CN211980595U

CN211980595U - 一种用于晶圆生产的固定装置

Info

Publication number: CN211980595U
Application number: CN202021146710.2U
Authority: CN
Inventors: 莫景钊; 叶纬; 莫景新
Original assignee: Guangdong Weishi Wafer Technology Co ltd
Current assignee: Guangdong Weishi Wafer Technology Co ltd
Priority date: 2020-06-19
Filing date: 2020-06-19
Publication date: 2020-11-20
Anticipated expiration: 2030-06-19

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆生产的固定装置，包括底架、导轨、固定立臂、调节组件、固定组件和安装定位孔，所述底架的顶部端面中央固定安装有导轨，所述导轨的顶部端面上方设置有固定立臂，所述固定立臂的顶部端面一侧设置有调节组件，且调节组件的外部一侧设置有固定组件，所述底架的端面四周均开设有安装定位孔；所述导轨的顶部端面配合安装有滑块，且固定立臂的底部与滑块固定连接；所述横梁架固定安装在固定立臂的一侧端面顶部位置处；该用于晶圆生产的固定装置，结构简单，体积小巧；具有良好的角度调节能力，能够提高使用的方便性；同时，能够对晶圆具有牢固的安装固定效果，能够有效避免晶圆脱落，防滑脱效果好。

Description

一种用于晶圆生产的固定装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产设备领域，具体为一种用于晶圆生产的固定装置。

背景技术

晶圆,也叫基片,是指制造半导体晶体管或集成电路的衬底；在晶圆生产的过程中，需要使用到晶圆瑕疵检测机；该设备由EFEN、晶圆载台、显微镜组、除震平台、机架A及机架B，共6部份组成；由人工将装有晶圆的CASETTE放入 EFEN，先经由ROBOT从CASETTE取出单片晶圆后摆放至晶圆载台，接着晶圆载台会移动至显微镜组工作区，进行晶圆瑕疵检测及记录；待检测及记录完成后，晶圆载台会再将晶圆移动回到ROBOT位置，ROBOT收回晶圆并交还至CASETTE 的动作流程；晶圆瑕疵检测机在工作时会使用到晶圆固定装置；现有技术中的固定装置，固定不牢固，晶圆容易发生脱落，而且，在调节晶圆的位置时，调节不便，因此，设计一种用于晶圆生产的固定装置是很有必要的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆生产的固定装置，结构简单，体积小巧；具有良好的角度调节能力，能够提高使用的方便性；同时，能够对晶圆具有牢固的安装固定效果，能够有效避免晶圆脱落，防滑脱效果好。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种用于晶圆生产的固定装置，包括底架、导轨、固定立臂、调节组件、固定组件和安装定位孔，所述底架的顶部端面中央固定安装有导轨，所述导轨的顶部端面上方设置有固定立臂，所述固定立臂的顶部端面一侧设置有调节组件，且调节组件的外部一侧设置有固定组件，所述底架的端面四周均开设有安装定位孔。

作为本实用新型进一步的方案：所述导轨的顶部端面配合安装有滑块，且固定立臂的底部与滑块固定连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述调节组件包括横梁架、第一调节气缸、调节连杆、翻转轴、翻转架、翻转马达、调节块、旋转台、调节背板、升降架、第二调节气缸和承重壁板，所述横梁架固定安装在固定立臂的一侧端面顶部位置处，所述横梁架的一端固定安装有第一调节气缸，所述横梁架的内部滑动安装有调节块，所述调节块的一侧端面中央固定安装有调节连杆，且调节连杆的另一端固定安装有翻转马达，所述翻转马达的一端安装有翻转轴，所述翻转马达的一侧设置有翻转架，且翻转轴的一端与两个翻转架固定连接，所述翻转架的一端连接安装有旋转台，所述旋转台的一端安装有调节背板，所述调节背板的一端固定安装有升降架，所述升降架的顶部端面固定安装有第二调节气缸，所述升降架的内侧端面安装有承重壁板。

作为本实用新型进一步的方案：所述第一调节气缸的内部安装有第一活塞杆，且第一活塞杆穿过第一调节气缸与调节块的一端固定连接；所述第二调节气缸的内部安装有第二活塞杆，且第二活塞杆穿过第二调节气缸与承重壁板的一端固定连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述固定组件包括固定平台、防刮垫片、螺纹底座、限位卡板、限位槽和锁紧螺帽，所述固定平台固定安装在承重壁板的顶部端面位置处，所述固定平台的顶部端面中央贴合安装有防刮垫片，所述防刮垫片的外侧四周均固定安装有螺纹底座，所述螺纹底座的顶部端面设置有限位卡板，且限位卡板的端面中央开设有限位槽，所述螺纹底座的顶部一端穿过限位槽连接安装有锁紧螺帽。

作为本实用新型进一步的方案：所述限位卡板的底部端面贴合安装有防尘垫片。

本实用新型的有益效果：该用于晶圆生产的固定装置，结构简单，体积小巧；在使用时，通过固定组件能够对晶圆具有牢固的安装固定效果，安装方便，夹持紧固，能够有效避免晶圆脱落，防滑脱效果好；同时，通过固定立臂和滑轨能够便于调节固定立臂的位置，再通过调节组件能够便于将安装的晶圆调节到不同的角度和方向，具有良好的角度调节能力，能够提高使用的方便性。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型调节组件的结构示意图；

图3为本实用新型固定组件的结构示意剖视图；

图中：1、底架；2、导轨；3、固定立臂；4、调节组件；5、固定组件；6、安装定位孔；41、横梁架；42、第一调节气缸；43、调节连杆；44、翻转轴； 45、翻转架；46、翻转马达；47、调节块；48、旋转台；49、调节背板；410、升降架；411、第二调节气缸；412、承重壁板；51、固定平台；52、防刮垫片； 53、螺纹底座；54、限位卡板；55、限位槽；56、锁紧螺帽。

具体实施方式

下面将结合实施例对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-3所示，一种用于晶圆生产的固定装置，包括底架1、导轨2、固定立臂3、调节组件4、固定组件5和安装定位孔6，底架1的顶部端面中央固定安装有导轨2，导轨2的顶部端面上方设置有固定立臂3，导轨2的顶部端面配合安装有滑块，且固定立臂3的底部与滑块固定连接，便于调节固定立臂3的位置；固定立臂3的顶部端面一侧设置有调节组件4，且调节组件4的外部一侧设置有固定组件5，调节组件4包括横梁架41、第一调节气缸42、调节连杆43、翻转轴44、翻转架45、翻转马达46、调节块47、旋转台48、调节背板49、升降架410、第二调节气缸411和承重壁板412，横梁架41固定安装在固定立臂3 的一侧端面顶部位置处，横梁架41的一端固定安装有第一调节气缸42，横梁架 41的内部滑动安装有调节块47，调节块47的一侧端面中央固定安装有调节连杆43，且调节连杆43的另一端固定安装有翻转马达46，翻转马达46的一端安装有翻转轴44，翻转马达46的一侧设置有翻转架45，且翻转轴44的一端与两个翻转架45固定连接，翻转架45的一端连接安装有旋转台48，旋转台48的一端安装有调节背板49，调节背板49的一端固定安装有升降架410，升降架410 的顶部端面固定安装有第二调节气缸411，升降架410的内侧端面安装有承重壁板412，第一调节气缸42的内部安装有第一活塞杆，且第一活塞杆穿过第一调节气缸42与调节块47的一端固定连接；第二调节气缸411的内部安装有第二活塞杆，且第二活塞杆穿过第二调节气缸411与承重壁板412的一端固定连接，便于传动；固定组件5包括固定平台51、防刮垫片52、螺纹底座53、限位卡板 54、限位槽55和锁紧螺帽56，固定平台51固定安装在承重壁板412的顶部端面位置处，固定平台51的顶部端面中央贴合安装有防刮垫片52，防刮垫片52 的外侧四周均固定安装有螺纹底座53，螺纹底座53的顶部端面设置有限位卡板54，且限位卡板54的端面中央开设有限位槽55，限位卡板54的底部端面贴合安装有防尘垫片，提高防尘效果；螺纹底座53的顶部一端穿过限位槽55连接安装有锁紧螺帽56，通过固定组件5能够便于将晶圆安装固定；底架1的端面四周均开设有安装定位孔6。

本实用新型的工作原理：使用时，通过底架1端面的安装定位孔6使用合适尺寸的螺栓能够将底架1进行安装固定，通过固定组件5将需要安装的晶圆进行固定，将晶圆放置在固定平台51顶部端面的防刮垫片52上，通过防刮垫片52能够有效避免晶圆的底部与防刮垫片52接触时出现刮伤的情况，拉动限位卡板54，使得螺纹底座53得以在限位槽55的内部移动，从而确定限位卡板 54以合适的长度将防刮垫片52顶部的晶圆进行固定，将限位卡板54底部的防尘垫片与晶圆的顶部端面贴合后，通过将锁紧螺帽56安装在限位卡板54的顶部，使得锁紧螺帽56与螺纹底座53通过螺纹紧固连接，直到锁紧螺帽56和螺纹底座53将限位卡板54和晶圆夹紧，再将其余三处的限位卡板54以同样的方式将晶圆夹紧，固定完成后，导轨2顶部端面的滑块能够使得固定立臂3能够进行移动，在固定立臂3的顶部，通过调节组件4将固定组件5的角度进行调节，横梁架41一侧的第一调节气缸42通过第一活塞杆能够使得调节块47的位置发生变化，调节连杆43一侧的翻转马达46能够通过翻转轴44使得翻转架45 发生翻转，从而能够调节旋转台48和调节背板49的角度，通过将旋转台48调节能够将调节背板49转动，在调节背板49的一侧，第二调节气缸411通过第二活塞杆能够使得承重壁板412在升降架410内上下移动，进而能够使得固定组件5和晶圆的角度能够进行调节，具有良好的角度调节能力，提高了使用的方便性。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims

1.一种用于晶圆生产的固定装置，其特征在于，包括底架(1)、导轨(2)、固定立臂(3)、调节组件(4)、固定组件(5)和安装定位孔(6)，所述底架(1)的顶部端面中央固定安装有导轨(2)，所述导轨(2)的顶部端面上方设置有固定立臂(3)，所述固定立臂(3)的顶部端面一侧设置有调节组件(4)，且调节组件(4)的外部一侧设置有固定组件(5)，所述底架(1)的端面四周均开设有安装定位孔(6)。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆生产的固定装置，其特征在于，所述导轨(2)的顶部端面配合安装有滑块，且固定立臂(3)的底部与滑块固定连接。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆生产的固定装置，其特征在于，所述调节组件(4)包括横梁架(41)、第一调节气缸(42)、调节连杆(43)、翻转轴(44)、翻转架(45)、翻转马达(46)、调节块(47)、旋转台(48)、调节背板(49)、升降架(410)、第二调节气缸(411)和承重壁板(412)，所述横梁架(41)固定安装在固定立臂(3)的一侧端面顶部位置处，所述横梁架(41)的一端固定安装有第一调节气缸(42)，所述横梁架(41)的内部滑动安装有调节块(47)，所述调节块(47)的一侧端面中央固定安装有调节连杆(43)，且调节连杆(43)的另一端固定安装有翻转马达(46)，所述翻转马达(46)的一端安装有翻转轴(44)，所述翻转马达(46)的一侧设置有翻转架(45)，且翻转轴(44)的一端与两个翻转架(45)固定连接，所述翻转架(45)的一端连接安装有旋转台(48)，所述旋转台(48)的一端安装有调节背板(49)，所述调节背板(49)的一端固定安装有升降架(410)，所述升降架(410)的顶部端面固定安装有第二调节气缸(411)，所述升降架(410)的内侧端面安装有承重壁板(412)。

4.根据权利要求3所述的用于晶圆生产的固定装置，其特征在于，所述第一调节气缸(42)的内部安装有第一活塞杆，且第一活塞杆穿过第一调节气缸(42)与调节块(47)的一端固定连接；所述第二调节气缸(411)的内部安装有第二活塞杆，且第二活塞杆穿过第二调节气缸(411)与承重壁板(412)的一端固定连接。

5.根据权利要求1或3所述的用于晶圆生产的固定装置，其特征在于，所述固定组件(5)包括固定平台(51)、防刮垫片(52)、螺纹底座(53)、限位卡板(54)、限位槽(55)和锁紧螺帽(56)，所述固定平台(51)固定安装在承重壁板(412)的顶部端面位置处，所述固定平台(51)的顶部端面中央贴合安装有防刮垫片(52)，所述防刮垫片(52)的外侧四周均固定安装有螺纹底座(53)，所述螺纹底座(53)的顶部端面设置有限位卡板(54)，且限位卡板(54)的端面中央开设有限位槽(55)，所述螺纹底座(53)的顶部一端穿过限位槽(55)连接安装有锁紧螺帽(56)。

6.根据权利要求5所述的用于晶圆生产的固定装置，其特征在于，所述限位卡板(54)的底部端面贴合安装有防尘垫片。