CN110512184B - 基板夹持装置及蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供了一种基板夹持装置及蒸镀设备，该基板夹持装置包括：夹持板，包括第一表面及第一表面的四个侧边；多个支撑单元，夹持板的每一侧边上对应设置一个支撑单元，每一支撑单元包括沿该支撑单元所对应的侧边的延伸方向、依次间隔设置的多个支撑杆，支撑杆与夹持板之间在垂直于第一表面的方向上保持预定距离；在支撑杆的面向夹持板的一侧，和/或第一表面上对应各支撑杆的位置设置凹凸结构，凹凸结构用于使得支撑杆与夹持板之间形成支撑间隙，支撑间隙在第一方向上的宽度与凹凸结构在第一方向上的高度之和等于预定距离。本发明能够使基板与掩膜版的下垂方向、下垂量也会更大程度地保持一致，改善基板与掩膜版贴合状态不好的现象。

Description

基板夹持装置及蒸镀设备

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种基板夹持装置及蒸镀设备。

背景技术

在OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)器件生产过程中，Tact Time(节拍时间)是提高产能的重要参数之一，Align(校直)次数是影响Tact Time的一个因素，在整体蒸镀工艺时间中占据着重要地位。Align次数越多，对位时间将越长，整条生产线的Tact Time将越大，设备单耗就会增大，所以，如何降低Align次数对缩短TactTime至关重要。而影响Align次数的因素也有很多，包括：设备的磨损、平坦度不好、FingerGap(支撑间隙)不合适等多方面因素。

其中，蒸镀设备中通过基板夹持装置来夹持基板，基板夹持装置包括冷却板(Cooling Plate)和多根支撑杆(Finger)，多根支撑杆沿冷却板的边缘依次间隔排列，Finger Gap指的是Aligner(直线性校准器)在Contact位置(设备运动到支撑杆与冷却板接触接触的位置)时，支撑杆与冷却板之间的间隙，Finger Gap大于基板厚度时，承载玻璃时会起到支撑作用，小于基板厚度时，在承载玻璃时起到夹紧玻璃的作用。

目前，蒸镀时基板与掩膜版会进行贴合蒸镀，如果掩膜版与基板的下垂量不相同，就会导致基板对应不同掩膜版位置呈现的偏移情况(PPA)不同，从而导致不同位置发生的不良情况也不相同。在目前生产中经常发生局部位置发生边缘混色，条混等混色类不良，经过调查均与PPA偏移相关，PPA偏移是由于掩膜版与基板贴合状态不好导致。

对于长短边不同的基板来说，长边的下垂量会大于短边的下垂量，在相关技术中通常都是采用基板短边夹紧的方式来夹持基板，例如，在基板的短边对应一侧，设计FingerGap相同且均小于基板厚度，这样，可以更大程度保持基板与掩膜版下垂方向一致，使得掩膜版和基板在蒸镀时下垂量尽可能一致，以保证产品的Uni和PPA的稳定性。但是即使这样，仍然存在由于掩膜版与基板下垂量不同，导致两者贴合程度不同，尤其是，基板与掩膜版中间位置贴合好，两端贴合不好，从而导致不同位置呈现的PPA也不相同，引起混色不良。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板夹持装置及蒸镀设备，可以改善掩膜版与基板下垂量不同而贴合状态不好的现象，从而改善混色不良问题。

本发明所提供的技术方案如下：

本发明实施例一方面提供一种基板夹持装置，包括：

夹持板，所述夹持板包括第一表面及所述第一表面的四个侧边；

及，多个支撑单元，所述夹持板的每一所述侧边上对应设置一个所述支撑单元，每一所述支撑单元包括沿该支撑单元所对应的侧边的延伸方向、依次间隔设置的多个支撑杆，所述支撑杆与所述夹持板之间在垂直于所述第一表面的方向上保持预定距离；

其中，在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧，和/或所述第一表面上对应各所述支撑杆的位置设置凹凸结构，所述凹凸结构用于使得所述支撑杆与所述夹持板之间形成支撑间隙，

其中所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度与所述凹凸结构在所述第一方向上的高度之和等于所述预定距离。

示例性的，每一所述支撑单元包括位于该支撑单元所对应的侧边的两端位置上的两个端部支撑杆、及位于两个所述端部支撑杆之间的多个中部支撑杆，

每一所述支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度均小于或者等于所述基板的厚度。

示例性的，所述支撑单元中各所述中部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度均相同，各所述中部支撑杆所对应的所述凹凸结构在所述第一方向上的高度均相同；

或者，所述支撑单元中各所述中部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度由该支撑单元对应的侧边的中心向两端逐渐变化，各所述中部支撑杆所对应的所述凹凸结构在所述第一方向上的高度由该支撑单元对应的侧边的中心向两端呈阶梯状变化。

示例性的，所述夹持板的四个侧边包括两个长边和两个短边，所述长边所对应的支撑单元为长边支撑单元，所述短边所对应的支撑单元为短边支撑单元；

所述长边支撑单元中，各所述中部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度均相同，且均大于或等于所述基板的厚度，各所述中部支撑杆所对应的所述凹凸结构在所述第一方向上的高度均相同；

所述凹凸结构设置在所述夹持板的所述第一表面上时，所述短边支撑单元中，各所述中部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度，均小于所述端部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度，并从该短边的中心向两端逐渐增大；多个所述支撑杆在所述第一方向上的高度呈阶梯状变化，并从该短边的中心向两端逐渐减小；

所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧时，所述短边支撑单元中，各所述中部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度，均大于所述端部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度，并从该短边的中心向两端逐渐减小，多个所述支撑杆在所述第一方向上的高度呈阶梯状变化，从该短边的中心向两端逐渐增大。

示例性的，所述基板的厚度为0.1～0.5mm；

所述长边支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度小0.05～025mm，各所述中部支撑杆对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度大0.05～0.15mm；

所述凹凸结构设置在所述夹持板的所述第一表面上时，所述短边支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度小0.05～0.25mm，各所述中部支撑杆对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度并从该短边的中心向两端以0.05mm的差值递增，多个所述支撑杆在所述第一方向上的高度以0.05mm的差值呈阶梯状变化，，并从该短边的中心向两端逐渐减小；

所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧时，所述短边支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度小0.05～0.25mm，各所述中部支撑杆对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度并从该短边的中心向两端以0.05mm的差值递减，多个所述支撑杆在所述第一方向上的高度以0.05mm的差值呈阶梯状变化，从该短边的中心向两端逐渐增大。

示例性的，所述长边支撑单元包括7个支撑杆，其中2个端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.3mm，5个中部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.6mm；

所述凹凸结构设置在所述夹持板的所述第一表面上时，所述短边支撑单元包括5个支撑杆，其中2个端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.3mm，3个中部支撑杆中位于短边中心位置处的中心支撑杆所对应的支撑间隙为0.2mm，位于该中心支撑杆相对两侧的其他2个中部支撑杆所对应的支撑间隙为0.25mm；

所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧时，所述短边支撑单元包括5个支撑杆，其中2个端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.3mm，3个中部支撑杆中位于短边中心位置处的中心支撑杆所对应的支撑间隙为0.4mm，位于该中心支撑杆相对两侧的其他2个中部支撑杆所对应的支撑间隙为0.35mm。

示例性的，每一所述支撑单元包括位于该支撑单元所对应的侧边的两端位置上的两个端部支撑杆、及位于两个所述端部支撑杆之间的多个中部支撑杆，所述夹持板的四个侧边包括两个长边和两个短边，所述长边所对应的支撑单元为长边支撑单元，所述短边所对应的支撑单元为短边支撑单元；

其中，所述凹凸结构设置在所述夹持板的所述第一表面上时，所述长边支撑单元中各支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度均大于或等于所述基板的厚度，且从所述长边的中心向两端逐渐增大，多个所述支撑杆所对应的多个凹凸结构在所述第一方向上的高度呈阶梯状变化，从该长边的中心向两端逐渐减小；

所述短边支撑单元中各支撑杆所对应的所述支撑间隙均小于或等于所述基板的厚度，且从所述短边的中心向两端逐渐增大，多个所述支撑杆所对应的多个凹凸结构在所述第一方向上的高度呈阶梯状变化，从该短边的中心向两端逐渐减小；

所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧上时，所述长边支撑单元中各支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度均大于或等于所述基板的厚度，且从所述长边的中心向两端逐渐减小，多个所述支撑杆所对应的多个凹凸结构在所述第一方向上的高度呈阶梯状变化，从该长边的中心向两端逐渐增大；

所述短边支撑单元中各支撑杆所对应的所述支撑间隙均小于或等于所述基板的厚度，且从所述短边的中心向两端逐渐减小，多个所述支撑杆所对应的多个凹凸结构在所述第一方向上的高度呈阶梯状变化，从该短边的中心向两端逐渐增大。

示例性的，所述基板的厚度为0.5mm；

所述长边支撑单元中，端部支撑杆对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.6mm，多个中部支撑杆中位于长边中心位置的中部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.75mm；

所述短边支撑单元中，端部支撑杆对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.3mm，多个中部支撑杆中位于短边中心位置的中部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.4mm。

示例性的，所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧上时，

所述长边支撑单元包括7个支撑杆，7个支撑杆从长边的一端至另一端，各所述支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度依次为0.6mm、0.65mm、0.7mm、0.75mm，0.7mm、0.65mm、0.6mm；

所述短边支撑单元包括5个支撑杆，5个支撑杆从短边的一端至另一端，各所述支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度依次为0.3mm、0.35mm、0.4mm、0.35mm、0.3mm。

一种蒸镀设备，包括如上所述的基板夹持装置。

本发明所带来的有益效果如下：

本发明实施例所提供的基板夹持装置及蒸镀设备，通过将支撑杆或者所述夹持板中的至少一个上设置凹凸结构，可根据基板的下垂状态，通过该凹凸结构的高度值不同，改变支撑间隙大小，以使得基板的夹持固定方式相对现有技术中的固定方式发生变化，使得该基板的夹持固定方式与掩膜版张网固定方式受力状态更为接近，以使得基板与掩膜版的下垂方向、下垂量也会更大程度地保持一致，从而改善基板与掩膜版贴合状态不好的现象，以改善由此引起的混色不良。

附图说明

图1表示现有技术中基板与掩膜版贴合不良的示意图；

图2表示本发明实施例提供的基板夹持装置的结构示意图；

图3表示图2中A-A向结构示意图；

图4表示本发明实施例提供的基板夹持装置中在支撑杆上设置凹凸结构时的结构示意图。

具体实施方式

为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

针对现有技术中在蒸镀时基板与掩膜版存在贴合状态不好而产生混色不良的问题，本发明实施例提供了一种基板夹持装置及蒸镀设备，可以改善掩膜版与基板下垂量不同而贴合状态不好的现象，从而改善混色不良问题。

在对本发明实施例提供的基板夹持装置进行说明之前，有必要对现有技术中蒸镀设备内的基板夹持装置进行更为详细的说明，以便于更好地理解本发明。

图1所示为现有技术中蒸镀设备内基板夹持装置的结构示意图。如图1所示，在现有技术中基板通过冷却板1和支撑杆2配合夹持基板3，沿冷却板1的四个侧边依次间隔排列多个支撑杆3，在支撑杆2与冷却板1之间形成间隙，基板3的四周边缘可夹持在间隙内。间隙小于基板3厚度时，可夹紧基板3，间隙大于基板3厚度时，则支撑杆2起到支撑作用。

在现有技术中，仅夹持住基板的短边或者长边，另一边则仅仅是支撑作用，例如，如图1所示，这样会导致基板3与掩膜版4中间位置贴合好，两端贴合不好，而出现混色等不良。

如图2至图4所示，本发明实施例所提供的基板夹持装置包括：

夹持板100，所述夹持板100包括第一表面及所述第一表面的四个侧边；

及，多个支撑单元，所述夹持板100的每一所述侧边上对应设置一个所述支撑单元，每一所述支撑单元包括沿该支撑单元所对应的侧边的延伸方向、依次间隔设置的多个支撑杆200，所述支撑杆200与所述夹持板100之间在垂直于所述第一表面的方向上保持预定距离H；

其中，在所述支撑杆200的面向所述夹持板100的一侧，和/或所述第一表面上对应各所述支撑杆200的位置设置凹凸结构300，所述凹凸结构300用于使得所述支撑杆200与所述夹持板100之间形成支撑间隙A，其中所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d与所述凹凸结构300在所述第一方向上的高度h之和等于所述预定距离H。

本发明实施例所提供的基板夹持装置，通过在支撑杆200或者所述夹持板100中的至少一个上设置凹凸结构300，该凹凸结构300可使得支撑杆200与夹持板100之间形成支撑间隙A，例如，当在支撑杆200面向夹持板100的一侧设置凹凸结构300时，该凹凸结构300与夹持板100之间的间隙即为所述支撑间隙A，当在夹持板100的第一表面上对应各支撑杆200的位置上设置凹凸结构300时，该凹凸结构300与所述支撑杆200之间的间隙即为所述支撑间隙A，可根据基板10的下垂状态，通过设计该凹凸结构300的高度h值不同，可改变所述支撑间隙A的大小，以使得基板10的夹持固定方式相对现有技术中的固定方式发生变化，例如，可使得基板10长边和短边的支撑间隙A结构不同，最终使得该基板10的夹持固定方式与掩膜版张网固定方式受力状态更为接近，以使得基板10与掩膜版20的下垂方向、下垂量也会更大程度地保持一致，从而改善基板10与掩膜版20贴合状态不好的现象，以改善由此引起的混色不良。

需要说明的是，所述凹凸结构300可设置在所述支撑杆200的面向所述夹持板100的一侧，也可以设置在所述夹持板100的第一表面上，或者，还可以是所述支撑杆200和所述夹持板100上均设置凹凸结构300。

需要说明的是，所述凹凸结构300用于使得所述支撑杆200与所述夹持板100之间形成支撑间隙A，所指的是，所述凹凸结构300设置在所述支撑杆200的面向所述夹持板100的一侧时，所述凹凸结构300与所述夹持板100之间的间隙即为所述支撑间隙A；所述凹凸结构300设置在所述夹持板100的第一表面上时，所述凹凸结构300与所述支撑杆200之间的间隙即为所述支撑间隙A。以下对本发明实施例提供的基板夹持装置进行更为详尽的说明。

在一种示例性的实施例中，所述基板夹持装置采用基板10四角夹紧固定方式来夹持基板10。

例如，每一所述支撑单元包括位于该支撑单元所对应的侧边的两端位置上的两个端部支撑杆200a、及位于两个所述端部支撑杆200a之间的多个中部支撑杆200b，每一所述支撑单元中，所述端部支撑杆200a所对应的所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d均小于或者等于所述基板10的厚度。

采用上述方案，四个侧边所对应的四个支撑单元中，在每一侧边的两端位置，每一支撑单元的两个端部支撑杆200a所对应的支撑间隙A均小于或等于基板10的厚度，也就是说，如图2所示，基板10的四个角上的8个端部支撑杆200a对应的支撑间隙A均小于或等于基板10的厚度，以基板10的厚度为0.5mm为例，端部支撑杆200a对应的支撑间隙A可选＜0.5mm的任意值，例如，0.3mm。这样，8个端部支撑杆200a所对应的支撑间隙A均起到夹紧基板10的作用，也就是说，基板10的四个角均被夹紧固定，相较于现有技术中仅固定单边的方式，与掩膜版20张网受力更为接近，因此，可以使整张基板10下垂程度更接近掩膜版20的下垂程度，从而改善掩膜版20与基板10下垂量不同而贴合状态不好的现象。

在本示例性的实施例中，每一所述支撑单元中，各所述中部支撑杆200b所对应的所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d均相同，相应地，各所述中部支撑杆200b所对应的所述凹凸结构300在所述第一方向上的高度h均相同。

或者，在本示例性的实施例中，所述支撑单元中各所述中部支撑杆200b所对应的所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d由该支撑单元对应的侧边的中心向两端逐渐变化，相应地，各所述中部支撑杆200b所对应的所述凹凸结构300在所述第一方向上的高度h由该支撑单元对应的侧边的中心向两端呈阶梯状变化。

采用上述方案，基板10的四角被夹紧固定，各侧边上的中部支撑杆200b所对应的支撑间隙A可以完全相同，也可以是不同，其中，以基板10的厚度为0.5mm为例，中部支撑杆200b所对应的支撑间隙A可任意选0-1mm范围内的值。

以下说明本实施例中较为优选的几种实施方式。

在一种实施方式中，较为优选的，所述夹持板100的四个侧边包括两个长边和两个短边，所述长边所对应的支撑单元为长边支撑单元，所述短边所对应的支撑单元为短边支撑单元；

所述长边支撑单元中，各所述中部支撑杆200b所对应的所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d均相同，且均大于或等于所述基板10的厚度，各所述中部支撑杆200b所对应的所述凹凸结构300在所述第一方向上的高度h均相同；

如图3所示，所述凹凸结构设置在所述夹持板的所述第一表面上，所述短边支撑单元中，各所述中部支撑杆200b所对应的所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d，均小于所述端部支撑杆200a所对应的所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d，并从该短边的中心向两端逐渐增大，多个所述支撑杆200所对应的多个凹凸结构300关于所述短边的中心对称分布，且在所述第一方向上的高度h呈阶梯状变化，并从该短边的中心向两端逐渐减小。

采用上述方案，在基板10四角夹紧固定的同时，基板10的长边和短边的支撑间隙A不同，其中，长边支撑单元中的中部支撑杆200b所对应的支撑间隙A的宽度d均相同，均大于或等于基板10的厚度；

而短边支撑单元中，所述凹凸结构设置在所述夹持板的第一表面上，中部支撑杆200b所对应的支撑间隙A的宽度d则从短边的中心向两端逐渐增大，这样，所述短边支撑单元中，各所述支撑杆上的凹凸结构与支撑杆配合，而呈一种使得基板中部向下凹的支撑状态，使得基板10大致的下垂量与掩模板比较接近，并且，由于在现有技术中，基板10长边的下垂量大于短边的下垂量，且如图所示，基板10与掩膜版20的中部贴合好，两端贴合不好，因此，将基板10短边夹紧，且短边的支撑间隙A由短边中心向两端逐渐增大，而长边则仅夹紧两端，中部不夹紧，这样，可使得基板10的下垂状态改变，相较于现有技术中更有利于基板10与掩膜版20两端贴合，以改善两者贴合不好的现象。

在另一种实施方式中，较为优选的，所述夹持板100的四个侧边包括两个长边和两个短边，所述长边所对应的支撑单元为长边支撑单元，所述短边所对应的支撑单元为短边支撑单元；

所述长边支撑单元中，各所述中部支撑杆200b所对应的所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d均相同，且均大于或等于所述基板10的厚度，各所述中部支撑杆200b所对应的所述凹凸结构300在所述第一方向上的高度h均相同；

如图4所示，所述凹凸结构设置在所述支撑杆上，所述短边支撑单元中，各所述中部支撑杆200b所对应的所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d，均小于所述端部支撑杆200a所对应的所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d，并从该短边的中心向两端逐渐减小，多个所述支撑杆200所对应的多个凹凸结构300关于所述短边的中心对称分布，且在所述第一方向上的高度h呈阶梯状变化，并从该短边的中心向两端逐渐增大。

采用上述方案，在基板10四角夹紧固定的同时，基板10的长边和短边的支撑间隙A不同，其中，长边支撑单元中的中部支撑杆200b所对应的支撑间隙A的宽度d均相同，均大于或等于基板10的厚度；

而短边支撑单元中，所述凹凸结构设置在所述支撑杆上，中部支撑杆200b所对应的支撑间隙A的宽度d则从短边的中心向两端逐渐增大，中部支撑杆200b的高度则相应从短边的中心向两侧逐渐增大，这样，所述短边支撑单元中，各所述支撑杆上的凹凸结构与夹持板配合，而呈一种使得基板中部向下凹的支撑状态，使得基板10大致的下垂量与掩模板比较接近，并且，由于在现有技术中，基板10长边的下垂量大于短边的下垂量，且如图所示，基板10与掩膜版20的中部贴合好，两端贴合不好，因此，将基板10短边夹紧，且短边的支撑间隙A由短边中心向两端逐渐增大，而长边则仅夹紧两端，中部不夹紧，这样，可使得基板10的下垂状态改变，相较于现有技术中更有利于基板10与掩膜版20两端贴合，以改善两者贴合不好的现象。

示例性的，所述基板的厚度为0.1～0.5mm；

所述长边支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度小0.05～025mm，各所述中部支撑杆对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度大0.05～0.15mm；

所述凹凸结构设置在所述夹持板的所述第一表面上时，所述短边支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度小0.05～0.25mm，各所述中部支撑杆对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度并从该短边的中心向两端以0.05mm的差值递增，多个所述支撑杆在所述第一方向上的高度以0.05mm的差值呈阶梯状变化，，并从该短边的中心向两端逐渐减小；

所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧时，所述短边支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度小0.05～0.25mm，各所述中部支撑杆对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度并从该短边的中心向两端以0.05mm的差值递减，多个所述支撑杆在所述第一方向上的高度以0.05mm的差值呈阶梯状变化，从该短边的中心向两端逐渐增大。

在本实施例中，以所述基板10的厚度为0.5mm为例，所述长边支撑单元中，所述端部支撑杆200a所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d为0.3mm，各所述中部支撑杆200b对应的所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d为0.6mm；

所述凹凸结构设置在所述夹持板的第一表面上时，所述短边支撑单元中，所述端部支撑杆200a所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d为0.3mm，各所述中部支撑杆200b对应的所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d并从该短边的中心向两端以0.05mm的差值递增，多个所述支撑杆200所对应的多个凹凸结构300关于所述短边的中心对称，且在所述第一方向上的高度h以0.05mm的差值呈阶梯状变化，并从该短边的中心向两端逐渐减小；

所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧时，所述短边支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.3mm，各所述中部支撑杆对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度并从该短边的中心向两端以0.05mm的差值递减，多个所述支撑杆所对应的多个凹凸结构关于所述短边的中心对称，且在所述第一方向上的高度以0.05mm的差值呈阶梯状变化，从该短边的中心向两端逐渐增大。

以上提供了一种四角夹紧固定基板10时，长边支撑单元和短边支撑单元的支撑间隙A的较为优选的实施方式，为了便于理解，以下提供一种示例性的更为详细的实施例。

示例性的，所述长边支撑单元包括7个支撑杆200，其中2个端部支撑杆200a所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d为0.3mm，5个中部支撑杆200b所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d为0.6mm；

所述凹凸结构设置在所述夹持板的所述第一表面上时，所述短边支撑单元包括5个支撑杆200，其中2个端部支撑杆200a所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d为0.3mm，3个中部支撑杆200b中位于短边中心位置处的中心支撑杆200所对应的支撑间隙A为0.2mm，位于该中心支撑杆200相对两侧的其他2个中部支撑杆200b所对应的支撑间隙A为0.25mm；

所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧时，所述短边支撑单元包括5个支撑杆，其中2个端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.3mm，3个中部支撑杆中位于短边中心位置处的中心支撑杆所对应的支撑间隙为0.4mm，位于该中心支撑杆相对两侧的其他2个中部支撑杆所对应的支撑间隙为0.35mm。

采用上述方案，以长边支撑单元包括7个支撑杆200，短边支撑单元包括5个支撑杆200为例，所述长边支撑单元中7个支撑杆200从长边的一端至另一端，各所述支撑杆200所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d依次为0.3mm、0.6mm、0.6mm、0.6mm，0.6mm、0.6mm、0.3mm；所述凹凸结构设置在所述夹持板的所述第一表面上时，所述短边支撑单元中5个支撑杆200从短边的一端至另一端，各所述支撑杆200所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d依次为0.3mm、0.25mm、0.2mm、0.25mm、0.3mm；

所述凹凸结构设置在所述支撑杆上时，所述短边支撑单元中5个支撑杆200从短边的一端至另一端，各所述支撑杆200所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d依次为0.3mm、0.35mm、0.4mm、035mm、0.3mm。

需要说明的是，在上述实施例中，所述长边支撑单元中的各支撑杆关于长边的中心对称，相邻两个支撑杆之间的间隙相同，在实际应用中，所述长边支撑单元中的各支撑杆也可以为不对称结构，不同位置处的支撑杆间距也可以不相同。

在本发明所提供的另一种示例性的实施例中，所述基板夹持装置还可以采用单边支撑固定方式来夹持基板10，也就是，仅夹紧长边或仅夹紧短边。

以下对本示例性实施例进行详细的说明。

在本示例性的实施例中，所述夹持板100的四个侧边包括两个长边和两个短边，所述长边所对应的支撑单元为长边支撑单元，所述短边所对应的支撑单元为短边支撑单元；其中，

所述凹凸结构设置在所述夹持板的所述第一表面上，所述长边支撑单元中，各支撑杆200所对应的所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d均大于或等于所述基板10的厚度，且从所述长边的中心向两端逐渐增大，多个所述支撑杆200所对应的多个凹凸结构300关于所述长边的中心对称，且在所述第一方向上的高度h呈阶梯状变化，从该长边的中心向两端逐渐减小；

所述短边支撑单元中，各支撑杆200所对应的所述支撑间隙A均小于或等于所述基板10的厚度，且从所述短边的中心向两端逐渐增大，多个所述支撑杆200所对应的多个凹凸结构300关于所述短边的中心对称，且在所述第一方向上的高度h呈阶梯状变化，从该短边的中心向两端逐渐减小。

采用上述方案，在基板10短边夹紧固定时，基板10的长边和短边的支撑间隙A不同，其中，所述凹凸结构设置在所述夹持板的第一表面上，所述长边支撑单元中各支撑杆200所对应的所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d均大于或等于所述基板10的厚度，且从所述长边的中心向两端逐渐增大；所述短边支撑单元中各支撑杆200所对应的所述支撑间隙A均小于或等于所述基板10的厚度，且从所述短边的中心向两端逐渐增大。

这是由于在现有技术中，基板10长边的下垂量大于短边的下垂量，且如基板10与掩膜版20的中部贴合好，两端贴合不好，因此，将基板10短边夹紧，且短边的支撑间隙A由短边中心向两端逐渐增大，而长边则不夹紧，这样，可使得基板10的下垂状态改变，相较于现有技术中更有利于基板10与掩膜版20两端贴合，以改善两者贴合不好的现象。

在本示例性的另一实施例中，所述夹持板100的四个侧边包括两个长边和两个短边，所述长边所对应的支撑单元为长边支撑单元，所述短边所对应的支撑单元为短边支撑单元；其中，

所述凹凸结构设置在所述支撑杆上，所述长边支撑单元中，各支撑杆200所对应的所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d均大于或等于所述基板10的厚度，且从所述长边的中心向两端逐渐减小，多个所述支撑杆200所对应的多个凹凸结构300关于所述长边的中心对称，且在所述第一方向上的高度h呈阶梯状变化，从该长边的中心向两端逐渐增大；

所述短边支撑单元中，各支撑杆200所对应的所述支撑间隙A均小于或等于所述基板10的厚度，且从所述短边的中心向两端逐渐减小，多个所述支撑杆200所对应的多个凹凸结构300关于所述短边的中心对称，且在所述第一方向上的高度h呈阶梯状变化，从该短边的中心向两端逐渐增大。

采用上述方案，在基板10短边夹紧固定时，基板10的长边和短边的支撑间隙A不同，其中，所述凹凸结构设置在所述夹持板的第一表面上，所述长边支撑单元中各支撑杆200所对应的所述支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d均大于或等于所述基板10的厚度，且从所述长边的中心向两端逐渐减小；所述短边支撑单元中各支撑杆200所对应的所述支撑间隙A均小于或等于所述基板10的厚度，且从所述短边的中心向两端逐渐减小。

这是由于在现有技术中，基板10长边的下垂量大于短边的下垂量，且如基板10与掩膜版20的中部贴合好，两端贴合不好，因此，将基板10短边夹紧，且短边的支撑间隙A由短边中心向两端逐渐减小，而长边则不夹紧，这样，可使得基板10的下垂状态改变，相较于现有技术中更有利于基板10与掩膜版20两端贴合，以改善两者贴合不好的现象。本实施例中，示例性的，所述基板10的厚度为0.5mm；所述长边支撑单元中，端部支撑杆200a对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d为0.6mm，多个中部支撑杆200b中位于长边中心位置的中部支撑杆200b所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d为0.75mm；所述短边支撑单元中，端部支撑杆200a对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d为0.3mm，多个中部支撑杆200b中位于短边中心位置的中部支撑杆200b所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d为0.4mm。

以上提供了一种单边夹紧固定基板10时，长边支撑单元和短边支撑单元的支撑间隙A的较为优选的实施方式，为了便于理解，以下提供一种示例性的实施例。

所述长边支撑单元包括7个支撑杆200，所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧上，7个支撑杆200从长边的一端至另一端，各所述支撑杆200所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d依次为0.6mm、0.65mm、0.7mm、0.75mm，0.7mm、0.65mm、0.6mm；所述短边支撑单元包括5个支撑杆200，5个支撑杆200从短边的一端至另一端，各所述支撑杆200所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d依次为0.3mm、0.35mm、0.4mm、0.35mm、0.3mm。

采用上述方案，可有效改善基板10与掩膜版20中间贴合好，两端贴合不好的现象，以改善混色不良等问题。

应当理解的是，在其他实施例中，并不局限于以上支撑间隙A的数据，在实际应用中，可根据基板10的厚度等参数不同，合理设计凹凸结构300，以调节支撑间隙A的大小。

例如，在另一种实施例中，所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧上，所述长边支撑单元包括7个支撑杆200，7个支撑杆200从长边的一端至另一端，各所述支撑杆200所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d依次为0.6mm、0.65mm、0.7mm、0.75mm，0.7mm、0.65mm、0.6mm；所述短边支撑单元包括5个支撑杆200，5个支撑杆200从短边的一端至另一端，各所述支撑杆200所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d依次为0.2mm、0.25mm、0.3mm、0.25mm、0.2mm。

例如，在另一种实施例中，所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧上，所述长边支撑单元包括7个支撑杆200，7个支撑杆200从长边的一端至另一端，各所述支撑杆200所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d依次为0.7mm、0.75mm、0.8mm、0.85mm，0.8m、0.75mm、0.7mm；所述短边支撑单元包括5个支撑杆200，5个支撑杆200从短边的一端至另一端，各所述支撑杆200所对应的支撑间隙A在所述第一方向上的宽度d依次为0.3mm、0.4mm、0.5mm、0.4mm、0.3mm。

在此，对于所述支撑间隙A的具体数值不再列举。

此外，需要说明的是，在本实施例提供的基板夹持装置中，所述夹持板100可以是冷却板。

本发明实施例另一方面提供一种蒸镀设备，包括本发明实施例提供的基板夹持装置。其中，需要说明的是，在本实施例提供的蒸镀设备中，所述夹持板100可以是冷却板。

以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种基板夹持装置，其特征在于，包括：

夹持板，所述夹持板包括第一表面及所述第一表面的四个侧边；

及，多个支撑单元，所述夹持板的每一所述侧边上对应设置一个所述支撑单元，每一所述支撑单元包括沿该支撑单元所对应的侧边的延伸方向、依次间隔设置的多个支撑杆，所述支撑杆与所述夹持板之间在垂直于所述第一表面的方向上保持预定距离；

其中，在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧，和/或所述第一表面上对应各所述支撑杆的位置设置凹凸结构，所述凹凸结构用于使得所述支撑杆与所述夹持板之间形成支撑间隙，

其中所述支撑间隙在第一方向上的宽度与所述凹凸结构在所述第一方向上的高度之和等于所述预定距离。

2.根据权利要求1所述的基板夹持装置，其特征在于，

每一所述支撑单元包括位于该支撑单元所对应的侧边的两端位置上的两个端部支撑杆、及位于两个所述端部支撑杆之间的多个中部支撑杆，

每一所述支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度均小于或者等于所述基板的厚度。

3.根据权利要求2所述的基板夹持装置，其特征在于，

所述支撑单元中各所述中部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度均相同，各所述中部支撑杆所对应的所述凹凸结构在所述第一方向上的高度均相同；

或者，所述支撑单元中各所述中部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度由该支撑单元对应的侧边的中心向两端逐渐变化，各所述中部支撑杆所对应的所述凹凸结构在所述第一方向上的高度由该支撑单元对应的侧边的中心向两端呈阶梯状变化。

4.根据权利要求3所述的基板夹持装置，其特征在于，

所述夹持板的四个侧边包括两个长边和两个短边，所述长边所对应的支撑单元为长边支撑单元，所述短边所对应的支撑单元为短边支撑单元；

所述长边支撑单元中，各所述中部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度均相同，且均大于或等于所述基板的厚度，各所述中部支撑杆所对应的所述凹凸结构在所述第一方向上的高度均相同；

所述凹凸结构设置在所述夹持板的所述第一表面上时，所述短边支撑单元中，各所述中部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度，均小于所述端部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度，并从该短边的中心向两端逐渐增大；多个所述支撑杆在所述第一方向上的高度呈阶梯状变化，并从该短边的中心向两端逐渐减小；

所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧时，所述短边支撑单元中，各所述中部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度，均大于所述端部支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度，并从该短边的中心向两端逐渐减小，多个所述支撑杆在所述第一方向上的高度呈阶梯状变化，从该短边的中心向两端逐渐增大。

5.根据权利要求4所述的基板夹持装置，其特征在于，

所述基板的厚度为0.1～0.5mm；

所述长边支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度小0.05～0.25mm，各所述中部支撑杆对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度大0.05～0.15mm；

所述凹凸结构设置在所述夹持板的所述第一表面上时，所述短边支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度小0.05～0.25mm，各所述中部支撑杆对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度从该短边的中心向两端以0.05mm的差值递增，多个所述支撑杆在所述第一方向上的高度以0.05mm的差值呈阶梯状变化，并从该短边的中心向两端逐渐减小；

所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧时，所述短边支撑单元中，所述端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度比所述基板的厚度小0.05～0.25mm，各所述中部支撑杆对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度从该短边的中心向两端以0.05mm的差值递减，多个所述支撑杆在所述第一方向上的高度以0.05mm的差值呈阶梯状变化，从该短边的中心向两端逐渐增大。

6.根据权利要求5所述的基板夹持装置，其特征在于，

所述长边支撑单元包括7个支撑杆，其中2个端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.3mm，5个中部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.6mm；

所述凹凸结构设置在所述夹持板的所述第一表面上时，所述短边支撑单元包括5个支撑杆，其中2个端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.3mm，3个中部支撑杆中位于短边中心位置处的中心支撑杆所对应的支撑间隙为0.2mm，位于该中心支撑杆相对两侧的其他2个中部支撑杆所对应的支撑间隙为0.25mm；

所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧时，所述短边支撑单元包括5个支撑杆，其中2个端部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.3mm，3个中部支撑杆中位于短边中心位置处的中心支撑杆所对应的支撑间隙为0.4mm，位于该中心支撑杆相对两侧的其他2个中部支撑杆所对应的支撑间隙为0.35mm。

7.根据权利要求1所述的基板夹持装置，其特征在于，

每一所述支撑单元包括位于该支撑单元所对应的侧边的两端位置上的两个端部支撑杆、及位于两个所述端部支撑杆之间的多个中部支撑杆，所述夹持板的四个侧边包括两个长边和两个短边，所述长边所对应的支撑单元为长边支撑单元，所述短边所对应的支撑单元为短边支撑单元；

其中，所述凹凸结构设置在所述夹持板的所述第一表面上时，所述长边支撑单元中各支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度均大于或等于所述基板的厚度，且从所述长边的中心向两端逐渐增大，多个所述支撑杆所对应的多个凹凸结构在所述第一方向上的高度呈阶梯状变化，从该长边的中心向两端逐渐减小；

所述短边支撑单元中各支撑杆所对应的所述支撑间隙均小于或等于所述基板的厚度，且从所述短边的中心向两端逐渐增大，多个所述支撑杆所对应的多个凹凸结构在所述第一方向上的高度呈阶梯状变化，从该短边的中心向两端逐渐减小；

所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧上时，所述长边支撑单元中各支撑杆所对应的所述支撑间隙在所述第一方向上的宽度均大于或等于所述基板的厚度，且从所述长边的中心向两端逐渐减小，多个所述支撑杆所对应的多个凹凸结构在所述第一方向上的高度呈阶梯状变化，从该长边的中心向两端逐渐增大；

所述短边支撑单元中各支撑杆所对应的所述支撑间隙均小于或等于所述基板的厚度，且从所述短边的中心向两端逐渐减小，多个所述支撑杆所对应的多个凹凸结构在所述第一方向上的高度呈阶梯状变化，从该短边的中心向两端逐渐增大。

8.根据权利要求7所述的基板夹持装置，其特征在于，

所述基板的厚度为0.5mm；

所述长边支撑单元中，端部支撑杆对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.6mm，多个中部支撑杆中位于长边中心位置的中部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.75mm；

所述短边支撑单元中，端部支撑杆对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.3mm，多个中部支撑杆中位于短边中心位置的中部支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度为0.4mm。

9.根据权利要求8所述的基板夹持装置，其特征在于，

所述凹凸结构设置在所述支撑杆的面向所述夹持板的一侧上时，

所述长边支撑单元包括7个支撑杆，7个支撑杆从长边的一端至另一端，各所述支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度依次为0.6mm、0.65mm、0.7mm、0.75mm，0.7mm、0.65mm、0.6mm；

所述短边支撑单元包括5个支撑杆，5个支撑杆从短边的一端至另一端，各所述支撑杆所对应的支撑间隙在所述第一方向上的宽度依次为0.3mm、0.35mm、0.4mm、0.35mm、0.3mm。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的基板夹持装置。

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