CN211289248U - 一种晶圆扩膜机用固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了固定装置技术领域的一种晶圆扩膜机用固定装置，包括有底座，所述底座顶端开设有弹簧槽，所述弹簧槽内滑动连接有支撑板，所述支撑板底端与弹簧槽槽底之间均匀设置有第一弹簧，所述底座顶端设置有U型框，实用新型通过设置的弹簧槽、第一弹簧和支撑板，使得装置在纵向上有一定的减震效果，通过设置的U型杆、第二弹簧和夹板，使得装置能够夹紧不同尺寸的扩膜机，安装夹紧过程简单，便于使用，且该结构设计使得其在横向上具有一定减震效果，通过设置的散热风机，能够及时快速的冷却扩膜机上的加热工作盘，且设置的可升降的竖板，能够根据不同尺寸扩膜机灵活调整散热风机高度，增加了设备的实用性。

Description

一种晶圆扩膜机用固定装置

技术领域

本实用新型涉及固定装置技术领域，具体为一种晶圆扩膜机用固定装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。

晶圆在生产过程中涉及到贴膜、激光切膜、去膜、倒模、扩膜等工艺。为了保证晶圆的晶粒满足检测需求，需要对其进行剔粒操作。但是，由于晶圆各相邻芯粒之间无任何空隙，会导致在剔粒过程中，相邻芯粒出现崩边、划伤的异常问题，严重影响晶圆质量，不利于后续的生产需求。因此，需要对晶圆进行扩膜处理，增大晶粒之间的间隙便于剔粒

扩膜机广泛应用于发光二极管、中小功率三极管、背光源、LED、集成电路和一些特殊半导体器件生产中的晶粒扩张工序。扩膜机是将排列紧密的 LED晶片均匀分开，使之更好地植入焊接工件上。它利用LED薄膜的加热可塑性，将单张LED晶片均匀地向四周扩散，达到满意的晶片间隙后自动成型，膜片紧绷不变行，恒温设计，操作简单。

现有的晶圆扩膜机缺乏配套的固定安装设备，一般都是直接放置于工作台面上进行操作，这种安装方式的扩膜机固定性较差，存在扩膜机摔落损毁的风险，造成一定的经济损失，同时扩膜机结束工作之后，其顶部加热扩膜工作盘温度较高，现有装置缺乏相应的散热冷却机构。基于此，本实用新型设计了一种晶圆扩膜机用固定装置，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆扩膜机用固定装置，以解决上述背景技术中提出的现有的晶圆扩膜机缺乏配套的固定安装设备，一般都是直接放置于工作台面上进行操作，这种安装方式的扩膜机固定性较差，存在扩膜机摔落损毁的风险，造成一定的经济损失，同时扩膜机结束工作之后，其顶部加热扩膜工作盘温度较高，现有装置缺乏相应的散热冷却机构的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆扩膜机用固定装置，包括有底座，所述底座顶端开设有弹簧槽，所述弹簧槽内滑动连接有支撑板，所述支撑板底端与弹簧槽槽底之间均匀设置有第一弹簧，所述底座顶端设置有U型框，所述支撑板在U型框内侧，所述U型框左右侧壁中部贯穿对称设置有U型杆，所述U型杆一端贯穿U型框侧壁连接有夹板，所述夹板与U型框之间的U型杆上绕接有第二弹簧，所述U型杆另一端外围设置有把手，所述底座后壁外侧固接有嵌套，所述嵌套内腔滑动设置有竖板，所述竖板顶部左右对称设置有散热风机，所述嵌套侧壁螺接贯穿设置有锁紧螺杆，所述锁紧螺杆另一端抵接竖板侧壁，所述底座两侧矮边上设置有螺钉孔。

优选的，所述竖板底部设置有防脱限位块，所述散热风机底部与竖板底边之间的距离大于嵌套内腔高度。

优选的，所述把手上设置有橡胶套管，所述橡胶套管上刻有条形纹路。

优选的，所述支撑板底端设置有防滑纹路。

优选的，所述夹板夹紧工作面上均匀设置有防滑凸起。

优选的，所述锁紧螺杆有两组，两组锁紧螺杆对称设置，所述竖板与锁紧螺杆接触一侧设置有阻尼纹路。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设置的弹簧槽、第一弹簧和支撑板，使得装置在纵向上有一定的减震效果，通过设置的U型杆、第二弹簧和夹板，使得装置能够夹紧不同尺寸的扩膜机，安装夹紧过程简单，便于使用，且该结构设计使得其在横向上具有一定减震效果，通过设置的散热风机，能够及时快速的冷却扩膜机上的加热工作盘，且设置的可升降的竖板，能够根据不同尺寸扩膜机灵活调整散热风机高度，增加了设备的实用性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型左视图；

图3为本实用新型俯视图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-底座，2-弹簧槽，3-支撑板，4-第一弹簧，5-U型框，6-U型杆，7-夹板， 8-第二弹簧，9-把手，10-嵌套，11-竖板，12-散热风机，13-锁紧螺杆，14-螺钉孔，15-防滑凸起，16-橡胶套管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆扩膜机用固定装置，包括有底座1，底座1顶端开设有弹簧槽2，弹簧槽2内滑动连接有支撑板3，支撑板3底端与弹簧槽2槽底之间均匀设置有第一弹簧4，底座1顶端设置有U型框5，支撑板3在U型框5内侧，U型框5左右侧壁中部贯穿对称设置有U型杆6，U型杆6一端贯穿U型框5侧壁连接有夹板7，夹板7 与U型框5之间的U型杆6上绕接有第二弹簧8，U型杆6另一端外围设置有把手9，底座1后壁外侧固接有嵌套10，嵌套10内腔滑动设置有竖板11，竖板11顶部左右对称设置有散热风机12，嵌套10侧壁螺接贯穿设置有锁紧螺杆13，锁紧螺杆13另一端抵接竖板11侧壁，底座1两侧矮边上设置有螺钉孔14。

进一步的，竖板11底部设置有防脱限位块，散热风机12底部与竖板11 底边之间的距离大于嵌套10内腔高度。

进一步的，把手9上设置有橡胶套管16，橡胶套管16上刻有条形纹路。

进一步的，支撑板3底端设置有防滑纹路，增加了摩擦系数。

进一步的，夹板7夹紧工作面上均匀设置有防滑凸起，增加了与扩膜机之间摩擦力，且利于扩膜机机体的散热。

进一步的，锁紧螺杆13有两组，两组锁紧螺杆13对称设置，竖板11与锁紧螺杆13接触一侧设置有阻尼纹路，增加了锁紧螺杆与竖板之间摩擦力。

本实施例的一个具体应用为：本装置为一种晶圆扩膜机用固定装置，本装置散热风机12通过外部控制开关与外部电源电性连接。使用前，使用螺钉将装置底座1固定于安放扩膜机的工作台上，再手握把手9，手指前端向外拉动U型杆6，U型杆6向外侧移动压缩第二弹簧8，第二弹簧8收缩蓄能，两侧的夹板7相互远离，将晶圆扩膜机放置于夹板7之间的支撑板3上，支撑板3受压，使得第一弹簧4收缩，同时放开U型杆6，第一弹簧8伸长，推动夹板7相互靠近，夹紧扩膜机侧壁，本装置通过设置的U型杆、第二弹簧和夹板，使得装置能够夹紧不同尺寸的扩膜机，安装夹紧过程简单，便于使用，且该结构设计使得其在横向上具有一定减震效果。安装好扩膜机之后，根据扩膜机加热工作盘的高度，调节散热风机12的高度，旋松锁紧螺杆13，拉动竖板11上升或下降，使得散热风机12正对加热工作盘，再旋紧锁紧螺杆13即可，在扩膜机工作结束后，启动散热风机12快速对扩膜机加热工作盘进行散热。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (5)

1.一种晶圆扩膜机用固定装置，包括有底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶端开设有弹簧槽(2)，所述弹簧槽(2)内滑动连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)底端与弹簧槽(2)槽底之间均匀设置有第一弹簧(4)，所述底座(1)顶端设置有U型框(5)，所述支撑板(3)在U型框(5)内侧，所述U型框(5)左右侧壁中部贯穿对称设置有U型杆(6)，所述U型杆(6)一端贯穿U型框(5)侧壁连接有夹板(7)，所述夹板(7)与U型框(5)之间的U型杆(6)上绕接有第二弹簧(8)，所述U型杆(6)另一端外围设置有把手(9)，所述底座(1)后壁外侧固接有嵌套(10)，所述嵌套(10)内腔滑动设置有竖板(11)，所述竖板(11)顶部左右对称设置有散热风机(12)，所述嵌套(10)侧壁螺接贯穿设置有锁紧螺杆(13)，所述锁紧螺杆(13)另一端抵接竖板(11)侧壁，所述底座(1)两侧矮边上设置有螺钉孔(14)，所述竖板(11)底部设置有防脱限位块，所述散热风机(12)底部与竖板(11)底边之间的距离大于嵌套(10)内腔高度。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆扩膜机用固定装置，其特征在于：所述把手(9)上设置有橡胶套管(16)，所述橡胶套管(16)上刻有条形纹路。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆扩膜机用固定装置，其特征在于：所述支撑板(3)底端设置有防滑纹路。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆扩膜机用固定装置，其特征在于：所述夹板(7)夹紧工作面上均匀设置有防滑凸起(15)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆扩膜机用固定装置，其特征在于：所述锁紧螺杆(13)有两组，两组锁紧螺杆(13)对称设置，所述竖板(11)与锁紧螺杆(13)接触一侧设置有阻尼纹路。

Images