CN207685336U - 高精密支撑掩膜版 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高精密支撑掩膜版，包括板框、多个条形掩膜片及支撑膜网，多个条形掩膜片沿纵向依次紧贴设置，相邻两个条形掩膜片之间具有拼接间隙；每个条形掩膜片沿横向延伸且其两端焊接于板框的顶面，每个条形掩膜片上设有至少一个掩膜图案；支撑膜网位于多个条形掩膜片的下方且被固定于板框上，支撑膜网支撑多个条形掩膜片并覆盖各个拼接间隙但不遮挡各个掩膜图案。根据本实用新型实施例提供的高精密支撑掩膜版，既可以满大尺寸的玻璃基板镀膜要求，实现批量生产，提高生产效率，也可以满足显示器在批量生产过程中的良率及精度要求。此外，其使用寿命长，用户端的成本低。

Description

高精密支撑掩膜版

技术领域

本实用新型涉及掩膜版，尤其涉及一种高精密支撑掩膜版。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示器是一种自发光的显示装置。因其具有功耗低、显示亮度高、可视角度宽以及响应速度快等优点，OLED显示器越来越受到市场的欢迎。

在OLED显示器的制造技术中，真空蒸镀中的掩模版技术(例如精细金属掩膜片(Fine Metal Mask Sheet，FMM Sheet))是一项非常重要和关键的技术，直接影响OLED产品的质量和制造成本。一般的，掩膜版上具有至少一个掩膜图案，而为了批量生产加工，掩膜版上的掩膜图案为多个且呈矩阵分布，通过该掩膜版进行镀膜加工时，利用这些掩膜图案可以在玻璃基板上形成相同数量的薄膜图形，再将玻璃基板按照薄膜图形数量切割即可形成多个显示器件。

掩膜版的尺寸越大，可以对大尺寸的玻璃基板镀膜，每次批量生产加工的显示器件的数量越多，但是，掩膜版的尺寸越大，精密度难以控制，导致生产加工的显示器件的精度及分辨率达不到预期要求，不良率高。同时，由于在保证精度的前提下，不得不缩小掩膜版的尺寸，则对应的生产效率下降。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的目的在于提出一种高精密支撑掩膜版。

为实现上述目的，根据本实用新型实施例的高精密支撑掩膜版，包括：

板框；

多个条形掩膜片，多个所述条形掩膜片沿纵向依次紧贴设置，相邻两个所述条形掩膜片之间具有拼接间隙；每个所述条形掩膜片沿横向延伸且其两端焊接于所述板框的顶面，每个所述条形掩膜片上设有至少一个掩膜图案；

支撑膜网，所述支撑膜网位于多个所述条形掩膜片的下方且被固定于所述板框上，所述支撑膜网支撑多个所述条形掩膜片并覆盖各个所述拼接间隙但不遮挡各个所述掩膜图案。

根据本实用新型实施例提供的高精密支撑掩膜版，多个条形掩膜片沿纵向依次紧贴设置，相邻两个条形掩膜片之间具有拼接间隙，支撑膜网位于多个条形掩膜片的下方，该支撑膜网支撑多个条形掩膜片并覆盖各个拼接间隙但不遮挡条形膜片上的掩膜图案，如此，多个条形掩膜片拼接可以满足大尺寸的玻璃基板镀膜要求，实现批量生产，提高生产效率；而利用支撑膜网支撑条形掩膜片，使得条形掩膜片保持结构稳定，且能够提升条形掩膜片张紧在板框上的良率，同时提高了条形掩膜片的使用精度与寿命，进而满足显示器在批量生产过程中的良率及精度要求。此外，其使用寿命长，用户端的成本低。

另外，根据本实用新型上述实施例的高精密支撑掩膜版还可以具有如下附加的技术特征：

根据本实用新型的一个实施例，所述板框的顶面相对的两侧分别设有多个凹槽，多个所述凹槽沿所述板框的边沿间隔设置；所述支撑膜网上相对两侧分别形成有多个焊接部，多个所述焊接部沿所述支撑膜网的边沿间隔设置，多个所述焊接部一一对应地焊接于多个所述凹槽内。

根据本实用新型的一个实施例，所述支撑膜网的上表面与所述板框的顶面平齐。

根据本实用新型的一个实施例，所述支撑膜网包括多排网孔，多排所述网孔与多个所述条形掩膜片一一对应；

每排所述网孔中的各个网孔与对应的所述条形掩膜片上的各个掩膜图案一一对应，且所述网孔的尺寸大于所述掩膜图案的尺寸，以使所述掩膜图案完全显露在所述网孔中。

根据本实用新型的一个实施例，相邻两排所述网孔之间形成为条形支撑部，所述条形支撑部与相邻两个所述条形掩膜片的底面贴合，并覆盖相邻两个所述条形掩膜片之间的所述拼接间隙。

根据本实用新型的一个实施例，所述板框包括：

框体，所述框体的中央形成镂空区；

框沿，所述框沿环绕设置所述镂空区的外围且向上凸出，所述条形掩膜片的两端焊接于所述框沿的顶面。

根据本实用新型的一个实施例，所述支撑膜网的上表面与所述框沿的顶面平齐。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例高精密支撑掩膜版的结构示意图；

图2是本实用新型实施例高精密支撑掩膜版的分解图；

图3是本实用新型实施例高精密支撑掩膜版的俯视图；

图4是图3中A-A方向的剖视图；

图5是图4中A处的局部放大图。

附图标记：

板框10；

框体101；

凹槽1011；

镂空区P10；

框沿102；

支撑膜网20；

焊接部201；

网孔202；

条形支撑部203；

条形掩膜片30；

掩膜图案301；

拼接间隙X30。

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”“轴向”、“周向”、“径向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面参照附图详细描述本实用新型实施例的高精密支撑掩膜版。

参照图1至图5所示，根据本实用新型实施例提供的高精密支撑掩膜版，包括板框10、多个条形掩膜片30、及支撑膜网20。

多个所述条形掩膜片30沿纵向依次紧贴设置，相邻两个所述条形掩膜片30之间具有拼接间隙X30；每个所述条形掩膜片30沿横向延伸且其两端焊接于所述板框10的顶面，每个所述条形掩膜片30上设有至少一个掩膜图案301。

也就是说，多个条形掩膜片30沿纵向依次紧贴，并且，每个条形掩膜片30的两端焊接于板框10的顶面，如此，多个条形掩膜片30可以形成平面拼接结构。

需要说明的是，尽管多个条形掩膜片30是依次紧贴的，但是，由于条形掩膜片30的加工精度及装配误差等诸多因素限制，所以，相邻两个条形掩膜片30之间仍然存在拼接间隙X30。

此外，条形掩膜片30的尺寸及数量可以根据待镀膜的玻璃基板的尺寸等配置，例如，当该高精密支撑掩膜版用于为较大尺寸的玻璃基板镀膜时，可以配置更多数量的条形掩膜版，而当该高精密支撑掩膜版用于为较小的尺寸玻璃基板镀膜时，可以配置的相对较少数量的条形掩膜片30。

支撑膜网20位于多个所述条形掩膜片30的下方且被固定于所述板框10上，所述支撑膜网20支撑多个所述条形掩膜片30并覆盖各个所述拼接间隙X30但不遮挡各个所述掩膜图案301。

也就是说，支撑膜网20是固定板框10上且位于条形掩膜片30下方的，该支撑膜网20具有两个方面的作用，其一，该支撑膜网20可以支撑条形掩膜片30，由于条形掩膜片30在自身重力作用下会向下垂，尤其是对于大尺寸的掩膜版，由于尺寸较大，对应的，条形掩膜片30的长度较长，则其条形掩膜片30更容易出现由于重力下垂，所以，通过该支撑膜网20支撑条形掩膜片30，可以使得条形掩膜片30保持水平，进而提高其精密度；其二、该支撑膜网20可以覆盖住各个拼接间隙X30，由于在镀膜过程中，在拼接间隙X30存在时，则气相的发光材料可以通过拼接间隙X30被镀至基材上，造成产品不良，所以，通过该支撑膜网20覆盖住各个拼接间隙X30，则可以保证在镀膜过程中，气相的发光材料有且只能通过掩膜图案301镀至基材上，保证产品可靠有效地镀膜。

根据本实用新型实施例提供的高精密支撑掩膜版，多个条形掩膜片30沿纵向依次紧贴设置，相邻两个条形掩膜片30之间具有拼接间隙X30，支撑膜网20位于多个条形掩膜片30的下方，该支撑膜网20支撑多个条形掩膜片30并覆盖各个拼接间隙X30但不遮挡条形膜片上的掩膜图案301，如此，多个条形掩膜片30拼接可以满足大尺寸的玻璃基板镀膜要求，实现批量生产，提高生产效率；而利用支撑膜网20支撑条形掩膜片30，使得条形掩膜片30保持结构稳定，且能够提升条形掩膜片张紧在板框上的良率，同时提高了条形掩膜片的使用精度与寿命，进而满足显示器在批量生产过程中的良率及精度要求。此外，其使用寿命长，用户端的成本低。

示例性的，在图1示例中，多个条形掩膜片30沿纵向依次紧贴设置，条形掩膜片30的两端焊接于板框10横向的两侧，支撑膜网20的两侧边沿固定于板框10纵向的两侧。

可以理解的是，多个条形掩膜片30也可以沿横向依次紧贴设置，条形掩膜片30的两端也焊接于板框10纵向的两侧，支撑膜网20的两侧边沿固定于板框10横向的两侧。

需要说明的是，本申请的实用新型人发现，也可以通过在多个条形膜片下方设置多个支撑条，每个支撑条对应覆盖一个拼接间隙X30，这种方式在一定程度也能够对条形掩膜片30起到支撑作用，同时，也可以覆盖拼接间隙X30。然而，本申请人的实用新型人通过一段时间的实验发现，这种方式仍然存在一定的缺陷：例如多个支撑条难以保持在同一平面，进而，使得其支撑的各个条形掩膜片30也难以保持在同一平面，进而其掩膜版的精密度无法保证。此外，多个支撑条其支撑效果较长，其支撑的多个条形掩膜片30的稳定性相对于支撑膜网20较差，尤其是各个条形掩膜片30上越靠近中间的位置，仍然存在相对较大的下垂。

参照图2所示，在本实用新型的一个实施例中，板框10的顶面相对的两侧分别设有多个凹槽1011，多个所述凹槽1011沿所述板框10的边沿间隔设置；所述支撑膜网20上相对两侧分别形成有多个焊接部201，多个所述焊接部201沿所述支撑膜网20的边沿间隔设置，多个所述焊接部201一一对应地焊接于多个所述凹槽1011内。

也就是说，板框10的顶面的一侧设有多个凹槽1011，板框10的顶面的另一侧也设有多个凹槽1011，对应的，支撑膜网20上相对的一侧形成有多个焊接部201，支撑膜网20上相对的另一侧也形成有多个焊接部201，并且，支撑膜网20上相对的所述一侧的多个焊接部201焊接于板框10的顶面的所述一侧的多个凹槽1011内，支撑膜网20上相对的所述另一侧的多个焊接部201焊接于板框10的顶面的所述另一侧的多个凹槽1011内，如此，方便于将支撑膜网20固定至板框10上，且可以利用凹槽1011进行定位，确保可支撑膜网20更加稳固可靠。同时，利用多个焊接部201位置的张力使得支撑膜网20张紧而保持水平，提高条形掩膜片30的精密度。

更为有利的，支撑膜网20的上表面与所述板框10的顶面平齐，如此，一方面，支撑膜网20的焊接位置不会对条形掩膜片30造成阻碍，方便于条形掩膜片30的两端焊接至板框10的顶面；另一方面，当条形掩膜片30焊接至板框10的顶面时，则条形掩膜片30的底面刚好与支撑膜网20的顶面贴合，如此，可以利用支撑膜网20对条形掩膜片30提供支撑作用。

参照图1至图5所示，在本实用新型的一个具体实施例中，支撑膜网20包括多排网孔202，多排所述网孔202与多个所述条形掩膜片30一一对应；每排所述网孔202中的各个网孔202与对应的所述条形掩膜片30上的各个掩膜图案301一一对应，且所述网孔202的尺寸大于所述掩膜图案301的尺寸，以使所述掩膜图案301完全显露在所述网孔202中。

也就是说，支撑膜网20上各个网孔202与各个条形掩膜片30上各个掩膜图案301是一一对应的，并且，网孔202的尺寸大于掩膜图案301的尺寸，使得掩膜图案301能够完全显露在网孔202中，避免被支撑网膜遮挡，确保在镀膜加工时，气相的镀膜材料通过掩膜图案301镀至玻璃基板上，使得玻璃基板上形成与掩膜图案301一致的薄膜图形。

参照图2及图5所示，更为具体的，相邻两排所述网孔202之间形成为条形支撑部203，所述条形支撑部203与相邻两个所述条形掩膜片30的底面贴合，并覆盖相邻两个所述条形掩膜片30之间的所述拼接间隙X30。

需要说明的是，这些条形支撑部203是一体式结构，例如，通过提供一张膜片，再膜片上通过蚀刻等工艺加工出各个网孔202，最后保留的部分即可形成上述的条形支撑部203。

也就是说，条形支撑部203是与拼接间隙X30一一对应，每个条形支撑部203能够覆盖住对应的拼接间隙X30，但不遮挡掩膜图案301，如此，可以确保每个拼接间隙X30被均被覆盖住，确保掩膜版性能的可靠。

参照图1至图5所示，在本实用新型的一个实施例，板框10包括框体101及框沿102，所述框体101的中央形成镂空区P10；所述框沿102环绕设置所述镂空区P10的外围且向上凸出，所述条形掩膜片30的两端焊接于所述框沿102的顶面。如此，在多个条形掩膜片30与板框10的焊接过程中，先将条形掩膜片30张紧并顺着框沿102向两侧施加拉力，可以确保可条形掩膜片30被张紧，也即是，利用框沿102方便于条形掩膜片30与板框10安装。

对应的，支撑膜网20的上表面与所述框沿102的顶面平齐，如此，可以保证条形膜片与支撑网膜贴合。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种高精密支撑掩膜版，其特征在于，包括：

板框；

多个条形掩膜片，多个所述条形掩膜片沿纵向依次紧贴设置，相邻两个所述条形掩膜片之间具有拼接间隙；每个所述条形掩膜片沿横向延伸且其两端焊接于所述板框的顶面，每个所述条形掩膜片上设有至少一个掩膜图案；

支撑膜网，所述支撑膜网位于多个所述条形掩膜片的下方且被固定于所述板框上，所述支撑膜网支撑多个所述条形掩膜片并覆盖各个所述拼接间隙但不遮挡各个所述掩膜图案。

2.根据权利要求1所述的高精密支撑掩膜版，其特征在于，所述板框的顶面相对的两侧分别设有多个凹槽，多个所述凹槽沿所述板框的边沿间隔设置；所述支撑膜网上相对两侧分别形成有多个焊接部，多个所述焊接部沿所述支撑膜网的边沿间隔设置，多个所述焊接部一一对应地焊接于多个所述凹槽内。

3.根据权利要求2所述的高精密支撑掩膜版，其特征在于，所述支撑膜网的上表面与所述板框的顶面平齐。

4.根据权利要求1所述的高精密支撑掩膜版，其特征在于，所述支撑膜网包括多排网孔，多排所述网孔与多个所述条形掩膜片一一对应；

每排所述网孔中的各个网孔与对应的所述条形掩膜片上的各个掩膜图案一一对应，且所述网孔的尺寸大于所述掩膜图案的尺寸，以使所述掩膜图案完全显露在所述网孔中。

5.根据权利要求4所述的高精密支撑掩膜版，其特征在于，相邻两排所述网孔之间形成为条形支撑部，所述条形支撑部与相邻两个所述条形掩膜片的底面贴合，并覆盖相邻两个所述条形掩膜片之间的所述拼接间隙。

6.根据权利要求1所述的高精密支撑掩膜版，其特征在于，所述板框包括：

框体，所述框体的中央形成镂空区；

框沿，所述框沿环绕设置所述镂空区的外围且向上凸出，所述条形掩膜片的两端焊接于所述框沿的顶面。

7.根据权利要求6所述的高精密支撑掩膜版，其特征在于，所述支撑膜网的上表面与所述框沿的顶面平齐。