CN211082456U - 一种双气源气动系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出了一种双气源气动系统，包括气动控制系统和气动冷却系统，所述气动控制系统和所述气动冷却系统分别使用两路气源作为动力源。通过该气动系统，原机台的气动冷却系统的温控性能得到有效改善，并且解决了原机台的气动控制系统中真空隔离阀开闭不良的问题，使得机台的稳定性得到较大提升。

Description

一种双气源气动系统

技术领域

本实用新型涉及气动系统领域，具体地涉及一种双气源气动系统。

背景技术

现有技术中型号为TEL 85DD的双真空腔DRM机台的气动控制系统与气动冷却系统共用一路压缩干燥气体(CDA)作为动力源，由于一路CDA的动力有限，一方面使得气动冷却系统的温控效果较差，导致了机台的上电极温度经常发生较大偏差；另外一方面还造成了气动控制系统中的真空隔离阀经常发生开闭异常等问题，增加了机台的维护成本。

基于以上原因，本实用新型提出了一种双气源气动系统，该气动系统将气动冷却系统与气动控制系统的CDA分离，为气动冷却系统增配了一路CDA，气动控制系统仍使用原路CDA。使得机台的气动气路减负优化，机台的上电极温控得到有效改善，同时，真空隔离阀开闭顺畅，解决了机台的泄漏率异常、流量控制异常等问题。

实用新型内容

本实用新型公开了一种双气源气动系统，包括：气动控制系统和气动冷却系统；气动控制系统与第一气源连通，气动冷却系统与第二气源连通。

进一步地，气动控制系统包含依次连接的第一气动控制器和第二气动控制器；以及第二气动控制器分别与主反应腔传送系统和传送腔传送系统连接；以及主反应腔传送系统包含依次连接的主反应腔、背压系统和传送系统；以及传送腔传送系统包含依次连接的传送腔和传送系统。

进一步地，气动冷却系统包含真空腔的上电极和腔壁的温度控制器。

进一步地，气动冷却系统位于机台末端，为开路常通的泄压状态。

进一步地，第二气动控制器与主反应腔传送系统之间设置电磁阀；以及电磁阀与主反应腔传送系统之间设置气动阀和真空隔离阀；以及气动阀为5/32寸接头，真空隔离阀为1/4寸接头。

本实用新型的主要特征点在于：该气动系统中的气动控制系统和气动冷却系统分别使用两路气源作为动力源。

通过使用该双气源气动系统，可以得到以下有益效果：

(1)使得机台的气动气路减负优化，机台的上电极温控精准性提高，温度偏差减小；

(2)产品良率反馈良好，并且有小幅提升；

(3)真空隔离阀开闭顺畅，解决了机台的泄漏率异常、流量控制异常等问题，使得机台的预防性维护的测机异常频率由改进前的1次/周降为0，同时真空隔离阀的送修率由改进前的3颗/年降为1颗/年。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的实施例。

图1为本实用新型一实施例提供的双气源气动系统示意图；

图2为现有技术中的单气源气动系统示意图；

图3为使用了本实用新型的双气源气动系统后的产品温度对比统计图；

图4为使用了本实用新型的双气源气动系统后的真空腔上电极温度对比统计图；

图5为使用了本实用新型的双气源气动系统后的产品良率对比统计图。

附图标记说明：

1为第一CDA；2为3/8寸不锈钢管；21为3/8寸PCV管；4为第一气动控制器；5为第二气动控制器；3为5/32寸PCV管；31为电磁阀；32为气动阀；33为真空隔离阀；34为1/4寸PCV管；6为主反应腔传送系统；7为传送腔传送系统；8为气动冷却系统；9为1/4寸PCV管；10为第二CDA。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型的实施例做进一步详细说明。

本实用新型的目的在于提供一种双气源气动系统。图1示出的是本实用新型一实施例提供的双气源气动系统示意图，包括气动控制系统与气动冷却系统8。气动控制系统通过3/8寸不锈钢管2与第一CDA1连通。气动控制系统包含第一气动控制器4和第二气动控制器5，其中，第一气动控制器4在本实施例中具体是指真空腔制程气体气动气动控制器，第二气动控制器5在本实施例中具体是指系统解决气动控制器。3/8寸不锈钢管2进入机台后与气动控制系统连接的管线为3/8寸PCV管21。第二气动控制器5包含主反应腔传送系统6和传送腔传送系统7，其中，主反应腔传送系统6包括主反应腔、背压系统、传送系统；传送腔传送系统7包括传送腔、传送系统。第二气动控制器5通过5/32寸PCV管与主反应腔传送系统6和传送腔传送系统7相连。第二气动控制器5与主反应腔传送系统6之间设置有电磁阀31，该电磁阀31与主反应腔传送系统6之间设置有气动阀32和真空隔离阀33。该电磁阀31在电信号的作用下同时开闭气动阀32和真空隔离阀33，气动阀32的接头为5/32寸，真空隔离阀33的接头为1/4寸，电磁阀33、气动阀32、真空隔离阀33位于气动控制系统的末端，且CDA经过真空隔离阀33后管径由5/32寸变为1/4寸，管径变大，由于此种设计，如图2现有技术中所示的原单路CDA在到达真空隔离阀33后的实际气压较小，且容易受旁路气动阀32的CDA波动的影响，使得原机台经常发生真空隔离阀33开闭不顺畅的情况，导致机台的泄漏率、流量控制等指标异常。气动冷却系统8位于机台的末端，且处于开路常通的泄压状态，对于机台的CDA压力占用较多，由于此种设计，原单路CDA在控制气动冷却系统8中真空腔的上电极和腔壁的温度时，经常发生较大偏差。

在引入本实用新型提出的双气源气动系统后，气动控制系统仍使用原第一CDA1，并且第一CDA1的最大压强在8kg/cm²，使得到达气动控制系统末端的真空隔离阀33的气压得到保障，真空隔离阀33开闭顺畅；从图5可以看出，在更换为双气源气动系统后，产品的良率统计数据更加稳定，且有小幅提升，即表示真空隔离阀33开闭顺畅，机台的稳定性提高。给气动冷却系统8增配第二CDA10，通过1/4寸PCV管9与之相连，并且第二CDA10的最大压强在5kg/cm²，气压充足，使得气动冷却系统8中真空腔的上电极和腔壁的温控性能得到有效改善；在更换为双气源气动系统后，从图3可以看出，真空腔上电极温度偏差减小，从图4可以看出，产品的温度偏差减小，即表示真空腔壁的温度偏差减小。

以上是本实用新型公开的示例性实施例，但是应当注意，在不背离权利要求限定的本实用新型实施例公开的范围的前提下，可以进行多种改变和修改。尽管本实用新型实施例公开的元素可以以个体形式描述或要求，但除非明确限制为单数，也可以理解为多个。

所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本实用新型实施例公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本实用新型实施例的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，并存在如上所述的本实用新型实施例的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。因此，凡在本实用新型实施例的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型实施例的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种双气源气动系统，其特征在于，

包括气动控制系统和气动冷却系统；

所述气动控制系统与第一气源(1)连通，所述气动冷却系统(8)与第二气源连通(10)。

2.根据权利要求1所述的双气源气动系统，其特征在于，

所述气动控制系统包含第一气动控制器(4)以及第二气动控制器(5)。

3.根据权利要求2所述的双气源气动系统，其特征在于，

所述第二气动控制器(5)分别与主反应腔传送系统(6)以及传送腔传送系统(7)连接。

4.根据权利要求3所述的双气源气动系统，其特征在于，

所述主反应腔传送系统(6)包含依次连接的主反应腔、背压系统以及传送系统；以及，

所述传送腔传送系统(7)包含依次连接的传送腔以及传送系统。

5.根据权利要求4所述的双气源气动系统，其特征在于，

所述气动冷却系统(8)包含真空腔的上电极和腔壁的温度控制器。

6.根据权利要求5所述的双气源气动系统，其特征在于，

所述气动冷却系统(8)位于机台末端，为开路常通的泄压状态。

7.根据权利要求5或6所述的双气源气动系统，其特征在于，

所述第二气动控制器(5)与所述主反应腔传送系统(6)之间设置电磁阀(31)。

8.根据权利要求7所述的双气源气动系统，其特征在于，

所述电磁阀(31)与所述主反应腔传送系统(6)之间设置气动阀(32)和真空隔离阀(33)。

9.根据权利要求8所述的双气源气动系统，其特征在于，

所述气动阀(32)为5/32寸接头，所述真空隔离阀(33)为1/4寸接头。

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