CN211497769U - 一种卧式真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种卧式真空镀膜机，包括卧式真空镀膜室和两个工件上下料机构，所述卧式真空镀膜室的两侧设置有可开闭的上下料口，两个所述工件上下料机构对应所述上下料口设置并可交替地将工件送入所述卧式真空镀膜室。本实用新型中的真空镀膜机将传统的立式结构改为卧式结构，无需搭建高台，方便工人装卸工件，有利于保证安全生产，并且同时设置有两个工件上下料机构，可以交替进行上料、下料，生产效率高，降低了车间要求，有利于降低生产成本，实用性强。

Description

一种卧式真空镀膜机

技术领域

本实用新型属于真空镀膜机技术领域，具体涉及一种卧式真空镀膜机。

背景技术

溅射式真空镀膜机是常见的真空镀膜设备之一，传统的溅射式真空镀膜机均是立式结构，在加工工件为管状结构或长条状结构时，镀膜机是采用上端进料、出料的结构设置，因此在实际操作过程中通常需要在镀膜机的一侧搭建高台，以便于在真空镀膜室内的转台架上移出料后工人装卸工件。由于转台架上一般都安装有多个工件，因此这种结构、模式设计的镀膜机在每次装卸工件时需要耗费较长时间，影响生产效率。并且工人高台操作存在安全隐患，不利于安全生产的进行。同时生产管状工件或长条状工件时，立式镀膜机本身高度较高，且在镀膜机上方还需预留转台架上移的空间，对生产车间的高度要求较高，间接提高生产成本。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种卧式真空镀膜机，包括卧式真空镀膜室和两个工件上下料机构，所述卧式真空镀膜室的两侧设置有可开闭的上下料口，两个所述工件上下料机构对应所述上下料口设置并可交替地将工件送入所述卧式真空镀膜室。

优选的，所述卧式真空镀膜室上设置有可开闭所述上下料口的活动门，且所述工件上下料机构远离所述卧式真空镀膜室的一端设置有可闭合所述上下料口的遮挡结构。

优选的，所述卧式真空镀膜室内设置有导向机构，所述导向机构用于所述工件上下料机构运动导向。

优选的，所述导向机构设置有至少两条滑轨，所述工件上下料机构设置有与所述滑轨适配的滑轮。

优选的，所述滑轨设置有调节结构，以用于调节所述滑轨的高度和两条所述滑轨之间的宽度。

优选的，所述工件上下料机构于所述卧式真空镀膜室的外侧设置有移动装置，所述移动装置设置有驱动所述工件上下料机构进出所述卧式真空镀膜室的驱动组件和在所述工件上下料机构退出所述滑轨后支撑所述工件上下料机构的支撑组件。

优选的，所述驱动组件包括相对于所述卧式真空镀膜室固定设置的导轨、滑动架设于所述导轨上的滚轮和驱动所述滚轮转动的驱动电机，所述支撑组件为若干可升降地设置于所述导轨上的定滑轮。

优选的，所述工件上下料机构设置有安装架和转台架，所述转台架可绕水平轴转动地安装于所述安装架上，且所述转台架上设置有用于安装工件的工件安装结构，所述工件安装结构与所述转台架联动，从而在所述转台架转动时随之转动。

优选的，所述转台架设置有两个转盘组件和若干连杆，两个所述转盘组件之间对称设置于所述连杆的两端，从而于两个所述转盘组件之间形成工件装载空间，所述转盘组件包括固定齿圈、公转齿圈、传动组件和自转座组件，所述固定齿圈和公转齿圈的内圈均设置有轮齿，所述固定齿圈固定安装于所述安装架上，所述自转座组件设置有多个并同圆周地分布于所述公转齿圈上，且所述自转座组件设置有啮合所述固定齿圈的传动齿轮，所述公转齿圈通过多个所述传动齿轮与所述固定齿圈的配合而配装于所述固定齿圈上，所述传动组件设置有啮合所述公转齿圈的驱动齿轮，通过两个所述转盘组件上的所述自转座组件形成所述工件安装结构。

优选的，所述工件安装结构设置有装夹套筒和与所述装夹套筒对应设置有夹持套筒，所述夹持套筒设置有一个可拆卸地半圆柱侧壁。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型中的真空镀膜机将传统的立式结构改为卧式结构，无需搭建高台，方便工人装卸工件，有利于保证安全生产，并且同时设置有两个工件上下料机构，可以交替进行上料、下料，生产效率高，降低了车间要求，有利于降低生产成本，实用性强。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明：

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是工件上下料机构与卧式真空镀膜室之间的配合示意图；

图3是滑轨的安装示意图；

图4是滑轨的一种结构示意图；

图5是转台架的一种结构示意图；

图6是转台架的安装示意图；

图7是夹持套筒的一种结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。

参照图1，本实用新型公开一种卧式真空镀膜机，包括卧式真空镀膜室100和两个工件上下料机构200，卧式真空镀膜室100的两侧设置有可开闭的上下料口101，两个工件上下料机构200对应上下料口101设置并可交替地将工件送入卧式真空镀膜室100。

采用上述结构设置，本实用新型中的真空镀膜机将传统的立式结构改为卧式结构，无需搭建高台，方便工人装卸工件，有利于保证安全生产，并且同时设置有两个工件上下料机构200，可以交替进行上料、下料，生产效率高，降低了车间要求，有利于降低生产成本，实用性强。

在工件上下料机构200送入卧式真空镀膜室100内进行加工时，两端的上下料口101均需闭合、密封，为了简化结构组成，作为优选的，如图1所示，卧式真空镀膜室100上设置有可开闭上下料口101的活动门300，且工件上下料机构200远离卧式真空镀膜室100的一端设置有可闭合上下料口101的遮挡结构。这样在一侧的工件上下料机构200送入卧式真空镀膜室100内进行加工时，该侧的上下料口101通过该工件上下料机构200上的遮挡结构闭合密封，而另一侧的上下料口101则通过活动门300闭合密封，有效利用工件上下料机构200的工作运动机制，降低生产成本。

该活动门300可以是滑动设置在卧式真空镀膜室100上，也可以是转动设置在卧式真空镀膜室100，使其通过滑动的方式实现上下料口101的开闭或者通过转动的方式实现上下料口101的开闭控制。由于此类控制方式、控制结构均属于公知常识，故其具体的安装结构、驱动控制方式等在此不作详述。而工件上下料机构200上的遮挡结构优选设置于一与上下料口101适配的挡板，以节约生产成本。当然，在实际生产中也可以设置为密封门等结构。

从前述结构可知，工件上下料机构200在工作过程中会于卧式真空镀膜室100内进出，在工件长度较长时，工件上下料机构200的长度也必然较长，因此若是采用机械手等方式从工件上下料机构200的外侧夹持搬运的方式，无法适用于此种情况，有鉴于此，优选的，卧式真空镀膜室100内设置有导向机构，导向机构用于工件上下料机构200运动导向。这样可以通过导向机构来支撑工件上下料机构200，提高工作稳定性。具体的，如图2和图3所示，导向机构设置有至少两条滑轨102，工件上下料机构200设置有与滑轨102适配的滑轮213。

为了提高适用范围，优选的，滑轨102设置有调节结构，以用于调节滑轨102的高度和两条滑轨102之间的宽度。具体的，如图4所示，滑轨102包括底座103和导向部105，导向部105为长条状结构，以配合滑轮213工作，底座103上通过螺栓或螺钉安装有高度调节支座104，并且底座103上安装有若干位于高度调节支座104下方的调节螺栓107，通过转动调节螺栓107来调节高度调节支座104的高度，而导向部105安装于高度调节支座104上。导向部105上开设有条形孔106，条形孔106的长度方向垂直于滑轮213运动方向，导向部105通过在条形孔106内安装螺栓来固定于高度调节支座104上。这样通过高度调节支座104和条形孔106的设置来实现高度、宽度调节，可以适用不同结构设置的工件上下料机构200。即通过高度调节支座104和条形孔106等结构形成调节结构。

鉴于前述机械手或其他类似的控制工件上下料机构200进出的方式过于复杂、不便，优选的，工件上下料机构200于卧式真空镀膜室100的外侧设置有移动装置，移动装置设置有驱动工件上下料机构200进出卧式真空镀膜室100的驱动组件和在工件上下料机构200退出滑轨102后支撑工件上下料机构200的支撑组件。

如图2所示，驱动组件包括相对于卧式真空镀膜室100固定设置的导轨201、滑动架设于导轨201上的滚轮203和驱动滚轮203转动的驱动电机204，支撑组件为若干可升降地设置于导轨201上的定滑轮。

如图5和图6所示，本实用新型中的工件上下料机构200设置有安装架和转台架，转台架可绕水平轴转动地安装于安装架上，且转台架上设置有用于安装工件的工件安装结构，工件安装结构与转台架联动，从而在转台架转动时随之转动。

如图5和图6所示，为了较好的安装工件进行加工，转台架设置有两个转盘组件和若干连杆205，两个转盘组件之间对称设置于连杆205的两端，从而于两个转盘组件之间形成工件装载空间，转盘组件包括固定齿圈207、公转齿圈208、传动组件和自转座组件，固定齿圈207和公转齿圈208的内圈均设置有轮齿，固定齿圈207固定安装于安装架上，自转座组件设置有多个并同圆周地分布于公转齿圈208上，且自转座组件设置有啮合固定齿圈207的传动齿轮209，公转齿圈208通过多个传动齿轮209与固定齿圈207的配合而配装于固定齿圈207上，传动组件设置有啮合公转齿圈208的驱动齿轮210，通过两个转盘组件上对应的自转座组件形成工件安装结构。如图5所示，固定齿圈207、公转齿圈208、自转座组件的分布圆周均同轴分布。

其中自转座组件还包括固定安装在公转齿圈208上的第一轴承座、设置在第一轴承座内的第一轴承和设置在第一轴承上的第一转轴，传动齿轮209固定设置在第一转轴的端部。由于两个转盘组件是同步转动的，因此优选的，两个传动组件之间通过一传动轴联动，即两个驱动齿轮210安装于同一传动轴上。

与上述结构相对应的，安装架设置有水平的底板215和竖直设置于底板215两端的侧板202，其滑轮213、驱动电机204、滚轮203均设置在该安装架上，转台架位于两个侧板202之间，固定齿圈207可以固定设置在侧板202上，也可以相对固定地设置在底板215上。并且如图2所示，在一些实施例中便是通过一侧板202形成遮挡结构。

进一步的，为了减小对自转座组件的压力，侧板202于公转齿圈208的外周侧设置有若干承重定滑轮206，其优选设置于公转齿圈208的下半圆周的区域，以充分承重。

考虑到固定齿圈207、公转齿圈208均为圆环结构，故而进一步的，本实用新型中的镀膜机还于两个侧板202上安装有靶头组件，通过两个侧板202上的靶头组件安装靶芯、靶材。靶头组件设置有一穿过侧板202的第二转轴，第二转轴的端部安装有联动齿轮，该联动齿轮用于连接动力源。另外，该第二转轴的内部结构、靶头组件的其他结构、靶芯的结构等均属于公知常识，且本实用新型中的改进点未涉及，故不作详述。

在工作过程中，工件装夹于两个自转座组件上，传动组件在动力源的驱动下带动公转齿圈208转动，公转齿圈208在转动的过程中，自转座组件在固定齿圈207的作用下同步转动，使得工件既进行公转，也进行自转，同时联动齿轮在动力源的驱动下转动，带动靶材和靶芯转动，从而完成溅射镀膜。

在进行部分管状工件(如玻璃管)的镀膜加工时，工件的两端无需镀膜，为此，在一些实施例中，将对应的两个自转座组件上设置不同的工装来形成工件安装结构。具体的，如图5和图7所示，一个自转座组件上设置装夹套筒211，另一个自转座组件上与装夹套筒211对应设置有夹持套筒212，夹持套筒212设置有一个可拆卸地半圆柱侧壁214。安装工件时，先拆下半圆柱侧壁214，之后将工件插入夹持套筒212后再放入夹持套筒212，最后安装半圆柱侧壁214锁紧，这样既可以有效实现工件的安装、驱动，也可以实现工件两端的遮挡，无需后续处理，实用性强。该半圆柱侧壁214优选采用聚四氟乙烯制成，以避免损伤工件。

此外，镀膜机其他的组成结构均属于公知常识，并不会因将真空镀膜室100从立式改为卧式便发生结构上的改变，并且本实用新型的改进点也不涉及此类结构，因此不作详述。

上述实施例只是本实用新型的优选方案，本实用新型还可有其他实施方案。本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可作出等同变形或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所设定的范围内。

Claims (10)

1.一种卧式真空镀膜机，其特征在于，包括卧式真空镀膜室和两个工件上下料机构，所述卧式真空镀膜室的两侧设置有可开闭的上下料口，两个所述工件上下料机构对应所述上下料口设置并可交替地将工件送入所述卧式真空镀膜室。

2.如权利要求1所述的一种卧式真空镀膜机，其特征在于，所述卧式真空镀膜室上设置有可开闭所述上下料口的活动门，且所述工件上下料机构远离所述卧式真空镀膜室的一端设置有可闭合所述上下料口的遮挡结构。

3.如权利要求2所述的一种卧式真空镀膜机，其特征在于，所述卧式真空镀膜室内设置有导向机构，所述导向机构用于所述工件上下料机构运动导向。

4.如权利要求3所述的一种卧式真空镀膜机，其特征在于，所述导向机构设置有至少两条滑轨，所述工件上下料机构设置有与所述滑轨适配的滑轮。

5.如权利要求4所述的一种卧式真空镀膜机，其特征在于，所述滑轨设置有调节结构，以用于调节所述滑轨的高度和两条所述滑轨之间的宽度。

6.如权利要求4所述的一种卧式真空镀膜机，其特征在于，所述工件上下料机构于所述卧式真空镀膜室的外侧设置有移动装置，所述移动装置设置有驱动所述工件上下料机构进出所述卧式真空镀膜室的驱动组件和在所述工件上下料机构退出所述滑轨后支撑所述工件上下料机构的支撑组件。

7.如权利要求6所述的一种卧式真空镀膜机，其特征在于，所述驱动组件包括相对于所述卧式真空镀膜室固定设置的导轨、滑动架设于所述导轨上的滚轮和驱动所述滚轮转动的驱动电机，所述支撑组件为若干可升降地设置于所述导轨上的定滑轮。

8.如权利要求1-7任一项所述的一种卧式真空镀膜机，其特征在于，所述工件上下料机构设置有安装架和转台架，所述转台架可绕水平轴转动地安装于所述安装架上，且所述转台架上设置有用于安装工件的工件安装结构，所述工件安装结构与所述转台架联动，从而在所述转台架转动时随之转动。

9.如权利要求8所述的一种卧式真空镀膜机，其特征在于，所述转台架设置有两个转盘组件和若干连杆，两个所述转盘组件之间对称设置于所述连杆的两端，从而于两个所述转盘组件之间形成工件装载空间，所述转盘组件包括固定齿圈、公转齿圈、传动组件和自转座组件，所述固定齿圈和公转齿圈的内圈均设置有轮齿，所述固定齿圈固定安装于所述安装架上，所述自转座组件设置有多个并同圆周地分布于所述公转齿圈上，且所述自转座组件设置有啮合所述固定齿圈的传动齿轮，所述公转齿圈通过多个所述传动齿轮与所述固定齿圈的配合而配装于所述固定齿圈上，所述传动组件设置有啮合所述公转齿圈的驱动齿轮，通过两个所述转盘组件上的所述自转座组件形成所述工件安装结构。

10.如权利要求8所述的一种卧式真空镀膜机，其特征在于，所述工件安装结构设置有装夹套筒和与所述装夹套筒对应设置有夹持套筒，所述夹持套筒设置有一个可拆卸地半圆柱侧壁。

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