述两组接线柱设置在所述接线面板上；

所述接线盒内设置有所述两组转换柱，第1组转换柱与第2组转换柱连接；

所述第1组转换柱与所述探针卡面板连接；

所述第2组转换柱中的第i个转换柱与第1组接线柱中的第i个接线柱、第2组接线柱中的第j个接线柱分别连接，

2.根据权利要求1所述的用于并行测试机台的针座装置，其特征在于，每组转换柱数量相等；

所述第1组转换柱与所述第2组转换柱一一对应连接。

3.根据权利要求1所述的用于并行测试机台的针座装置，其特征在于，所述第1组转换柱和所述第2组转换柱之间连接有电阻。

4.根据权利要求3所述的用于并行测试机台的针座装置，其特征在于，每组转换柱数量相等，所述第1组转换柱与所述第2组转换柱一一对应连接，每对转换柱之间连接有电阻。

5.根据权利要求3或4所述的用于并行测试机台的针座装置，其特征在于，所述电阻的阻值范围为100欧姆至1000欧姆。

6.根据权利要求1所述的用于并行测试机台的针座装置，其特征在于，所述探针卡面板上设置有接插件，所述接插件包括至少n个引脚；

所述第1组转换柱中的每个接线柱连接所述探针卡面板上的一个引脚。

7.根据权利要求1所述的用于并行测试机台的针座装置，其特征在于，当所述探针卡的探针引脚顺序与接线柱顺序相同时，所述第1组接线柱连接量测单元；

当所述探针卡的探针引脚顺序与接线柱顺序相反时，所述第2组接线柱连接所述量测单元。

8.根据权利要求1所述的用于并行测试机台的针座装置，其特征在于，n＝12。