CN211506166U - 一种可调光学对位平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种可调光学对位平台，具有机座及组装在机座上的装载平台，所述装载平台的四个方位均通过升降模块连接机座，且机座在其中三个方位中布设平移直线模块连接对应的升降模块，实现装载平台的三个方位相对平移调整；而剩下一个方位的升降模块直接固定在机座上，实现装载平台的定位。本实用新型实现装载平台的四个方位高度升降调整，以获得水平形态；且机座在其中三个方位中提供平移直线模块连接对应的升降模块，实现装载平台的三个方位相对平移调整，而剩下一个方位的升降模块直接固定在机座上，实现装载平台的定位，提供基点，实现X、Y、θ方向的调节。本实用新型结构简单，调节方便、稳定，准确性好。

Description

一种可调光学对位平台

技术领域

本实用新型涉及曝光设备技术领域，尤其是用于装载掩膜版平台的对位平台安装结构。

背景技术

曝光是指将涂布感光胶的产品置于曝光机工作台上，与掩膜版对位，通过曝光获得一种将掩膜版图案转移到基板上的过程。现有曝光设备中，掩膜版安装在装载平台上，安装后还需要进行装载平台与工件台平行调整，以满足对位曝光后转移图案均匀性的要求。现有技术中，装载平台与工作台平行度要么可调性不佳，影响曝光作业；要么调节结构复杂化，制作成本高。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种可调光学对位平台，结构简单，方便调节。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种可调光学对位平台，具有机座及组装在机座上的装载平台，所述装载平台的四个方位均通过升降模块连接机座，且机座在其中三个方位中布设平移直线模块连接对应的升降模块，实现装载平台的三个方位相对平移调整；而剩下一个方位的升降模块直接固定在机座上，实现装载平台的定位。

上述方案进一步是，所述升降模块基于螺母丝杆配合调节升降，调节操作方位布置在装载平台的上侧。

上述方案进一步是，所述升降模块包括升降丝杆、螺母座，升降丝杆具有螺纹端和调节端，升降丝杆的螺纹端经由装载平台提供的通孔由上往下穿设并锁接到螺母座的螺孔中，升降丝杆的调节端则限位卡在装载平台的通孔上方并与装载平台联动升降，以此达到升降丝杆在螺母座的螺孔中旋进旋出来调节装载平台的升降；所述四个升降模块的螺母座分别连接平移直线模块和机座。

上述方案进一步是，所述平移直线模块包括有滑轨、滑块及电机丝杆，滑轨固定在机座上，滑块按可滑动组装在滑轨上并由电机丝杆驱动平移；对应升降模块的螺母座通过摆动轴承连接平移直线模块的滑块，获得角度调整的关系。

上述方案进一步是，所述机座上还设有防松顶针模块，防松顶针模块包括粗牙螺母、细牙螺母及弹簧顶针，弹簧顶针组装在粗牙螺母和细牙螺母中间，粗牙螺母和细牙螺母用于调节弹簧顶针，弹簧顶针支顶相应的平移直线模块，且相应方位中的防松顶针模块支顶方向与平移直线模块的移动方向平行。

上述方案进一步是，所述装载平台为四方形，在装载平台四方角位的上侧设有下沉槽，下沉槽供升降丝杆的调节端限位容置，升降丝杆穿出装载平台的一侧施加卡环，由卡环配合调节端夹持装载平台的上下侧而达到升降丝杆与装载平台联动升降。

上述方案进一步是，所述装载平台的下沉槽上组设有可拆装的上盖，上盖遮蔽升降丝杆的调节端。

上述方案进一步是，所述升降丝杆与装载平台穿设部嵌设有转动轴承，而升降丝杆与螺母座螺纹连接处增加有防脱螺母。

本实用新型的装载平台的四个方位均通过升降模块连接机座，实现装载平台的四个方位高度升降调整，以获得水平形态；且机座在其中三个方位中提供平移直线模块连接对应的升降模块，实现装载平台的三个方位相对平移调整，而剩下一个方位的升降模块直接固定在机座上，实现装载平台的定位，提供基点，实现X、Y、θ方向的调节。本实用新型结构简单，调节方便、稳定，准确性好。

附图说明：

附图1为本实用新型较佳实施例结构示意图；

附图2为图1实施例的底部结构示意图；

附图3为图1实施例的侧视结构示意图；

附图4为图1实施例的局部结构敞开示意图；

附图5为图1实施例的局部结构剖视示意图。

具体实施方式：

以下将结合附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本实用新型的目的、特征和效果。

需要说明的是，在本实用新型的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参阅图1、2、3、4、5所示，是本实用新型的较佳实施例示意图，本实用新型有关一种可调光学对位平台，具有机座1及组装在机座1上的装载平台2，装载平台2用于固定安装掩膜版。所述装载平台2的四个方位均通过升降模块3连接机座1，实现装载平台的四个方位高度升降调整，以获得水平形态；且机座1在其中三个方位中提供平移直线模块4连接对应的升降模块3，实现装载平台2的三个方位相对平移调整，而剩下一个方位的升降模块3直接固定在机座1上，实现装载平台2的定位，提供基点，实现X、Y、θ方向的调节。

图1、2、3、4、5所示，所述升降模块3基于螺母丝杆配合调节升降，通过手动正反旋转螺母，实现升降，达到装载平台2相应方位的高度升降调节。本实施例中，调节操作方位布置在装载平台2的上侧，调节操作更轻便、快捷，提升组装调节的效率及质量。本实施例进一步是，所述升降模块3包括升降丝杆31、螺母座32，升降丝杆31具有螺纹端311和调节端312，升降丝杆31是大头螺杆形式，调节端312形成外扩的端头，在调节端312上还增加方便手动操作的内六角或外六角等结构，由此方便调节操作。升降丝杆31的螺纹端311经由装载平台2提供的通孔由上往下穿设并锁接到螺母座32的螺孔中，升降丝杆31的调节端312则限位卡在装载平台2的通孔上方并与装载平台2联动升降，以此达到升降丝杆31在螺母座32的螺孔中旋进旋出来调节装载平台2的升降。所述四个升降模块3的螺母座32分别连接平移直线模块4和机座1，以获得对应的工作性。本实施例进一步是，升降丝杆31与装载平台2穿设部嵌设有转动轴承35，增加相对转动性，提升调节轻便及准确性，延长使用寿命。升降丝杆31与螺母座32螺纹连接处增加有防脱螺母34，增加调节准确性及稳定性。

图1、2、3、4、5所示，所述平移直线模块4包括有滑轨41、滑块42及电机丝杆43，滑轨41固定在机座1上，滑块42按可滑动组装在滑轨41上并由电机丝杆43驱动平移；对应升降模块3的螺母座32通过摆动轴承连接平移直线模块4的滑块42，获得角度调整的关系。由此通过平移直线模块4实现装载平台2三个方位独自或一起水平调整，实现X、Y方向调节，且三个方位的平移直线模块4上组装的升降模块3通过摆动轴承连接，实现装载平台2调整θ角度。

图1、2、3、4、5所示，本实施例进一步是，所述机座1上还设有防松顶针模块5，防松顶针模块5包括粗牙螺母51、细牙螺母52及弹簧顶针53，弹簧顶针53组装在粗牙螺母51和细牙螺母52中间，粗牙螺母51和细牙螺母52用于调节弹簧顶针53，通过旋转带动弹簧顶针53移动，弹簧顶针53支顶相应的平移直线模块4，且相应方位中的防松顶针模块5支顶方向与平移直线模块4的移动方向平行。由防松顶针模块5支顶，减少平移直线模块4存在的丝杆移动间隙，从而提升调整稳定性、准确性。

本实施例中，所述装载平台2为四方形，装载平台2的四方角位连接升降模块3，并在装载平台2四方角位的上侧设有下沉槽21，下沉槽21供升降丝杆31的调节端312限位容置，不仅方便调整，也装载平台2的装载及运行，避免与其它工作件发生干涉。升降丝杆31穿出装载平台2的一侧施加卡环33，由卡环33配合调节端312夹持装载平台2的上下侧而达到升降丝杆31与装载平台2联动升降，结构简单，组装及拆换简便。本实施例的，装载平台2的下沉槽21上组设有可拆装的上盖22，上盖22遮蔽升降丝杆31的调节端312，有效隐藏调节位，避免误动作，起到保护功效的同时，还有效保证装载平台2上平面平整性，方便清理。

本实用新型的装载平台的四个方位均通过升降模块连接机座，实现装载平台的四个方位高度升降调整，以获得水平形态；且机座在其中三个方位中提供平移直线模块连接对应的升降模块，实现装载平台的三个方位相对平移调整，而剩下一个方位的升降模块直接固定在机座上，实现装载平台的定位，提供基点，实现X、Y、θ方向的调节。本实用新型结构简单，调节方便、稳定，准确性好。

以上虽然结合附图描述了本实用新型的较佳具体实施例，但本实用新型不应被限制于与以上的描述和附图完全相同的结构和操作，对本技术领域的技术人员来说，在不超出本实用新型构思和范围的情况下通过逻辑分析、推理或者有限的实验还可对上述实施例作出许多等效改进和变化，但这些改进和变化都应属于本实用新型要求保护的范围。

Claims (8)

1.一种可调光学对位平台，具有机座（1）及组装在机座（1）上的装载平台（2），其特征在于：所述装载平台（2）的四个方位均通过升降模块（3）连接机座（1），且机座（1）在其中三个方位中布设平移直线模块（4）连接对应的升降模块（3），实现装载平台（2）的三个方位相对平移调整；而剩下一个方位的升降模块（3）直接固定在机座（1）上，实现装载平台（2）的定位。

2.根据权利要求1所述的一种可调光学对位平台，其特征在于：所述升降模块（3）基于螺母丝杆配合调节升降，调节操作方位布置在装载平台（2）的上侧。

3.根据权利要求2所述的一种可调光学对位平台，其特征在于：所述升降模块（3）包括升降丝杆（31）、螺母座（32），升降丝杆（31）具有螺纹端（311）和调节端（312），升降丝杆（31）的螺纹端（311）经由装载平台（2）提供的通孔由上往下穿设并锁接到螺母座（32）的螺孔中，升降丝杆（31）的调节端（312）则限位卡在装载平台（2）的通孔上方并与装载平台（2）联动升降，以此达到升降丝杆（31）在螺母座（32）的螺孔中旋进旋出来调节装载平台（2）的升降；所述四个升降模块（3）的螺母座（32）分别连接平移直线模块（4）和机座（1）。

4.根据权利要求1或3所述的一种可调光学对位平台，其特征在于：所述平移直线模块（4）包括有滑轨（41）、滑块（42）及电机丝杆（43），滑轨（41）固定在机座（1）上，滑块（42）按可滑动组装在滑轨（41）上并由电机丝杆（43）驱动平移；对应升降模块（3）的螺母座（32）通过摆动轴承连接平移直线模块（4）的滑块（42），获得角度调整的关系。

5.根据权利要求4所述的一种可调光学对位平台，其特征在于：所述机座（1）上还设有防松顶针模块（5），防松顶针模块（5）包括粗牙螺母（51）、细牙螺母（52）及弹簧顶针（53），弹簧顶针（53）组装在粗牙螺母（51）和细牙螺母（52）中间，粗牙螺母（51）和细牙螺母（52）用于调节弹簧顶针（53），弹簧顶针（53）支顶相应的平移直线模块（4），且相应方位中的防松顶针模块（5）支顶方向与平移直线模块（4）的移动方向平行。

6.根据权利要求1或2或3所述的一种可调光学对位平台，其特征在于：所述装载平台（2）为四方形，在装载平台（2）四方角位的上侧设有下沉槽（21），下沉槽（21）供升降丝杆（31）的调节端（312）限位容置，升降丝杆（31）穿出装载平台（2）的一侧施加卡环（33），由卡环（33）配合调节端（312）夹持装载平台（2）的上下侧而达到升降丝杆（31）与装载平台（2）联动升降。

7.根据权利要求6所述的一种可调光学对位平台，其特征在于：所述装载平台（2）的下沉槽（21）上组设有可拆装的上盖（22），上盖（22）遮蔽升降丝杆（31）的调节端（312）。

8.根据权利要求3所述的一种可调光学对位平台，其特征在于：所述升降丝杆（31）与装载平台（2）穿设部嵌设有转动轴承，而升降丝杆（31）与螺母座（32）螺纹连接处增加有防脱螺母（34）。

Images