CN211339668U - 夹持装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种夹持装置，用于夹持基板，所述夹持装置包括：夹板及调平机构，调平机构包括至少一个调节件，调节件被构造为可操作地作用于夹板，以向夹板施加促使其趋于平坦的作用力。上述夹持装置，由于调平机构的调节件可操作地作用于夹板，并向夹板施加促使其趋于平坦的作用力，则减小了夹板的变形，保证了夹板的平坦度，从而可以使基板与夹板的各处紧密贴合，保证了最终的蒸镀均匀性。

Description

夹持装置

技术领域

本实用新型涉及显示面板制造技术领域，特别是涉及一种夹持装置。

背景技术

在制造显示面板的过程时，需要通过蒸镀工艺将发光材料蒸镀于基板上。在蒸镀工艺中，需要先进行掩膜板与基板的对位，在对位系统中，需要采用夹持装置夹持基板。

夹持装置包括夹板及多个夹爪，基板的上表面与夹板沿厚度方向上的下表面贴合，多个夹爪抵接于基板的下表面的周缘，以使基板固定于夹板与夹爪之间。当基板固定于夹板与夹爪之间后，掩膜板与基板对位即可在基板上进行蒸镀。

但是采用传统的夹持装置，常会出现在基板上蒸镀不均匀的现象。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种夹持装置，以保证在基板上的蒸镀均匀性。

根据本申请的一个方面，提供一种夹持装置，用于夹持基板，所述夹持装置包括：

夹板，

及调平机构，包括至少一个调节件，所述调节件被构造为可操作地作用于所述夹板，以向所述夹板施加促使其趋于平坦的作用力。

在一个实施例中，所述调平机构沿所述夹板的厚度方向上设于所述夹板的至少一侧的边缘处。由于调平机构设于夹板至少一侧的边缘处，可调平机构可以让位于其他部件，便于其他部件的装配。

在一个实施例中，所述调平机构包括至少两个所述调节件，所述至少两个调节件沿所述夹板的厚度方向上设于所述夹板的两侧。通过至少两个调节件的共同作用，进一步保证了调平机构的调平效果，从而夹板更趋于平坦。

在一个实施例中，所述调节件包括连接部及连接于所述连接部的调节部；所述连接部相对固定地连接于所述夹板，所述调节部用于可操作地向所述夹板施加所述作用力。此时连接部作为调节部的装配基础，连接部不动，调节部相对于连接部运动以产生施加于夹板使其趋于平坦的作用力。

在一个实施例中，所述调节部被构造为可操作地抵接于所述夹板沿厚度方向上的一侧。由于连接部与夹板相对固定连接，但两者并没有完全固定连接，当调节部可操作地抵接于夹板沿厚度方向上的一侧时，调节部可施加使夹板趋于平坦的作用力。

在一个实施例中，所述调节部包括至少两个；优选地，所述至少两个调节部沿所述连接部的延伸方向间隔设置。如此设置，可以保证调节件的调平效果。

在一个实施例中，所述调节部与所述连接部螺纹连接，所述调节部相对所述夹板轴向固定且周向可转地连接于所述夹板。如此，当旋拧调节部时，调节部可施加使夹板趋于平坦的作用力。

在一个实施例中，所述调节部与所述夹板螺纹连接，所述调节部相对所述连接部轴向固定且周向可转地连接于所述连接部。如此，当旋拧调节部时，调节部可施加使夹板趋于平坦的作用力。

在一个实施例中，所述夹持装置还包括悬挂机构，所述调节件包括连接部及连接于所述连接部的调节部，所述连接部相对固定地连接于所述悬挂机构。提供了调节件的另一种可实施的方式。

在一个实施例中，所述连接部的两端相对固定地连接于所述悬挂机构和/或所述夹板。由于连接部的两端均相对固定地连接于悬挂机构或夹板，则可以保证连接部的固定效果。

本实用新型提供的夹持装置，由于调平机构的调节件可操作地作用于夹板，并向夹板施加促使其趋于平坦的作用力，则减小了夹板的变形，保证了夹板的平坦度，从而可以使基板与夹板的各处紧密贴合，保证了最终的蒸镀均匀性。

附图说明

图1为现有技术中提供的夹持装置的结构示意图；

图2为本申请一实施例提供的夹持装置的局部结构的截面图；

图3为本申请另一实施例提供的夹持装置的局部结构的轴测图；

图4为图3中所示夹持装置的局部结构的截面图。

附图标记说明：

夹持装置-100；悬挂机构-10；悬挂架-11；悬挂轴-12；夹板-20；夹爪-30；调节件-40；连接部-41；连接段-411；固定段-412；调节部-42；固定螺钉-43；磁吸机构-50；基板-200；掩膜板-300。

具体实施方式

为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本申请的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

图1示出了现有技术中的夹持装置的结构示意图。

如图1所示，正如背景技术所述，在蒸镀工艺中，需要先进行掩膜板300与基板200的对位，而在对位系统中，需要采用夹持装置100夹持基板200，而后再进行掩膜板300与基板200的对位，最后可在基板200上蒸镀发光材料。

夹持装置100包括夹板20及多个夹爪30，基板200的上表面与夹板20沿厚度方向上的下表面贴合，多个夹爪30抵接于基板200下表面的周缘，以使基板200固定于夹板20与夹爪30之间。而采用上述方式，常会出现在基板200上蒸镀不均匀的现象。

本申请的发明人研究发现，出现上述现象的根本原因在于：夹持装置100的夹板20会产生变形，从而导致夹板20的平坦度变差，而基板200的上表面与夹板20的下表面贴合，当夹板20变形时，基板200与夹板20局部贴合不紧，从而导致局部位置掩膜板300与基板200贴合不紧。如此造成掩膜对位精度差，在掩膜板300与基板200贴合不紧的位置出现蒸镀不均匀的现象。

发明人进一步研究发现，夹板20变形的根本原因在于：夹持装置100的夹板20是通过包括悬挂机构10吊起，如此一方面，夹板20与悬挂机构10连接的各个位置可能出现受力不均的现象，从而导致夹板20产生内应力，以使夹板20产生变形。另一方面，由于夹板20悬挂于悬挂机构10上，则在其自重的作用下，夹板20容易下凹变形。

为解决上述的问题，本申请提供了一种夹持装置100，能够改善夹板20的变形问题，从而使基板200与夹板20各处贴合紧密，以保证蒸镀的均匀性。

图2示出了本申请一实施例提供的夹持装置的局部结构的截面图。图3示出了本申请另一实施例提供的夹持装置的局部结构的轴测图。图4示出了图3中所示夹持装置的局部结构的截面图。

参阅图2，以及结合图1，本申请一实施例中的夹持装置100包括夹板20，具体地，夹持装置100还包括夹爪30，夹爪30与夹板20配合以夹持基板200，以便于后续在基板200上蒸镀发光材料。

进一步，夹持装置100还包括多个夹爪30，当需要夹持基板200时，基板200的上表面与夹板20的下表面抵接，夹爪30抵接于基板200的下表面，从而将基板200夹持于夹板20与夹爪30之间。

夹持装置100还包括调平机构，该调平机构包括至少一个调节件40，调节件40被构造为可操作地作用于夹板20，以向夹板20施加促使其趋于平坦的作用力。

本实施例提供的夹持装置100，由于调节件40可操作地作用于夹板20，并向夹板20施加促使其趋于平坦的作用力，则由于调节件40的作用减小了夹板20的变形，保证了夹板20的平坦度，从而可以使基板200与夹板20的各处紧密贴合，保证了最终的蒸镀均匀性。

一实施例中，夹持装置100还包括悬挂机构10，夹板20悬挂于悬挂机构10的一侧。

悬挂机构10包括悬挂架11及多个竖向设置的悬挂轴12，每相邻两个悬挂轴12之间间隔设置，每个悬挂轴12的顶端与悬挂架11固定连接，每个悬挂轴12的底端与夹板20的上表面连接。优选地，夹板20的上表面的边缘与悬挂轴12固定连接。

一实施例中，调节件40沿夹板20的厚度方向配接于夹板20的一侧。如当夹板20在装配时产生上凸的变形时，此时调节件40配接于夹板20的上侧，调节件40下压上凸部使夹板20趋于平坦；当夹板20在装配或者自重的作用下产生下凹的变形时，此时调节件40配接于夹板20的下侧，调节件40上压下凹部使夹板20趋于平坦，可知的，当调节件40位于夹板20的下侧即调节件40位于远离悬挂轴12的一侧时，调节件40位于夹板20的边缘位置处，可让位于基板200。

可以理解的是，在另一些实施例中，当夹板20产生上凸的变形时，也可以将调节件40配接于夹板20的下侧，调节件40下拉上凸部使夹板20趋于平坦；当夹板20产生下凹的变形时，也可以将调节件40配接于夹板20的上侧，调节件40上拉下凹部使夹板20趋于平坦。在又一些实施例中，调平机构包括多个调节件40，调节件40还可以同时配接于夹板20的上侧与下侧，当夹板20产生变形时，通过至少一侧的调节件40调节夹板20的平坦度。

为了便于说明，下面以夹板20产生上凸的变形，且以调节件40配接于夹板20的上侧为例，对本申请的技术方案进行详细的说明。本实施例仅用作范例说明，并不会限制本申请的技术范围。

在一个实施例中，调节件40包括至少两个，以保证调节的均匀性。具体地，以调节件40为两个为例进行详细说明，两个调节件40以夹板20所在平面的第二中轴线为基准对称设置，以进一步保证调节的均匀性。上述第二中轴线为夹板20所在平面沿第二方向的中轴线(参阅图3，第二方向为图3中X方向)。

一般地，夹持装置100还包括磁吸机构50(如图1所示)，磁吸机构50与悬挂架11固定连接，且磁吸机构50贴合于夹板20的上表面(背离夹板20夹持基板200的表面)以通过磁吸力进一步固定基板200。本实施例中，为了便于磁吸机构50的装配，调节件40配接于夹板20的边缘处，以让位于磁吸机构50。

一实施例中，每个调节件40包括连接部41及连接于连接部41的调节部42，连接部41相对固定的与悬挂机构10和/或夹板20连接，调节部42用于可操作地向夹板20施加作用力。具体地，调节部42可穿通连接部41并设置于连接部41上且与夹板20配接，调节部42沿穿通方向上相对于连接部41运动，以向夹板20施加作用力。即为，在本实施例中，连接部41作为调节部42的装配基础，连接部41不动，调节部42相对于连接部41运动以产生上述作用力。

继续参阅图2，具体地，由于夹板20的变形一般发生于其靠近中部区域的位置。本实施例中，为了保证调平效果，调节件40的调节部42配接于夹板20的边缘区域的中部。

可以想到的是，在另一些实施例中，还可以设置调节件40的整体相对于悬挂机构10运动，以产生上述作用力。如可以将调节件40装配于悬挂轴12上，且调节件40相对于悬挂轴12可上下滑动，调节件40相对于悬挂轴12运动时可以产生促使夹板20平坦的作用力，当调节件40相对于悬挂轴12移动到一定位置使夹板20平坦后，需要通过额外的固定机构将调节件40固定于悬挂轴12上。

继续参阅图2，在一具体实施例中，连接部41相对固定的与夹板20连接。可以理解，在另一些实施例中，连接部41也可以相对固定的与悬挂轴12连接，或者与夹板20及悬挂轴12同时相对固定的连接，在此亦不作限定，可知的，这里相对固定的连接并不是指连接部41与夹板20或悬挂轴12完全连接，两者只是部分连接，连接部41与夹板20或悬挂轴12间具有可移动的余量，而固定连接是完全的连接，没有可移动的余量。

在第一种实施方式中，调节部42被构造为可操作地抵接于夹板20上，调节部42在穿通方向上相对于连接部41的位置可调。由于连接部41相对固定的与悬挂轴12和/或夹板20连接，当调节部42在穿通方向相对于连接部41的位置可调时，则调节部42会产生促使夹板20趋于平坦的作用力。

具体地，每个调节件40包括至少两个沿连接部41的延伸方向(参阅图3，延伸方向为图3中X方向)上间隔设置的调节部42，通过至少两个调节部42的配合，从而保证调节件40的调平效果。进一步，每个调节件40包括沿连接部41的延伸方向上设置的至少三个调节部42，以形成调节面，从而保证调节件40的调平效果。更具体地，调节部42为调节螺钉，调节部42与连接部41螺纹连接，当需要调节夹板20的平坦度时，通过拧动调节部42即可调节。

进一步，每个调节件40所包括的全部调节部42以夹板20所在平面的第一中轴线为基准对称设置，第一中轴线为夹板20所在平面沿第一方向的中轴线(参阅图3，第一方向为图3中Y方向)，第一方向与第二方向相交。即为，当每个调节件40包括的调节部42为偶数个时，每两个调节部42相对于第一中轴线对称设置。当每个调节件40所包括的调节部42为奇数个时，若每个调节件40包括一个调节部42时，该调节部42自身的两边相对于第一中轴线对称设置，若每个调节件40包括多个调节部42时，位于最中间一个的调节部42自身的两边相对于第一中轴线对称设置，距离最中间一个调节部42距离相同的每两个调节部42关于第一中轴线对称设置。

可以理解的是，在另一些实施例中，调节部42也可以不采用螺纹配合的方式相对于连接部41运动。如可以在连接部41上开设有装配孔，装配孔的内壁沿轴向开设有多个间隔的凹槽，调节部42包括调节弹簧及调节板，调节弹簧抵接于调节板与夹板20之间，调节板通过设置于不同的凹槽内使调节弹簧被不同程度压缩，从而调节夹板20的平坦度。

在第二种实施方式中，调节部42与连接部41之间螺纹连接，调节部42与夹板20轴向固定且周向可转地连接于夹板20。由于连接部41相对固定的与悬挂轴12和/或夹板20连接，当调节部42相对于连接部41螺纹转动时，夹板20不会限制其转动，此时调节部42可产生下压夹板20的作用力。

具体地，调节部42通过轴承与夹板20轴向固定但周向可转，轴承的外圈与夹板20固定连接，内圈与调节部42固定连接。可以理解地，在另一些实施例中，还可以采用其他方式实现调节部42与夹板20轴向固定但周向可转，在此不再一一列举。

在第三种实施方式中，调节部42与夹板20之间螺纹连接，调节部42与连接部41轴向固定且周向可转地连接于连接部41。由于连接部41相对固定的与悬挂轴12和/或夹板20连接，当调节部42相对于夹板20螺纹转动时，连接部41不会限制其转动，此时调节部42可产生下压夹板20的作用力。

继续参阅图2，在一实施例中，连接部41相对固定地与夹板2连接，连接部41横跨整个夹板20设置。如此，可以保证当调节部42施加使夹板20趋于平坦的作用力时，夹板20的整体可以一同被掰直。可知的，当连接部41横跨整个夹板20设置时，为了避让基板200，调节件40设置在夹板20远离基板200的一侧。可以理解的是，在另一些实施例中，不排除连接部41横跨夹板20部分的情况。

连接部41的两端相对固定地连接于夹板20和/或悬挂轴12。具体地，以连接部41的两端相对固定地连接于夹板20为例进行说明，连接部41包括连接段411及分别连接于连接段411两端的两个固定段412，两个固定段412分别与夹板20沿水平方向的两端固定连接，调节部42穿通连接段411并设置在连接段411上。更具体地，固定段412通过固定螺钉43与夹板20固定连接。

参阅图3及图4，在另一个实施例中，连接部41相对固定地与悬挂轴12连接，为了节省材料，连接部41横跨夹板20的部分设置。具体地，连接部41包括连接段411及分别连接于连接段411两端的两个固定段412，两个固定段412分别与两个悬挂轴12固定连接，调节部42穿通连接段411并设置于连接段411上。

上述的夹持装置100，通过调节件40的作用，向夹板20施加了促使其趋向平坦的作用力，从而减小了夹板20的变形，保证了夹板20的平坦度，以保证了基板200与夹板20各处的贴合紧密性，从而保证了最终的蒸镀均匀性。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (13)

1.一种夹持装置，用于夹持基板，其特征在于，所述夹持装置包括：

夹板，及

调平机构，包括至少一个调节件，所述调节件被构造为可操作地作用于所述夹板，以向所述夹板施加促使其趋于平坦的作用力。

2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述调平机构沿所述夹板的厚度方向上设于所述夹板的至少一侧的边缘处。

3.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述调平机构包括至少两个所述调节件，所述至少两个调节件沿所述夹板的厚度方向上设于所述夹板的两侧。

4.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述调节件包括连接部及连接于所述连接部的调节部；所述连接部相对固定地连接于所述夹板，所述调节部用于可操作地向所述夹板施加所述作用力。

5.根据权利要求4所述的夹持装置，其特征在于，所述调节部被构造为可操作地抵接于所述夹板沿厚度方向上的一侧。

6.根据权利要求5所述的夹持装置，其特征在于，所述调节部包括至少两个。

7.根据权利要求6所述的夹持装置，其特征在于，所述至少两个调节部沿所述连接部的延伸方向间隔设置。

8.根据权利要求4所述的夹持装置，其特征在于，所述调节部与所述连接部螺纹连接，所述调节部相对所述夹板轴向固定且周向可转地连接于所述夹板。

9.根据权利要求4所述的夹持装置，其特征在于，所述调节部与所述夹板螺纹连接，所述调节部相对所述连接部轴向固定且周向可转地连接于所述连接部。

10.根据权利要求4-9任一项所述的夹持装置，其特征在于，所述连接部的两端相对固定地连接于所述夹板。

11.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述夹持装置还包括悬挂机构，所述调节件包括连接部及连接于所述连接部的调节部，所述连接部相对固定地连接于所述悬挂机构。

12.根据权利要求11所述的夹持装置，其特征在于，所述连接部的两端相对固定地连接于所述悬挂机构。

13.根据权利要求12所述的夹持装置，其特征在于，所述连接部的两端相对固定地连接于所述悬挂机构和所述夹板。

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