CN211137181U

CN211137181U - 工业用机器人的手以及工业用机器人

Info

Publication number: CN211137181U
Application number: CN201921843460.5U
Authority: CN
Inventors: 王玉竹; 矢泽隆之; 志村芳树; 高瀬阳介
Original assignee: Nidec Sankyo Zhejiang Corp; Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Zhejiang Corp; Nidec Sankyo Corp
Priority date: 2019-10-30
Filing date: 2019-10-30
Publication date: 2020-07-31
Anticipated expiration: 2029-10-30
Also published as: KR102390143B1; KR20210052247A

Abstract

本实用新型提供一种工业用机器人的手和具备该手的工业用机器人，可以增大与玻璃基板的摩擦力以防止玻璃基板打滑。搬运玻璃基板(2)的工业用机器人的手(3)具有手叉(6)，在手叉(6)的第一叉部(8)、第二叉部(9)以及叉本体(7)的基端，形成有具有与玻璃基板(2)的下表面接触的环状的接触面(12a)的橡胶制或树脂制的垫(12)。

Description

工业用机器人的手以及工业用机器人

技术领域

本实用新型涉及搬运玻璃基板的工业用机器人的手。另外，本实用新型涉及具有该手的工业用机器人。

背景技术

专利文献1和专利文献2中记载有搬运玻璃基板的工业用机器人的手。这些手具备橡胶制或树脂制的多个垫，该垫形成有与玻璃基板的下表面接触的球面状的接触面。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015－217509号公报

专利文献2：日本特开2009－141091号公报

实用新型内容

实用新型所要解决的技术问题

为了防止玻璃基板的打滑，与玻璃基板接触的垫需要在其与玻璃基板之间确保摩擦力。从确保摩擦力的观点来看，现有技术中的垫的形状有改良的余地。

本实用新型是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供一种能够增大与玻璃基板之间的摩擦力以防止玻璃基板打滑的工业用机器人的手和具备该手的工业用机器人。

解决技术问题所采用的技术方案

本实用新型的工业用机器人的手是搬运玻璃基板的工业用机器人的手，具备橡胶制或树脂制的垫，所述垫具有与所述玻璃基板的下表面接触的环状的接触面。

本实用新型的工业用机器人具备所述手。

实用新型效果

根据本实用新型，可以提供能够增大与玻璃基板的摩擦力以防止玻璃基板的打滑的工业用机器人的手和具备该手的工业用机器人。

附图说明

图1(A)及图1(B)是表示本实用新型的手的一实施方式的手3的图，图1(A)是俯视图，图1(B)是侧视图。

图2是用于说明图1(A)及图1(B)所示的玻璃基板2的结构的俯视图。

图3是图1(A)的E部的放大图。

图4是从图3的F－F方向表示手叉6的前端侧部分的图。

图5是图3的G部的放大图。

图6是用于说明图4的H部的结构的剖视图。

图7是图5的VII－VII的剖视图。

图8(A)及图8(B)是本实用新型另一实施方式所涉及的手的俯视图。

附图标记说明

2a 蒸镀区域

2b 框区域

2 玻璃基板

3 手

4 臂

5、25 基部

6 手叉

7 叉本体

8a 基端部

8b 倾斜部

8c 前端部

8 第一叉部

9 第二叉部

12a 接触面

12b 接触部

12c 保持部

12d 防止部

12e、12f 弯曲面

12s 狭缝

12 垫

13a 垫保持孔

13 垫保持部件

26 叉子

具体实施方式

以下，参照附图对本实用新型所涉及的实施方式进行说明。

(工业用机器人的概略结构及手的结构)

图1(A)及图1(B)是表示本实用新型的手的一实施方式的手3的图，图1(A)是俯视图，图1(B)是侧视图。图2是用于说明图1(A)及图1(B)所示的玻璃基板2的结构的俯视图。图3是图1(A)的E部的放大图。图4是表示从图3的F－F方向表示手叉6的前端侧部分的图。图5是图3的G部的放大图。图6是用于说明图4的H部的结构的剖视图。图7是图5的VII－VII的剖视图。

本实施方式的工业用机器人是在真空中搬运有机EL(electro－luminescence：电致发光)显示器用的玻璃基板2的机器人，被装入有机EL显示器的制造系统中使用。在该制造系统中，通过真空蒸镀法制造有机EL显示器。工业用机器人以蒸镀面朝向下侧的状态搬运玻璃基板2。

玻璃基板2形成为长方形的板状。如图2所示，玻璃基板2的下表面由进行蒸镀的长方形状的蒸镀区域2a和围绕蒸镀区域2a的周围的长方形的框状的框区域2b(图2的斜线部分)构成。框区域2b构成玻璃基板2的外周端部分的下表面。

另外，本实施方式的工业用机器人是适合搬运较大型的玻璃基板2的机器人。该工业用机器人具备搭载玻璃基板2的手3、在其前端侧可转动地连接有手3的臂4(参照图1(B))以及可转动地连接臂4的基端侧的本体部(省略图示)。手3及臂4配置于本体部的上侧。另外，手3及臂4配置于真空中。

手3具备与臂4连接的基部5和搭载玻璃基板2的两个手叉6。手叉6具备两个叉本体7。叉本体7形成为细长的直线棒状。两个叉本体7以相互隔开规定的间隔的状态平行配置。另外，叉本体7的基端固定于基部5。

两个手叉6中的一手叉6的两个叉本体7以从基部5向水平方向的一侧突出的方式固定于基部5，另一手叉6的两个叉本体7以朝向与向水平方向的一侧突出的两个叉本体7相反侧突出的方式固定于基部5。

在以下的说明中，将从上下方向观察时的叉本体7的长边方向(图1(A)的X方向)设为左右方向，将从上下方向观察时的与左右方向正交的方向(图1(A)的Y方向)设为前后方向。搭载于手叉6上的玻璃基板2的端面与左右方向或前后方向大致平行。

另外，手叉6具备固定于叉本体7的前端侧的多个第一叉部8和固定于第一叉部8的多个第二叉部9。玻璃基板2搭载于手叉6的配置有第一叉部8及第二叉部9的部分。手叉6的配置有第一叉部8及第二叉部9的部分的外形比玻璃基板2的外形稍大。

第一叉部8以从两个叉本体7向前后方向的外侧延伸的方式固定于叉本体7上。另外，多个第一叉部8以在左右方向上隔开规定间隔的状态平行配置。在本实施方式中，七个第一叉部8以在左右方向上隔开规定间隔的状态配置。固定于构成一个手叉6的两个叉本体7的每一个上的多个第一叉部8各自在左右方向上配置于相同的位置。

第一叉部8通过将平板状的部件折弯成规定形状而形成。如图4所示，第一叉部8由细长的平板状的基端部8a、平板状的倾斜部8b以及平板状的前端部8c构成，该基端部8a从叉本体7朝向前后方向的外侧延伸，该倾斜部8b与前后方向上的基端部8a的外侧端相连接，并以随着朝向前后方向的外侧而朝向上方向的方式倾斜，该前端部8c与倾斜部8b的上端相连接，并朝向前后方向的外侧延伸。

第二叉部9形成为细长的平板状。如图3所示，第二叉部9以从在一个手叉6上配置于左右方向的最外侧的第一叉部8朝向左右方向的外侧延伸的方式固定于第一叉部8。

即，在一个手叉6上，第二叉部9被固定在配置于左右方向的最外侧的四个第一叉部8各自上。具体而言，多个第二叉部9固定在四个第一叉部8各自上。另外，固定于四个第一叉部8各自上的多个第二叉部9以在前后方向上隔开规定间隔的状态平行配置。在本方式中，在四个第一叉部8各自上固定有两个第二叉部9。固定在一个手叉6中配置于左右方向的最外侧的第一叉部8各自上的多个第二叉部9在前后方向上分别配置于相同位置。

在多个第一叉部8的前端部8c的前端侧(前后方向的外侧端侧)及多个第二叉部9的前端侧(左右方向的外侧端侧)中的各侧安装有垫12，该垫12形成有与玻璃基板2的下表面接触的接触面12a(参照图5、6)。

具体而言，形成为块状的垫保持部件13被固定在多个第一叉部8的前端部8c的前端侧及多个第二叉部9的前端侧各自的上表面，垫12被固定在该垫保持部件13上。

即，在多个第一叉部8的前端部8c的前端侧及多个第二叉部9的前端侧各自的上表面，经由垫保持部件13安装有垫12。另外，在两个叉本体7各自的上表面，也经由垫保持部件13安装有垫12。安装于叉本体7上的垫12在前后方向上配置于与安装于第二叉部9的前端侧的垫12相同的位置。

(垫的详细结构)

垫12由橡胶形成。具体而言，垫12由氟橡胶形成。如图6所示，该垫12具备形成有上述接触面12a的接触部12b和被垫保持部件13保持的保持部12c。

如图5所示，接触部12b的平面形状为圆形。接触部12b的玻璃基板2侧的表面由弯曲面12e、接触面12a以及弯曲面12f构成，该弯曲面12e形成于中心的平面形状为圆形且为向下方向凸的凸状，该接触面12a由从弯曲面12e的径向外侧一端向径向外侧延伸的圆环状的平面构成，该弯曲面12f连接接触面12a的径向外侧端和接触部12b的径向外侧的侧面。

这样，接触部12b成为接触部12b的玻璃基板2侧的表面中接触面12a位于最靠玻璃基板2侧的结构。因此，如图6所示，玻璃基板2在与圆环状的接触面12a接触的状态下被载置于垫12上。

接触面12a其表面被进行纹理加工。即，接触面12a的表面为带有形成凹凸的图案的结构。由此，玻璃基板2和垫12之间的摩擦系数较大。此外，接触面12a的表面也可以是平坦面而非纹理加工过的面。

如图5所示，在接触部12b的玻璃基板2侧的表面，形成有沿径向延伸的三个狭缝12s。三个狭缝12s在接触部12b的周向上以等间隔配置。各狭缝12s为以弯曲面12f为起点横跨接触面12a延伸至弯曲面12e的直线状。如图7所示，各狭缝12s形成于玻璃基板2侧的表面且在上下方向上不贯通接触部12b。此外，在本方式中，形成于接触部12b的狭缝的数量为三个，但也可以是一个或两个，也可以是四个以上。另外，狭缝12s也可以不在弯曲面12f、弯曲面12e设置，只要至少形成于接触面12a即可。

如图6所示，保持部12c形成为大致圆筒状，接触部12b与保持部12c的上端相连接。保持部12c被压入在垫保持部件13上形成的垫保持孔13a中。在保持部12c的下端侧，以向保持部12c的径向外侧扩展的方式形成有防止垫12从垫保持孔13a的脱落的防脱落部12d。

(本方式的主要效果)

根据手3，垫12中的与玻璃基板2接触的接触面12a为圆环状。因此，和与玻璃基板2接触的接触面的形状为球状的结构相比，可以增大垫12和玻璃基板2的接触面积。其结果是，可以增大垫12和玻璃基板2的摩擦力，能够防止玻璃基板2的打滑。另外，由于能够增大该接触面积，因此与以往相比，能够减少设置于手叉6上的垫12的总数，可以降低制造成本。

另外，根据手3，垫12的接触面12a被进行纹理加工，因此，能够在接触面12a和玻璃基板2之间形成许多微细的空气层。由于该空气层的存在，可以防止垫12和玻璃基板2的粘贴。

另外，根据手3，在垫12的接触面12a上形成有至少一个狭缝12s。通过该狭缝12s，也可以在接触面12a和玻璃基板2之间形成空气层。因此，可以防止垫12和玻璃基板2之间的粘贴。

另外，在图5的例子中，由于狭缝12s在周向上以等间隔形成，所以上述空气层在周向上也等间隔地产生，可以提高玻璃基板2的防粘贴效果。另外，狭缝12s形成于接触部12b的表面而不贯穿接触部12b。因此，能够在不降低垫12的强度的情况下获得上述效果。

(其他实施方式)

上述的方式是本实用新型的最佳方式的一例，但不限于此，在不变更本实用新型宗旨的范围内可以进行各种变形实施。例如，接触面12a为圆环状，但只要为环状，就能够获得同样的效果。例如，接触面12a也可以是椭圆形、长方形、五边形以上的框状等。不过，通过将接触面12a设为圆环状，能够防止制造成本的增大。

在上述的方式中，手3由基部5、两个叉本体7、多个第一叉部8以及多个第二叉部9构成。此外，例如，如图8(A)及图8(B)所示，手3也可以由连接于臂4的基部25和从基部25向水平方向的一方延伸的多个叉子26(例如，四个叉子26)构成。在该情况下，可以如图8(A)所示，将多个垫12安装于叉子26的上表面，以支承玻璃基板2的整个下表面，也可以如图8(B)所示，将四个垫12安装于叉子26的上表面，以支承玻璃基板2的下表面的四个角部分。

在上述的方式中，垫12由橡胶形成，但垫12也可以由橡胶以外的材料形成，只要由比覆盖玻璃基板2的表面的涂层剂软的材料形成垫12(即，只要垫12不会划伤玻璃基板2的表面的涂层)即可。例如，垫12也可以由聚醚醚酮(PEEK)等树脂形成。

在上述的方式中，工业用机器人搬运有机EL显示器用的玻璃基板2，但工业用机器人也可以搬运液晶显示器用的玻璃基板等其它玻璃基板。另外，在上述的方式中，工业用机器人在真空中搬运玻璃基板2，但工业用机器人也可以在大气中搬运玻璃基板2。在大气中搬运玻璃基板2的情况下，也可以将吸引玻璃基板2的吸引垫设置于手3的上表面。

此外，在本实用新型中，由于能够通过垫12的作用提高手叉6对玻璃基板2的保持力，所以即使在吸引垫设置于手3的上表面的情况下，也能够减少吸引垫的数量。

如上所述，本说明书中公开了以下事项。

(1)一种手，是搬运玻璃基板的工业用机器人的手，其中，具备橡胶制或树脂制的垫，上述垫具有与上述玻璃基板的下表面接触的环状的接触面。

根据(1)，由于与玻璃基板接触的接触面为环状，所以能够在其与玻璃基板之间增大摩擦力，能够防止玻璃基板的打滑。另外，由于能够增大接触面，所以能够减少垫的数量，削减制造成本。

(2)根据(1)记载的手，其中，上述接触面被进行纹理加工。

根据(2)，由于在玻璃基板和接触面之间形成空气层，所以能够防止玻璃基板和垫的粘贴。

(3)根据(1)记载的手，其中，在上述接触面上形成有狭缝。

根据(3)，由于在玻璃基板和接触面之间形成有空气层，所以能够防止玻璃基板和垫的粘贴。

(4)根据(3)记载的手，其中，在上述接触面上形成有多个上述狭缝。

根据(4)，能够更强力地防止玻璃基板和垫的粘贴。

(5)根据(4)记载的手，其中，多个上述狭缝在上述接触面上以等间隔形成。

根据(5)，通过以等间隔形成玻璃基板和接触面之间的空气层，能够更强力地防止玻璃基板和垫的粘贴。

(6)根据(3)记载的手，其中，上述狭缝形成于上述接触面的表面。

根据(6)，能够提高垫的耐久性。

(7)根据(1)记载的手，其中，上述接触面为圆环状。

根据(7)，能够容易制造。

(8)一种工业用机器人，其具备(1)～(7)中任一项记载的手。

根据(8)，能够高效且准确地进行玻璃基板的搬运。

Claims

1.一种手，是搬运玻璃基板的工业用机器人的手，其特征在于，

所述手具备橡胶制或树脂制的垫，所述垫具有与所述玻璃基板的下表面接触的环状的接触面。

2.根据权利要求1所述的手，其特征在于，

所述接触面被进行纹理加工。

3.根据权利要求1所述的手，其特征在于，

在所述接触面上形成有狭缝。

4.根据权利要求3所述的手，其特征在于，

在所述接触面上形成有多个所述狭缝。

5.根据权利要求4所述的手，其特征在于，

多个所述狭缝在所述接触面上以等间隔形成。

6.根据权利要求3所述的手，其特征在于，

所述狭缝形成于所述接触面的表面。

7.根据权利要求1所述的手，其特征在于，

所述接触面为圆环状。

8.一种工业用机器人，其特征在于，具备权利要求1～7中任一项所述的手。