CN202855694U - 电子管碳化台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种电子管碳化台，工作台固定在机架上面，机械泵、扩散泵安装在机架的底部，机械泵通过真空管路依次连接扩散泵、冷阱、超高真空阀、碳化室，碳化室固定在工作台下方；碳化室内设有灯丝，还设有充苯阀接口；机械泵、扩散泵、冷阱、超高真空阀、灯丝都通过控制线路与PLC电气控制系统连接。本实用新型采用的结构简单有效，提高了效率和产品的质量，节约能耗。
Description
技术领域
本实用新型涉及电子元器件领域，尤其涉及一种电子管的碳化装置。
背景技术
在电子管的生产过程中，碳化工序是决定电子管品质的最为重要的工序。目前，双工位电子管碳化台都能基本满足生产的需要，工序步骤都是：将欲成形的电子管芯拄安装好，接好电极，进行排气，达到一定真空度的情况下，对电子管芯拄加载电压，开始去气及定形，最后将成形后的电子管芯拄，在一定真空度下通过加载电压进行碳化，达到工艺要求后取下。由于电子管芯柱碳化过程苯蒸气与高阀的调节流量比例，需要靠操作者的经验来调节，不能自动量化控制，影响产品质量的稳定性。
实用新型内容
本实用新型旨在提供电子管碳化台，结构简单有效，提高了效率和产品的质量，节约能耗。
为达到上述目的，本实用新型是采用以下技术方案实现的：
本实用新型公开的电子管碳化台，工作台固定在机架上面，机械泵、扩散泵安装在机架的底部，所述机械泵通过真空管路依次连接扩散泵、冷阱、超高真空阀、碳化室，所述碳化室固定在工作台下方；碳化室内设有灯丝，还设有充苯阀接口；机械泵、前级阀、扩散泵、冷阱、超高真空阀、灯丝都通过控制线路与PLC电气控制系统连接。
进一步的，所述扩散泵、超高真空阀之间设有系统过渡装置。
进一步的，所述碳化室设有冷却水夹层，所述冷却水夹层的进水口在下方，出水口在上方。
进一步的，所述碳化室内部设有测温装置，侧面设有测温观察窗。
进一步的，所述碳化室设有真空度测量接口。
进一步的，所述机械泵与扩散泵连接的真空管路中含有前级阀。
进一步的，所述超高真空阀与碳化室连接的真空管路中设有预抽阀接口、放空阀接口。
进一步的，所述电子管碳化台有二套，二套电子管碳化台的灯丝共用一个灯丝电源，组成双工位电子管碳化台。
本实用新型采用两套机械泵和扩散泵控制二个工位，一套灯丝电源同时控制二个工位，每个工位都设置有单独的超高真空阀和风冷空气电控流量阀，使电子管碳化的质量更稳定，生产过程中，如果一个工位的电子管出现意外，电气控制系统会立即关闭相应的超高真空阀和风冷空气电控流量阀，二套真空系统独立控制，结构简单有效，维护方便，自动化程度高，节约能源，提高生产效率。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图中：1-扩散泵，2-前级阀，3-冷阱，4-系统过渡装置、5-超高真空阀、6-预抽阀、7–放空阀、8-真空测量口、9-测温观察窗、10-碳化室、11-冷却水夹层，12-充苯阀接口，13-电子管，14-机架，15-工作台，16-机械泵。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图，对本实用新型进行进一步详细说明。
如图1所示，本实用新型公开的电子管碳化台，工作台15固定在机架14上面，机械泵16、扩散泵1安装在机架14的底部，机械泵16通过真空管路依次连接扩散泵1、冷阱3、超高真空阀5、碳化室10，碳化室10固定在工作台15下方；碳化室10内设有灯丝，还设有充苯阀接口12；机械泵16、扩散泵1、前级阀2、冷阱3、超高真空阀5、灯丝都通过控制线路与PLC电气控制系统连接。
进一步的，扩散泵1、超高真空阀5之间设有系统过渡装置4。
进一步的，碳化室10设有冷却水夹层11，冷却水夹层11的进水口在下方，出水口在上方。
进一步的，碳化室10内部设有测温装置，侧面设有测温观察窗9。
进一步的，碳化室10设有真空度测量接口8。
进一步的，机械泵16与扩散泵1连接的真空管路中含有前级阀2。
进一步的，超高真空阀5与碳化室10连接的真空管路中设有预抽阀接口6、放空阀接口7。
进一步的，电子管碳化台有二套，二套电子管碳化台的灯丝共用一个灯丝电源，组成双工位电子管碳化台。
本实用新型的工作原理如下：将待碳化的电子管13安装在工位上，启动电气控制系统，由于电气控制系统是PLC控制系统，所以电气控制系统会按照预设的碳化程序自动控制各部件工作。其工序是：启动机械16排气，当碳化室10内到达真空度参数时，启动扩散泵1，当到达高真空度参数时，待碳化的电子管13进行加载灯丝电压，当排气达到要求时，开始对电子管芯拄去气及定形，使待碳化的电子管冷却至预设温度后，启动灯丝电源、对电子管芯拄进行碳化。满足工艺要求以后，封闭电子管，电气控制系统自动关闭整个设备，即可取下碳化好的电子管。
当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。
Claims (8)
1.一种电子管碳化台，其特征在于：工作台（15）固定在机架（14）上面，机械泵（16）、扩散泵（1）安装在机架（14）的底部，所述机械泵（16）通过真空管路依次连接扩散泵（1）、冷阱（3）、超高真空阀（5）、碳化室（10），所述碳化室（10）固定在工作台（15）下方；碳化室（10）内设有灯丝，还设有充苯阀接口（12）；机械泵（16）、扩散泵（1）、前级阀（2）、冷阱（3）、超高真空阀（5）、灯丝都通过控制线路与PLC电气控制系统连接。
2.根据权利要求1所述的电子管碳化台，其特征在于：所述扩散泵（1）、超高真空阀（5）之间设有系统过渡装置（4）。
3.根据权利要求1所述的电子管碳化台，其特征在于：所述碳化室（10）设有冷却水夹层（11），所述冷却水夹层（11）的进水口在下方，出水口在上方。
4.根据权利要求1所述的电子管碳化台，其特征在于：所述碳化室（10）内部设有测温装置，侧面设有测温观察窗（9）。
5.根据权利要求1所述的电子管碳化台，其特征在于：所述碳化室（10）设有真空度测量接口（8）。
6.根据权利要求1所述的电子管碳化台，其特征在于：所述机械泵（16）与扩散泵（1）连接的真空管路中含有前级阀（2）。
7.根据权利要求1所述的电子管碳化台，其特征在于：所述超高真空阀（5）与碳化室（10）连接的真空管路中设有预抽阀接口（6）、放空阀接口（7）。
8.根据权利要求1-7所述的任意一种电子管碳化台，其特征在于：所述电子管碳化台有二套，二套电子管碳化台的灯丝共用一个灯丝电源，组成双工位电子管碳化台。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN 201220620157 CN202855694U (zh) | 2012-11-21 | 2012-11-21 | 电子管碳化台 |
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|---|---|---|---|
| CN 201220620157 CN202855694U (zh) | 2012-11-21 | 2012-11-21 | 电子管碳化台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202855694U true CN202855694U (zh) | 2013-04-03 |
Family
ID=47986863
Family Applications (1)
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| CN 201220620157 Expired - Lifetime CN202855694U (zh) | 2012-11-21 | 2012-11-21 | 电子管碳化台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202855694U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108427453A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-08-21 | 南京大学 | 一种超高真空下样品热处理工艺的自动化温度控制系统及方法 |
| CN114093746A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-02-25 | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 | 一种用于热表面电离质谱的灯丝碳化装置及方法 |
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2012
- 2012-11-21 CN CN 201220620157 patent/CN202855694U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108427453A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-08-21 | 南京大学 | 一种超高真空下样品热处理工艺的自动化温度控制系统及方法 |
| CN114093746A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-02-25 | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 | 一种用于热表面电离质谱的灯丝碳化装置及方法 |
| CN114093746B (zh) * | 2021-11-23 | 2023-05-26 | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 | 一种用于热表面电离质谱的灯丝碳化装置及方法 |
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