CN211374836U - 一种用于微电子半导体的电阻检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于微电子半导体的电阻检测装置，包括底座，底座的上端一侧安装有支撑板，支撑板的一侧与移动装置连接，移动装置远离支撑板的一侧与顶板的一端连接，顶板的下端一侧安装有检测筒，检测筒的下端安装有检测头，底座的上端且位于支撑板的一侧安装有工作台，工作台的上端安装有固定装置，固定装置的内侧设有半导体本体，其中，移动装置包括两组滑杆，两组滑杆的上端与固定板一连接，两组滑杆的下端与固定板二连接，并且，顶板位于滑杆上且位于固定板一及固定板二之间，顶板的下端且位于两组滑杆之间设有伸缩气缸，伸缩气缸、固定板一及固定板二均位于支撑板的一侧，检测筒垂直于顶板设置，并且，检测头位于半导体本体的上方。

Description

一种用于微电子半导体的电阻检测装置

技术领域

本实用新型是一种用于微电子半导体的电阻检测装置，属于半导体领域。

背景技术

目前，半导体功率器件芯片的电阻测试，是半导体功率器件生产的一道必须工序。它是将不符合技术标准要求的芯片剔除，避免将其封装后再测试造成管壳的不必要浪费。现有半导体功率器件芯片测试过程中的应力和机械损伤，造成芯片外观划伤和损坏。另外测试方法繁琐，它必须按正常封装程序将芯片放入相应的管壳并用定位环将其准确定位，才能保证测试结果的准确性，这些工作都是由操作人员手工完成，劳动强度大，效率低。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种用于微电子半导体的电阻检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型设计新颖，能够节省大量安装时间，方便快捷，节约成本。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：本实用新型是一种用于微电子半导体的电阻检测装置，包括底座，所述底座的上端一侧安装有支撑板，所述支撑板的一侧与移动装置连接，所述移动装置远离所述支撑板的一侧与顶板的一端连接，所述顶板的下端一侧安装有检测筒，所述检测筒的下端安装有检测头，所述底座的上端且位于所述支撑板的一侧安装有工作台，所述工作台的上端安装有固定装置，所述固定装置的内侧设有半导体本体，其中，所述移动装置包括两组滑杆，两组所述滑杆的上端与固定板一连接，两组所述滑杆的下端与固定板二连接，并且，所述顶板位于所述滑杆上且位于所述固定板一及所述固定板二之间，所述顶板的下端且位于两组所述滑杆之间设有伸缩气缸。

另一种作为本实用新型的一种实施方式，所述伸缩气缸、所述固定板一及所述固定板二均位于所述支撑板的一侧。

另一种作为本实用新型的一种实施方式，所述检测筒垂直于所述顶板设置，并且，所述检测头位于所述半导体本体的上方。

另一种作为本实用新型的一种实施方式，所述固定装置包括底板，所述底板位于所述工作台的上端，所述底板的内部开设有通孔一及通孔二，所述通孔一的内部安装有活动杆一，所述通孔二的内部安装有活动杆二，所述底板的一侧安装有连接块，所述连接块的一侧安装有活动杆三，所述活动杆三的上端与所述半导体本体的一侧连接，所述活动杆三的下端与所述活动杆二的一端连接，所述半导体本体的另一侧且位于所述底板上安装有挡块。

另一种作为本实用新型的一种实施方式，所述活动杆一的上端套设有旋转块，所述活动杆一上开设有与所述旋转块相配合的螺纹线，所述活动杆三的一侧且位于所述底板上固定安装有金属弹片。

另一种作为本实用新型的一种实施方式，所述活动杆一的一侧开设有凹槽，所述活动杆二的一端安装有与所述凹槽相配合的凸块，并且，所述凹槽及所述凸块均呈三角形结构。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型采用活动式的顶板结构，检测筒便于上下运动，方便检测，便于携带，同时操作方便。

2.本实用新型设置固定装置，不仅提高测量的准确定，提高工作效率，功能多样，实用性强。

附图说明

图1是实施例的一种用于微电子半导体的电阻检测装置的结构示意图；

图2是实施例的移动装置的结构示意图；

图3是实施例的固定装置的俯视图；

图中：1、底座；2、支撑板；3、移动装置；4、顶板；5、检测筒；6、检测头；7、工作台；8、固定装置；9、滑杆；10、固定板一；11、固定板二；12、伸缩气缸；13、半导体本体；14、底板；15、通孔一；16、通孔二；17、活动杆一；18、活动杆二；19、连接块；20、活动杆三；21、挡块；22、旋转块；23、螺纹线；24、金属弹片；25、凹槽；26、凸块。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解。

实施例1：这种用于微电子半导体的电阻检测装置，包括底座1，底座1的上端一侧安装有支撑板2，支撑板2的一侧与移动装置3连接，移动装置3远离支撑板2的一侧与顶板4的一端连接，顶板4的下端一侧安装有检测筒5，检测筒5的下端安装有检测头6，底座1的上端且位于支撑板2的一侧安装有工作台7，工作台7的上端安装有固定装置8，固定装置8的内侧设有半导体本体13，其中，移动装置3包括两组滑杆9，两组滑杆9的上端与固定板一10连接，两组滑杆9的下端与固定板二11连接，并且，顶板4位于滑杆9上且位于固定板一10及固定板二11之间，顶板4的下端且位于两组滑杆9之间设有伸缩气缸12。

实施例2：伸缩气缸12、固定板一10及固定板二11均位于支撑板2的一侧。

实施例3：检测筒5垂直于顶板4设置，并且，检测头6位于半导体本体13的上方。

实施例4：固定装置8包括底板14，底板14位于工作台7的上端，底板14的内部开设有通孔一15及通孔二16，通孔一15的内部安装有活动杆一17，通孔二16的内部安装有活动杆二18，底板14的一侧安装有连接块19，连接块19的一侧安装有活动杆三20，活动杆三20的上端与半导体本体13的一侧连接，活动杆三20的下端与活动杆二18的一端连接，半导体本体13的另一侧且位于底板14上安装有挡块21。

实施例5：活动杆一17的上端套设有旋转块22，活动杆一17上开设有与旋转块22相配合的螺纹线23，活动杆三20的一侧且位于底板14上固定安装有金属弹片24，活动杆一17的一侧开设有凹槽25，活动杆二18的一端安装有与凹槽25相配合的凸块26，并且，凹槽25及凸块26均呈三角形结构。

为了方便理解本实用新型的上述技术方案，以下就本实用新型在实际过程中的工作原理或者操作方式进行详细说明。

工作原理：当需要对半导体本体13进行检测时，通过移动装置3调节检测筒5及检测头6的位置，通过伸缩气缸12带动顶板4运动，使得顶板4在两组滑杆9上来回运动，进而调节顶板4的位置，使得检测头6位于半导体本体13的上端，通过固定装置8将半导体本体13的位置进行固定，此时，通过转动旋转块22，使得旋转块22带动活动杆一17向上运动，进而活动杆一17一侧的凹槽25带动凸块26运动，使得活动杆二18向右运动，进而挤压活动杆三20的下端，使得活动杆三20的上端挤压半导体本体13，进而将半导体本体13固定在挡块21的一侧。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种用于微电子半导体的电阻检测装置，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)的上端一侧安装有支撑板(2)，所述支撑板(2)的一侧与移动装置(3)连接，所述移动装置(3)远离所述支撑板(2)的一侧与顶板(4)的一端连接，所述顶板(4)的下端一侧安装有检测筒(5)，所述检测筒(5)的下端安装有检测头(6)，所述底座(1)的上端且位于所述支撑板(2)的一侧安装有工作台(7)，所述工作台(7)的上端安装有固定装置(8)，所述固定装置(8)的内侧设有半导体本体(13)，其中，所述移动装置(3)包括两组滑杆(9)，两组所述滑杆(9)的上端与固定板一(10)连接，两组所述滑杆(9)的下端与固定板二(11)连接，并且，所述顶板(4)位于所述滑杆(9)上且位于所述固定板一(10)及所述固定板二(11)之间，所述顶板(4)的下端且位于两组所述滑杆(9)之间设有伸缩气缸(12)。

2.根据权利要求1所述的一种用于微电子半导体的电阻检测装置，其特征在于：所述伸缩气缸(12)、所述固定板一(10)及所述固定板二(11)均位于所述支撑板(2)的一侧。

3.根据权利要求1所述的一种用于微电子半导体的电阻检测装置，其特征在于：所述检测筒(5)垂直于所述顶板(4)设置，并且，所述检测头(6)位于所述半导体本体(13)的上方。

4.根据权利要求1所述的一种用于微电子半导体的电阻检测装置，其特征在于：所述固定装置(8)包括底板(14)，所述底板(14)位于所述工作台(7)的上端，所述底板(14)的内部开设有通孔一(15)及通孔二(16)，所述通孔一(15)的内部安装有活动杆一(17)，所述通孔二(16)的内部安装有活动杆二(18)，所述底板(14)的一侧安装有连接块(19)，所述连接块(19)的一侧安装有活动杆三(20)，所述活动杆三(20)的上端与所述半导体本体(13)的一侧连接，所述活动杆三(20)的下端与所述活动杆二(18)的一端连接，所述半导体本体(13)的另一侧且位于所述底板(14)上安装有挡块(21)。

5.根据权利要求4所述的一种用于微电子半导体的电阻检测装置，其特征在于：所述活动杆一(17)的上端套设有旋转块(22)，所述活动杆一(17)上开设有与所述旋转块(22)相配合的螺纹线(23)，所述活动杆三(20)的一侧且位于所述底板(14)上固定安装有金属弹片(24)。

6.根据权利要求5所述的一种用于微电子半导体的电阻检测装置，其特征在于：所述活动杆一(17)的一侧开设有凹槽(25)，所述活动杆二(18)的一端安装有与所述凹槽(25)相配合的凸块(26)，并且，所述凹槽(25)及所述凸块(26)均呈三角形结构。

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