CN211590827U - 一种晶棒开方用可移动上下料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶棒开方用可移动上下料装置，包括上下料底座、滑动设置在上下料底座上的滑动台、以及滑动设置在滑动台上的上下料台。所述上下料台包括上下移动板、设置在上下移动板顶部的前后移动板、以及设置在前后移动板顶部的上料组件和下料组件。本实用新型实现在硅棒开方设备的多个构件之间运输硅棒，减少人力搬运硅棒，提高硅棒加工效率。

Description

一种晶棒开方用可移动上下料装置

技术领域

本实用新型属于硅棒加工技术领域，具体地说涉及一种晶棒开方用可移动上下料装置。

背景技术

目前国内外对硅棒加工，不管是传动的加工方式还是最新主流的加工方式，开方、磨削工序都存在硅棒频繁上料、下料、转运、重复装夹等问题。这些问题导致增加人工、增加物料转运的成本。

实用新型内容

针对现有技术的种种不足，发明人在长期实践中研究设计出一种晶棒开方用可移动上下料装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶棒开方用可移动上下料装置，包括上下料底座、滑动设置在上下料底座上的滑动台、以及滑动设置在滑动台上的上下料台。所述上下料台包括上下移动板、设置在上下移动板顶部的前后移动板、以及设置在前后移动板顶部的上料组件和下料组件。

进一步地，所述上下移动板一侧设有固定基板，所述上下移动板通过上下移动导轨固定在固定基板上。

进一步地，所述前后移动板底部设有前后移动导轨，所述前后移动板后端设有前后移动同步带，所述前后移动同步带底部连接前后移动伺服电机。

进一步地，所述前后移动板一端设有前后移动护罩。

进一步地，所述上料组件包括上料底座，沿所述上料底座长度方向的两端分别设有第一夹紧板和硅棒夹紧气缸。

进一步地，所述硅棒夹紧气缸通过气缸支撑座固定在所述上料底座上，所述气缸支撑座内部设有空腔，空腔内设有前后位置检测探针。

进一步地，所述硅棒夹紧气缸靠近第一夹紧板一侧连接第二夹紧板；所述第二夹紧板底部设有第二夹紧板支撑座，第二夹紧板支撑座底部设有第二夹紧板导轨。

进一步地，所述第二夹紧板支撑座面向所述硅棒夹紧气缸一侧设有基准板，所述前后位置检测探针一端固定在基准板上；所述第一夹紧板与所述第二夹紧板之间设有上料支撑板，上料支撑板底部固定在所述上料底座上。

进一步地，所述下料组件包括夹爪和夹爪气缸，所述夹爪的一端与所述夹爪气缸的活塞端固连，其另一端为自由端；所述夹爪上固设有晶向检测装置。

进一步地，所述夹爪和夹爪气缸均平行设置3个。

本实用新型的有益效果是：

1)由于上下料底座的设置，且上下料台可通过滑动台在上下料底座上滑动，能有效增加上下料台的行走距离，实现在硅棒开方设备的多个构件之间运输硅棒，减少人力搬运硅棒，提高硅棒加工效率。

2)将上料组件和下料组件一体化设置，可实现硅棒的上料和下料两种作业，节省了再单独生产下料设备的成本，同时，通过在硅棒下料组件上设置晶向检测装置，在运输硅棒的途中即可完成硅棒晶向检测，节省时间，提高了硅棒加工的效率，应用前景更广。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型上下移动板和前后移动板部分的结构示意图；

图3是本实用新型上料组件的结构示意图。

附图中：11-上下料底座、12-滑动台、13-上下移动板、131-上下移动伺服电机、132-上下移动同步带、133-上下移动滚珠丝杠、134-上下移动导轨、14-前后移动板、141-前后移动滚珠丝杠、142-前后移动滚珠丝杠支撑座、143-前后移动导轨、144-前后移动伺服电机、145-前后移动同步带、146-前后移动护罩、15-上料组件、151-上料底座、152-硅棒夹紧气缸、1521-气缸支撑座、1522-前后位置检测探针、153-第二夹紧板、1531-第二夹紧板支撑座、1532-第二夹紧板导轨、154-上料支撑板、155-第一夹紧板、156-定位板、16-夹爪、17-固定基板。

具体实施方式

为了使本领域的人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合本实用新型的附图，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描述。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此外，以下实施方式中提到的方向用词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本实用新型创造。

下面结合附图和较佳的实施例对本实用新型作进一步说明。

参见图1-图3，本实用新型的一种晶棒开方用可移动上下料装置，包括上下料底座11、滑动设置在上下料底座11上的滑动台12、以及滑动设置在滑动台12上的上下料台。上下料底座11长度方向的两侧均设有底座导轨，滑动台12可沿底座导轨滑动。滑动台12长度方向的两侧均设有滑动导轨，滑动导轨与底座导轨垂直，上下料台可沿滑动导轨滑动。

上下料台包括上下移动板13、设置在上下移动板13顶部的前后移动板14、以及设置在前后移动板14顶部的上料组件15和下料组件。上下移动板13一侧设有固定基板17，上下料台通过固定基板17与其外围的保护座固连。

前后移动板14一端设有前后移动护罩146，该护罩为风琴护罩，可随着前后移动板14的移动而伸缩，防止灰尘杂质进入前后移动板14内。前后移动板14底部设有前后移动导轨143，前后移动板14可在前后移动导轨143上前后移动。前后移动板14底部与前后移动滚珠丝杠141连接，前后移动滚珠丝杠141的螺母固定在前后移动板14上，该滚珠丝杠转动，滚珠丝杠螺母带动上下料台前后移动板前后移动。

前后移动板14后端设有前后移动同步带145，前后移动同步带145底部连接前后移动伺服电机144。前后移动滚珠丝杠141一端外套设前后移动滚珠丝杠支撑座142，另一端与前后移动同步带145连接。前后移动伺服电机144输出转动动力，通过前后移动同步带145转向，将转动传递给前后移动滚珠丝杠141。

上下移动板13通过上下移动导轨134固定在固定基板17上，上下移动板13可在上下移动导轨134上上下移动。上下移动板13面向上下移动导轨134一侧与上下移动滚珠丝杠133连接，上下移动滚珠丝杠133的螺母与上下移动板13固定，上下移动滚珠丝杠133转动时，螺母在上下移动滚珠丝杠133上上下移动带动上下移动板13上下移动。

上下移动滚珠丝杠133底部与上下移动同步带132连接，上下移动同步带132另一端与上下移动伺服电机131连接，上下移动伺服电机131输出转动动力，经过上下移动同步带132转向，将转动传递给上下移动滚珠丝杠133。

上料组件15包括上料底座151，沿上料底座151长度方向的两端分别设有第一夹紧板155和硅棒夹紧气缸152。硅棒夹紧气缸152通过气缸支撑座1521固定在上料底座151上，气缸支撑座1521内部设有空腔，空腔内设有前后位置检测探针1522。

硅棒夹紧气缸152靠近第一夹紧板155一侧连接第二夹紧板153，第二夹紧板153底部设有第二夹紧板支撑座1531，第二夹紧板支撑座1531底部设有第二夹紧板导轨1532，第二夹紧板支撑座1531可在第二夹紧板导轨1532上前后移动。

第二夹紧板支撑座1531面向硅棒夹紧气缸152一侧设有基准板(图中未示出)，前后位置检测探针1522一端固定在基准板上。前后位置检测探针1522可伸缩，其初始状态为收缩状态，当硅棒夹紧气缸152活塞端伸出，推动第二夹紧板153向第一夹紧板155移动时，前后位置检测探针1522一端跟随基准板移动，前后位置检测探针1522伸展。

第一夹紧板155与第二夹紧板153之间设有上料支撑板154，上料支撑板154底部固定在上料底座151上，用于上料时放置硅棒。上料底座151一侧设有定位板156，定位板156与上料底座151一样固定在前后移动板14上，用于上料组件15安装时的定位作用。

下料组件包括夹爪16和夹爪气缸，夹爪16和夹爪气缸均平行设置3个，夹爪16的一端与夹爪气缸的活塞端固连，其另一端为自由端。夹爪16的横截面成U形，3个夹爪间隔设置以形成容纳硅棒的空间。在夹爪16上固设有晶向检测装置，晶向检测装置用于对硅棒的晶向进行检测。

当硅棒进行上下料时，将硅棒放置在上料支撑板154上，硅棒夹紧气缸152活塞端伸出，推动第二夹紧板153向第一夹紧板155移动，夹紧硅棒，同时前后位置检测探针1522伸长，前后位置检测探针1522将伸长的位移数据传送给控制中心；接着，滑动台12带动上下料台在上下料底座11上滑动至硅棒开方工位，然后上下料台在滑动台12上滑动将硅棒向前送，此时前后移动伺服电机144启动，前后移动板14将硅棒移动到开方处进行后续操作；当硅棒开方完，上下料台移动到硅棒处，使下料组件的夹爪16位于硅棒正下方，上下移动伺服电机131启动带动上下移动板13向上时硅棒处于夹爪16的容纳空间里，然后上下料台撤出开方工位将硅棒移至后续操作处。

以上已将本实用新型做一详细说明，以上所述，仅为本实用新型之较佳实施例而已，当不能限定本实用新型实施范围，即凡依本申请范围所作均等变化与修饰，皆应仍属本实用新型涵盖范围内。

Claims (10)

1.一种晶棒开方用可移动上下料装置，其特征在于，包括上下料底座(11)、滑动设置在上下料底座(11)上的滑动台(12)、以及滑动设置在滑动台(12)上的上下料台；所述上下料台包括上下移动板(13)、设置在上下移动板(13)顶部的前后移动板(14)、以及设置在前后移动板(14)顶部的上料组件(15)和下料组件。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒开方用可移动上下料装置，其特征在于，所述上下移动板(13)一侧设有固定基板(17)，所述上下移动板(13)通过上下移动导轨(134)固定在固定基板(17)上。

3.根据权利要求1所述的一种晶棒开方用可移动上下料装置，其特征在于，所述前后移动板(14)底部设有前后移动导轨(143)，所述前后移动板(14)后端设有前后移动同步带(145)，所述前后移动同步带(145)底部连接前后移动伺服电机(144)。

4.根据权利要求3所述的一种晶棒开方用可移动上下料装置，其特征在于，所述前后移动板(14)一端设有前后移动护罩(146)。

5.根据权利要求1所述的一种晶棒开方用可移动上下料装置，其特征在于，所述上料组件(15)包括上料底座(151)，沿所述上料底座(151)长度方向的两端分别设有第一夹紧板(155)和硅棒夹紧气缸(152)。

6.根据权利要求5所述的一种晶棒开方用可移动上下料装置，其特征在于，所述硅棒夹紧气缸(152)通过气缸支撑座(1521)固定在所述上料底座(151)上，所述气缸支撑座(1521)内部设有空腔，空腔内设有前后位置检测探针(1522)。

7.根据权利要求6所述的一种晶棒开方用可移动上下料装置，其特征在于，所述硅棒夹紧气缸(152)靠近第一夹紧板(155)一侧连接第二夹紧板(153)；所述第二夹紧板(153)底部设有第二夹紧板支撑座(1531)，第二夹紧板支撑座(1531)底部设有第二夹紧板导轨(1532)。

8.根据权利要求7所述的一种晶棒开方用可移动上下料装置，其特征在于，所述第二夹紧板支撑座(1531)面向所述硅棒夹紧气缸(152)一侧设有基准板，所述前后位置检测探针(1522)一端固定在基准板上；所述第一夹紧板(155)与所述第二夹紧板(153)之间设有上料支撑板(154)，上料支撑板(154)底部固定在所述上料底座(151)上。

9.根据权利要求1所述的一种晶棒开方用可移动上下料装置，其特征在于，所述下料组件包括夹爪(16)和夹爪气缸，所述夹爪(16)的一端与所述夹爪气缸的活塞端固连，其另一端为自由端；所述夹爪(16)上固设有晶向检测装置。

10.根据权利要求9所述的一种晶棒开方用可移动上下料装置，其特征在于，所述夹爪(16)和夹爪气缸均平行设置3个。

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