CN211238194U - 一种缓存和舟共用的进出料结构 - Google Patents

Abstract

一种缓存和舟共用的进出料结构，包括调整单元和升降单元，调整单元包括至少两个运转齿装置，运转齿装置包括底部移动装置，底部移动装置上设有支撑柱，支撑柱上设有支撑，支撑上设有顶齿，顶齿能支撑片状原料；本实用新型能将舟托上的片状原料一片片固定于顶齿上，并通过底部移动装置将多组运转齿装置结合在一起，再结合升降单元，实现舟与缓存之间平稳的、高效的全自动化进出料操作；通过斜面支撑座的设计，使传送带及其上的舟托倾斜，让舟托内装填的所有片状原料依靠第一齿槽的同一侧，达到理片的效果；通过设置与舟数目相等的组转运齿装置可以一次性完成整个舟托内的所有片状原料往缓存内上料或是缓存往舟内下料，快速高效。

Description

一种缓存和舟共用的进出料结构

技术领域

本实用新型涉及进/出下料技术领域，尤其涉及用于一种半导体材料或光伏材料加工的缓存和舟共用进出料结构。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等，目前行业内已有不少相关的设备，适用于不同的加工需求，其中，缓存装置是一种常用来暂时存放材料的设备，舟是一种装载加工的、加工中的或者加工后的材料的设备，缓存装置和舟中经常需要进行材料的进出料，由于半导体和光伏材料易损坏，因此如何平稳的、高效的完成舟与缓存装置之间的进出料是一个需要解决的技术问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种缓存和舟共用的进出料结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的一种缓存和舟共用的进出料结构，包括调整单元和升降单元，调整单元包括五个运转齿装置，作为优选的技术方案，运转齿装置数量大于等于两个，本实用新型并不限定运转齿装置的数量，通过运转齿装置能够完成缓存和舟的进出料。

优选的，运转齿装置包括底部移动装置，底部移动装置上设有支撑柱，支撑柱上设有两个支撑，两个支撑上皆设有顶齿，两组顶齿之间需保持一定距离，确保片状原料位于顶齿内时不会脱落，作为优选的技术方案，支撑数量大于等于三个，每个支撑上设有顶齿，作为优选的技术方案，支撑柱上仅设有一个支撑，支撑上设有两组或两组以上的顶齿，每组顶齿之间保持一定距离，作为优选的技术方案，支撑柱上仅设有一个支撑，支撑上仅设有一个厚顶齿，厚顶齿能支撑片状原料，本实用新型并不限定支撑的数量、顶齿的数量和顶齿的厚度，通过将片状原料一片片固定于顶齿上，能够将片状原料分隔开来，并起到较好的支撑效果。

优选的，相邻运转齿装置上的对应顶齿能够拼接在一起。

优选的，调整单元设于升降单元上，升降单元用于控制调整单元里所有运转齿装置的高度，作为优选的技术方案，底部移动装置能选用直线导轨，升降单元能选用电机丝杠滑块机构，作为优选的技术方案，底部移动装置和升降单元还能分别选用直线导轨、直线液压缸、电机丝杠、气缸等一系列可以完成直线运动的机构，本实用新型并不限定它们的选取。

优选的，运转齿装置内的底部移动装置能够控制对应的顶齿进行水平面内的移动，为确保顶齿能完整组合，相邻顶齿采用互补配对的形式，使相邻运转齿装置上的顶齿在底部移动装置的调整下组合在一起。

优选的，说明一下具体应用场景，即被传送物的形态和传送要求，被传送物是舟托(行业内也称花篮)上存放的片状半导体或者光伏材料，这种半导体或者光伏材料可以是待加工的，也可以是加工完成的，作为优选的技术方案，还可以是加工过程中的，舟托可以在加工过程中对被加工的材料始终进行支撑，一个舟托内包括了五个舟，舟包括对应片状材料的四根舟支架，四根舟支架上对应地设有第一齿槽，舟托上位于每个舟下方位置设有两根支撑条，支撑条上设有与第一齿槽对应的第二齿槽，第二齿槽齿间距与第一齿槽齿间距相同，作为优选的技术方案，每个第一齿槽、第二齿槽内可以容纳一片材料，作为优选的技术方案，每个第一齿槽、第二齿槽内也可以容纳两片材料，根据实际加工需要来选择，作为优选的技术方案，舟托也可以是非四边形，采用其他的形状，本实用新型并不限定舟的具体形态，作为优选的技术方案，舟托通过传送带进行运输，传送带为中部空心的双皮带同步传动形式，传送带通过电机驱动，传送带安装于斜面支撑座上，作为优选的技术方案，传送带上设有用于检测舟托和运转齿装置是否运动到指定位置的检测装置，传送带上设有防止传送带运动过度导致舟托掉落造成损失的挡条。

优选的，缓存装置内设有朝向相对的两组护齿条，护齿条内设有与第一齿槽、第二齿槽间隔相同的护齿槽，护齿条与舟一样可以将片状原料分开，护齿条由气缸进行控制，可以完成相向运动或是背向运动，作为优选的技术方案，可以选取液压缸等动力原件进行控制，本实用新型并不限定其具体动力原件，两组护齿条下方皆设有支撑条，用于支撑进入缓存装置内的片状原件。

优选的，当舟托完全运动到传送带上时，五个运转齿装置恰好一一位于舟托内设有五个舟下方。

优选的，舟托底部设有通孔，进出料装置内的支撑和顶齿能够穿过通孔将舟内所有的片状原料抬起，进行缓存装置内的上料操作，相应的，进出料装置内的支撑和顶齿能够穿过通孔将缓存装置内所有的片状原料取下并缓缓下降放入舟内，实现缓存装置内的下料操作。

综上所述，本实用新型的有益效果是：

(一)本实用新型能将舟托上的片状原料一片片固定于顶齿上，并通过底部移动装置将多组运转齿装置结合在一起，再结合升降单元，实现舟与缓存之间平稳的、高效的全自动化进出料操作；

(二)通过检测装置对舟托和运转齿装置的位置进行精确检测，能够有效减少因为内部装置未运动到位而导致机器无法继续工作的故障率；

(三)通过斜面支撑座的设计，使传送带及其上的舟托倾斜，让舟托内装填的所有片状原料依靠第一齿槽的同一侧，达到理片的效果，方便进出料操作；

(四)通过设置与舟数目相等的组转运齿装置可以一次性完成整个舟托内的所有片状原料往缓存内上料或是缓存往舟内下料，快速高效。

附图说明

图1是本装置的整体结构图；

图2是本装置拆去缓存装置后的整体结构图；

图3是缓存装置的整体结构图；

图4是本装置中水平移动单元和升降单元的组合结构图；

图5是舟托的整体结构示意图；

图6是升降单元的整体结构图；

图7是运转齿装置的整体结构图；

图8是图4中“A”区域的局部放大示意图；

图9是图5中“B”区域的局部放大示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的实施方式做进一步详细描述，应当指出的是，实施例只是对本实用新型的详细阐述，不应视为对本实用新型的限定，本实用新型的实施例中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均能够以任何方式组合。

参照附图4，本实施例提供了一种缓存和舟共用的进出料结构，包括调整单元13和升降单元14，调整单元13包括五个运转齿装置15，在一些实施方式中，运转齿装置15数量大于等于两个，本实用新型并不限定运转齿装置15的数量，通过运转齿装置15进行缓存和舟的进出料。

参照附图7，运转齿装置15包括底部移动装置16，底部移动装置16上设有支撑柱17，支撑柱17上设有两个支撑18，两个支撑18上皆设有顶齿19，两组顶齿19之间需保持一定距离，确保片状原料位于顶齿19内时不会脱落，在一些实施方式中，支撑18数量大于等于三个，每个支撑18上设有顶齿19，在一些实施方式中，支撑柱17上仅设有一个支撑18，支撑18上设有两组或两组以上的顶齿19，每组顶齿19之间保持一定距离，在一些实施方式中，支撑柱17上仅设有一个支撑18，支撑18上仅设有一个厚顶齿19，厚顶齿19能支撑片状原料，本实用新型并不限定支撑18的数量、顶齿19的数量和顶齿19的厚度，通过将片状原料一片片固定于顶齿上，能够将片状原料分隔开来，并起到较好的支撑效果。

优选的，参照附图4和附图9，相邻运转齿装置15上的对应顶齿19能够拼接在一起。

参照附图4和附图7，调整单元13设于升降单元14上，升降单元14用于控制调整单元13里所有运转齿装置15的高度，在一些实施方式中，底部移动装置16能选用直线导轨，参照附图6，升降单元14能选用电机丝杠滑块机构，在一些实施方式中，底部移动装置16和升降单元14还能分别选用直线导轨、直线液压缸、电机丝杠、气缸等一系列可以完成直线运动的机构，本实用新型并不限定它们的选取。

参照附图4，运转齿装置15内的底部移动装置16能够控制对应的顶齿19进行水平面内的移动，参照附图4和附图9，为确保顶齿19能完整组合，相邻顶齿19采用互补配对的形式，使相邻运转齿装置15上的顶齿19在底部移动装置16的调整下组合在一起。

说明一下本实施例中的一种具体应用场景，即被传送物的形态和传送要求，在本实施例中，参照附图1，被传送物是舟托10(行业内也称花篮)上存放的片状半导体或者光伏材料，这种半导体或者光伏材料可以是待加工的，也可以是加工完成的，在一些实施方式中，还可以是加工过程中的，舟托10可以在加工过程中对被加工的材料始终进行支撑，参照附图5和附图8，一个舟托10内包括了五个舟21，舟21包括对应片状材料的四根舟支架22，四根舟支架22上对应地设有第一齿槽23，舟托10上位于每个舟21下方位置设有两根支撑条24，支撑条24上设有与第一齿槽23对应的第二齿槽25，第二齿槽25齿间距与第一齿槽23齿间距相同，在一些实施方式中，每个第一齿槽23、第二齿槽25内可以容纳一片材料，在一些实施方式中，每个第一齿槽23、第二齿槽25内也可以容纳两片材料，根据实际加工需要来选择，在一些实施方式中，舟托10也可以是非四边形，采用其他的形状，本实用新型并不限定舟的具体形态。

参照附图3，缓存装置11内设有朝向相对的两组护齿条28，护齿条28内设有与第一齿槽23、第二齿槽25间隔相同的护齿槽，护齿条28与舟21一样可以将片状原料分开，护齿条28由气缸进行控制，可以完成相向运动或是背向运动，在一些实施方式中，可以选取液压缸等动力原件进行控制，本实用新型并不限定其具体动力原件，两组护齿条28下方皆设有支撑条29，用于支撑进入缓存装置11内的片状原件。

参照附图1和附图2，舟托10底部设有通孔，进出料装置内的支撑18和顶齿19能够穿过通孔将舟22内所有的片状原料抬起，进行缓存装置11内的上料操作，相应的，进出料装置内的支撑18和顶齿19能够穿过通孔将缓存装置11内所有的片状原料取下并缓缓下降放入舟22内，实现缓存装置11内的下料操作。

参照附图1、附图5和附图8，舟托10通过传送带12进行运输，传送带12为中部空心的双皮带同步传动形式，传送带12通过电机驱动，传送带12安装于斜面支撑座26上，通过斜面支撑座26使传送带12及其上的舟托10倾斜，使舟托10内装填的所有片状原料依靠第一齿槽23的同一侧，不至于片状原料在第一齿槽23的两侧随意偏靠，达到理片的效果。

优选的，当舟托10完全运动到传送带12上时，五个运转齿装置15恰好一一位于舟托10内设有五个舟21下方。

优选的，参照附图1，传送带12上设有用于检测舟托10和运转齿装置15是否运动到指定位置的检测装置20。

优选的，传送带12上设有防止传送带12运动过度导致舟托10掉落造成损失的挡条27。

通过本装置进行舟托12往缓存装置11内上料时，先让舟托10完全运动到传送带12上时，使五个运转齿装置15恰好一一位于舟托10内设有五个舟21下方，再启动升降单元14上升，五组顶齿19将舟21内的片状原料顶起超过舟托10，随后通过移动装置16控制运转齿装置15进行水平面内的移动，使相邻运转齿装置15上的顶齿19组合在一起，形成一整组间距相同的片状原料组，缓存装置11内的气缸控制两组护齿条28背向运动，即缓存装置11上的护齿打开，五个运转齿装置15在升降单元14的作用下继续上升，使片状原料的底部超过缓存装置11内护齿组28的底部，随后气缸控制护齿组28相向运动，护齿组插入片状原料间的空隙中，使支撑条29能够支撑片状原料，随后升降单元14控制五个运转齿装置15缓缓下降，片状原料放置于护齿底部并被支撑条29支撑，完成缓存装置11内的上料。

通过本装置进行缓存装置11往舟托12内下料时，启动升降单元14带动五组顶齿19上升，当顶齿19超过舟21高度时，通过移动装置16控制运转齿装置15进行水平面内的移动，使相邻运转齿装置15上的顶齿19组合在一起，升降单元14带动五组顶齿19上升，上升到缓存装置11内时继续上升，直到顶齿19顶起护齿组28内的片状原料时，缓存装置11内的气缸控制两组护齿条28背向运动，即缓存装置11上的护齿打开，升降单元14带动五组顶齿19下降，随后移动装置16控制运转齿装置15进行水平面内的移动，使顶齿19分开回到初始位置，升降单元14继续带动五组顶齿19下降，片状原料再次回到舟21上的第一齿槽23内，由舟21支撑片状原料，完成往舟托12内下料。

优选的，所述缓存装置、舟托和舟可以使用本申请中的技术方案，也可以在现有的缓存装置、舟托和舟的基础上进行适当改进，本申请主要提供一种缓存和舟之间共用的进出料结构的技术方案。

以上所述，仅为实用新型的具体实施方式，但实用新型的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在实用新型的保护范围之内，因此，实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种缓存和舟共用的进出料结构，其特征在于，包括调整单元和升降单元，调整单元包括至少两个运转齿装置。

2.根据权利要求1所述的一种缓存和舟共用的进出料结构，其特征在于，运转齿装置包括底部移动装置，底部移动装置上设有支撑柱，支撑柱上设有支撑，支撑上设有顶齿，顶齿能支撑片状原料。

3.根据权利要求2所述的一种缓存和舟共用的进出料结构，其特征在于，片状原料为半导体材料或光伏材料。

4.根据权利要求1所述的一种缓存和舟共用的进出料结构，其特征在于，调整单元设于升降单元上，升降单元用于控制调整单元里所有运转齿装置的高度。

5.根据权利要求1或2所述的一种缓存和舟共用的进出料结构，其特征在于，底部移动装置选用直线导轨，升降单元选用电机丝杠滑块机构。

6.根据权利要求2所述的一种缓存和舟共用的进出料结构，其特征在于，运转齿装置内的底部移动装置能够控制对应的顶齿进行水平面内的移动。

7.根据权利要求2所述的一种缓存和舟共用的进出料结构，其特征在于，相邻运转齿装置上的对应顶齿能够拼接在一起。

8.根据权利要求7所述的一种缓存和舟共用的进出料结构，其特征在于，相邻运转齿装置上的顶齿能够采用互补配对的形式。

9.根据权利要求1所述的一种缓存和舟共用的进出料结构，其特征在于，与本装置搭配使用的设备有缓存装置，缓存装置内设有朝向相对的两组护齿条，护齿条内设有的护齿槽，护齿条由气缸进行控制，可以完成相向运动或是背向运动，两组护齿条下方皆设有支撑条，用于支撑进入缓存装置内的片状原件。

10.根据权利要求1或9所述的一种缓存和舟共用的进出料结构，其特征在于，调整单元包括五个运转齿装置，与本装置搭配使用的设备有舟托，舟托内包括五个舟，舟包括对应片状材料的四根舟支架，四根舟支架上对应地设有第一齿槽，舟托上位于每个舟下方位置设有两根支撑条，支撑条上设有与第一齿槽对应的第二齿槽，第一齿槽齿、第二齿槽齿、护齿槽的齿间距相同，每个第一齿槽、第二齿槽内也可以容纳两片材料，舟托底部设有通孔，舟托通过传送带进行运输，传送带为中部空心的双皮带同步传动形式，传送带通过电机驱动，传送带安装于斜面支撑座上，传送带上设有用于检测舟托和运转齿装置是否运动到指定位置的检测装置，传送带上设有遮挡舟托掉落的挡条。

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