CN203559118U - 一种多靶位磁控溅镀机 - Google Patents
一种多靶位磁控溅镀机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203559118U CN203559118U CN201320616366.2U CN201320616366U CN203559118U CN 203559118 U CN203559118 U CN 203559118U CN 201320616366 U CN201320616366 U CN 201320616366U CN 203559118 U CN203559118 U CN 203559118U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- chamber
- sputtering
- electricity slurry
- sputtering deposition
- target position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Abstract
本实用新型涉及一种多靶位磁控溅镀机,所述多靶位磁控溅镀机由包含上载室、电浆清洁室、溅射前缓冲室、第一溅镀室、第二溅镀室、过渡缓冲室与下载室在内的多个真空室水平连接而成;所述真空室内设有传送机构,传送机构上设有载具;所述电浆清洁室内配备有射频电浆产生器;所述第一溅镀室与第二溅镀室内部均设有多个电浆发射台;所述每台电浆发射台包含有多组ADL直流电浆源输出装置;所述上载室、电浆清洁室、溅射前缓冲室、第一溅镀室、第二溅镀室、过渡缓冲室与下载室均配备有至少一台排气装置;设置有多个溅镀室,使得产品的溅镀距离得以增加,提高了溅射镀膜的质量;在溅镀室之前设有溅射前缓冲室,可以确保产品全段均受到溅射镀膜。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种镀膜装置,尤其是一种多靶位磁控溅镀机。
背景技术
溅镀机现已成为薄膜制作工艺中不可或缺的一部分。目前普通型溅镀机由于内部结构单一,通常需要较长时间才能达到产品要求镀膜厚度;同时由于其真空度不高,产品在溅射镀膜加工过程中难以保持高真空状态,镀膜稳定性较差,镀膜纯度低;并且普通型溅镀机往往因为吸附能力饱和需要停机维护,从而影响了生产加工的工作效率。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种多靶位磁控溅镀机,其可以快速稳定的达到产品所需镀膜厚度,同时在溅射镀膜过程中保持高真空度。
为解决上述技术问题,本实用新型涉及了一种多靶位磁控溅镀机,其特征在于,所述多靶位磁控溅镀机设有包含上载室、电浆清洁室、溅射前缓冲室、第一溅镀室、第二溅镀室、过渡缓冲室与下载室在内的多个真空室;所述真空室内设有传送机构,传送机构上设有载具;所述电浆清洁室内配备有射频电浆产生器;所述第一溅镀室与第二溅镀室内部均设有多个电浆发射台;所述每台电浆发射台包含有多组ADL直流电浆源输出装置;所述上载室、电浆清洁室、溅射前缓冲室、第一溅镀室、第二溅镀室、过渡缓冲室与下载室均配备有至少一台排气装置。
所述载具的尺寸在496mm*646mm至506mm*1006mm之间。
所述多靶位磁控溅镀机中,上载室与电浆清洁室之间、电浆清洁室与溅射前缓冲室、第二溅镀室与过渡缓冲室、过渡缓冲室与下载室之间均设有至少一个阀门。所述溅射前缓冲室、第一溅镀室与第二溅镀室之间相互连通。
作为本实用新型的一种改进,所述第一溅镀室与第二溅镀室内部均设有2台电浆发射台,每台电浆发射台包含有3组ADL直流电浆源输出装置。
作为本实用新型的另一种改进,所述上载室与电浆清洁室均配备有机械泵浦与冷冻泵浦;所述溅射前缓冲室、第一溅镀室、第二溅镀室与过渡缓冲室均配备有冷冻泵浦;所述下载室配备有机械泵浦。
采用上述技术方案的多靶位磁控溅镀机,相比与现有技术具有如下优点:
1) 设置有多个溅镀室,使得产品的溅镀距离得以增加,提高了溅射镀膜的质量;在溅镀室之前设有溅射前缓冲室,可以为产品提供缓冲,确保产品全段均受到溅射镀膜;
2) 在溅镀室内设置多个电浆发射台,并在其内部设有多组ADL直流电浆源输出装置,可以使其同时对产品进行溅射镀膜,提高了镀膜的效率与质量;同时在进行彩镀时可以更为便捷的进行溅射镀膜;
3) 在每个真空室上均设有排气装置,可以有效提高溅镀机内部真空度,延长溅镀机吸收饱和时间,缩短溅镀机抽气时间,提高其工作效率;同时通过高真空度提高了产品镀膜的纯度,提高其镀膜质量。
附图说明
图1为本实用新型示意图;
附图标记说明:
1—上载室、2—电浆清洁室、3—溅射前缓冲室、4—第一溅渡室、5—第二溅渡室、6—过渡缓冲室、7—下载室、8—载具、9—射频电浆产生器、10—电浆发射台、11—阀门、12—机械泵浦、13—冷冻泵浦。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式,进一步阐明本实用新型,应理解下述具体实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。需要说明的是,下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向,词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
如图1所示的一种多靶位磁控溅镀机,其特征在于,所述多靶位磁控溅镀机设有包含上载室1、电浆清洁室2、溅射前缓冲室3、第一溅镀室4、第二溅镀室5、过渡缓冲室6与下载室7在内的多个真空室;所述真空室内设有传送机构,传送机构上设有载具8;所述电浆清洁室内配备有射频电浆产生器9;所述第一溅镀室与第二溅镀室内部均设有多个电浆发射台10;所述每台电浆发射台包含有多组ADL直流电浆源输出装置;所述上载室1、电浆清洁室2、溅射前缓冲室3、第一溅镀室4、第二溅镀室5、过渡缓冲室6与下载室7均配备有至少一台排气装置。
设置有多个溅镀室,使得产品的溅镀距离得以增加,提高了溅射镀膜的质量;在溅镀室之前设有溅射前缓冲室,可以为产品提供缓冲,确保产品全段均受到溅射镀膜。在溅镀室内设置多个电浆发射台,并在其内部设有多组ADL直流电浆源输出装置,可以使其同时对产品进行溅射镀膜,提高了镀膜的效率与质量;同时在进行彩镀时可以更为便捷的进行溅射镀膜。
所述载具8的尺寸为506mm*1006mm,相较普通型溅镀机,可以同时搭载多个产品。
所述多靶位磁控溅镀机中,上载室与电浆清洁室之间、电浆清洁室与溅射前缓冲室、第二溅镀室与过渡缓冲室、过渡缓冲室与下载室之间均设有至少一个阀门11。所述溅射前缓冲室、第一溅镀室与第二溅镀室之间相互连通。
作为本实用新型的一种改进,所述第一溅镀室与第二溅镀室内部均设有2台电浆发射台,每台电浆发射台包含有3组ADL直流电浆源输出装置。
作为本实用新型的另一种改进,所述上载室与电浆清洁室均配备有机械泵浦12与冷冻泵浦13;所述溅射前缓冲室、第一溅镀室、第二溅镀室与过渡缓冲室均配备有冷冻泵浦;所述下载室配备有机械泵浦。在每个真空室上均设有排气装置,可以有效提高溅镀机内部真空度,延长溅镀机吸收饱和时间,缩短溅镀机抽气时间,提高其工作效率;同时通过高真空度提高了产品镀膜的纯度,提高其镀膜质量。
本实用新型方案所公开的技术手段不仅限于上述实施方式所公开的技术手段,还包括由以上技术特征任意组合所组成的技术方案。
Claims (5)
1.一种多靶位磁控溅镀机,其特征在于,所述多靶位磁控溅镀机由包含上载室、电浆清洁室、溅射前缓冲室、第一溅镀室、第二溅镀室、过渡缓冲室与下载室在内的多个真空室水平连接而成;所述真空室内设有传送机构,传送机构上设有载具;所述电浆清洁室内配备有射频电浆产生器;所述第一溅镀室与第二溅镀室内部均设有多个电浆发射台;所述每台电浆发射台包含有多组ADL直流电浆源输出装置;所述上载室、电浆清洁室、溅射前缓冲室、第一溅镀室、第二溅镀室、过渡缓冲室与下载室均配备有至少一台排气装置。
2.按照权利要求1所述的多靶位磁控溅镀机,其特征在于,所述载具的尺寸在496mm*646mm至506mm*1006mm之间。
3.按照权利要求1所述的多靶位磁控溅镀机,其特征在于,所述多靶位磁控溅镀机中,上载室与电浆清洁室之间、电浆清洁室与溅射前缓冲室、第二溅镀室与过渡缓冲室、过渡缓冲室与下载室之间均设有至少一个阀门;所述溅射前缓冲室、第一溅镀室与第二溅镀室之间相互连通。
4.按照权利要求1所述的多靶位磁控溅镀机,其特征在于,所述第一溅镀室与第二溅镀室内部均设有2台电浆发射台,每台电浆发射台包含有3组ADL直流电浆源输出装置。
5.按照权利要求1所述的多靶位磁控溅镀机,其特征在于,所述上载室与电浆清洁室均配备有机械泵浦与冷冻泵浦;所述溅射前缓冲室、第一溅镀室、第二溅镀室与过渡缓冲室均配备有冷冻泵浦;所述下载室配备有机械泵浦。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320616366.2U CN203559118U (zh) | 2013-10-08 | 2013-10-08 | 一种多靶位磁控溅镀机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320616366.2U CN203559118U (zh) | 2013-10-08 | 2013-10-08 | 一种多靶位磁控溅镀机 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN203559118U true CN203559118U (zh) | 2014-04-23 |
Family
ID=50508849
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201320616366.2U Expired - Fee Related CN203559118U (zh) | 2013-10-08 | 2013-10-08 | 一种多靶位磁控溅镀机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN203559118U (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110512179A (zh) * | 2019-07-21 | 2019-11-29 | 江苏壹度科技股份有限公司 | 一种便于传送的半导体溅镀机 |
CN114875376A (zh) * | 2022-04-16 | 2022-08-09 | 黄石全洋光电科技有限公司 | 一种连续性真空镀膜生产线及镀膜工艺 |
-
2013
- 2013-10-08 CN CN201320616366.2U patent/CN203559118U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110512179A (zh) * | 2019-07-21 | 2019-11-29 | 江苏壹度科技股份有限公司 | 一种便于传送的半导体溅镀机 |
CN114875376A (zh) * | 2022-04-16 | 2022-08-09 | 黄石全洋光电科技有限公司 | 一种连续性真空镀膜生产线及镀膜工艺 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN203559118U (zh) | 一种多靶位磁控溅镀机 | |
WO2014124160A3 (en) | Base station controller connected to remote radio heads through an ethernet switch | |
MY183557A (en) | Plasma cvd device and plasma cvd method | |
MY152487A (en) | Arrangement and method for handling electronic components | |
CN103560171A (zh) | 一种太阳能电池片石墨舟饱和的方法 | |
CN105006444A (zh) | 一种高效晶硅太阳能电池片的生产工艺 | |
CN103866255B (zh) | 磁控溅射镀膜系统 | |
CN103741098A (zh) | 双体双面真空镀膜设备 | |
CN103650699A (zh) | 一种种子等离子体处理装置及其处理方法 | |
CN202322999U (zh) | 混合式布气管 | |
CN203753939U (zh) | 一种可旋转的自动供料加料机构 | |
CN202855694U (zh) | 电子管碳化台 | |
CN203608531U (zh) | 一种种子等离子体处理装置 | |
CN203999803U (zh) | 一种镀膜机抽真空系统 | |
CN103255386B (zh) | 动态沉积磁控溅射镀膜装置、方法及该方法制造的衬底 | |
CN203991151U (zh) | 一种将热熔压敏胶喷涂在真空绝热板表面的装置 | |
CN207233760U (zh) | 一种太阳能电池片钝化用Al2O3镀膜系统 | |
CN203668499U (zh) | 双体双面真空镀膜设备 | |
CN202030820U (zh) | 一种用于生成材料薄膜的源装置 | |
CN203222616U (zh) | 一种高曲度弧形阴极磁控溅射靶 | |
CN205315273U (zh) | 压缩机及其气缸总成 | |
KR20200081188A (ko) | 성막 장치, 성막 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법 | |
CN204298458U (zh) | 一种mocvd反应腔 | |
CN202662547U (zh) | 一种无极灯排气台 | |
CN105072155A (zh) | 一种网络压力卸载的整机柜服务器架构及设计方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140423 Termination date: 20141008 |
|
EXPY | Termination of patent right or utility model |