CN211029872U - 一种一体式平面台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种一体式平面台，所述平面台包括基板，所述基板上方设有上层板、下方设有下层板，所述上层板相对于所述基板做X向直线运动，所述基板相对于所述下层板做Y向直线运动；所述基板上侧面的两个相对端部均延伸设有上挡板，所述基板上侧面中间处延伸设置有上固定板；所述上层板的下侧面延伸设有与所述上挡板相对应的第一挡板，所述上挡板与所述第一挡板之间安装有上导轨。本实用新型采用三片一体式的结构，即上层板、基板、下层板三片安装成一体，压缩了整体装置的高度，降低了高度差，使其适用于多种高度较低的场合，并且，运动方向与测量方向在同一平面上，保证运动精度准确。

Description

一种一体式平面台

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备领域，具体是一种一体式平面台。

背景技术

在半导体加工行业中，平面工作台是不可或缺的工作平台，为了使平面工作台能够满足二维平面上各个加工流程的需要，所以就要求平面工作台的体积较小，并且高度差较小，适用于各个空间高度的场合。目前使用的平面台体积较大，结构不紧凑，不能很好的适应各种场合。

实用新型内容

为解决上述现有技术的缺陷，本实用新型提供一种一体式平面台，本实用新型采用三片一体式的结构，即上层板、基板、下层板三片安装成一体，压缩了整体装置的高度，降低了高度差，使其适用于多种高度较低的场合，并且，运动方向与测量方向在同一平面上，保证运动精度准确。

为实现上述技术目的，本实用新型采用如下技术方案：一种一体式平面台，所述平面台包括基板，所述基板上方设有上层板、下方设有下层板，所述上层板相对于所述基板做X向直线运动，所述基板相对于所述下层板做Y向直线运动；

所述基板上侧面的两个相对端部均延伸设有上挡板，所述基板上侧面中间处延伸设置有上固定板；所述上层板的下侧面延伸设有与所述上挡板相对应的第一挡板，所述上挡板与所述第一挡板之间安装有上导轨；所述上层板的下侧面中间延伸设有第一固定板，所述第一固定板的侧面上安装上光栅尺，所述上光栅尺匹配有上读数头，所述上读数头安装在所述上固定板上；所述上层板与所述基板之间设有两个上电机，两个所述上电机分别位于所述上固定板的两侧，所述上层板在所述上电机的带动下相对于所述基板做X向直线运动；

所述基板下侧面的两个相对端部均延伸设置有下挡板，所述下挡板与所述上挡板相互垂直设置，所述基板下侧面中间延伸设有下固定板；所述下层板的上侧面延伸设有与所述下挡板相对应的第二挡板，所述第二挡板与所述下挡板之间安装有下导轨；所述下层板的上侧面中间延伸设有第二固定板，所述第二固定板上固定有下读数头，所述下读数头匹配有下光栅尺，所述下光栅尺固定在所述下固定板的侧面；所述下层板与所述基板之间设有两个下电机，两个所述下电机分别位于所述下固定板的两侧，所述基板在所述下电机的带动下相对于所述下层板做Y向直线运动。

进一步地，所述上挡板与所述上固定板相互平行设置。

进一步地，所述下挡板与所述下固定板相互平行设置。

进一步地，所述上导轨有2个。

进一步地，所述下导轨有2个。

进一步地，所述上电机、所述下电机均采用直线电机。

进一步地，所述上导轨、下导轨均采用交叉滚柱导轨。

进一步地，所述基板一侧设有接线盒。

综上所述，本实用新型取得了以下技术效果：

1、本实用新型将平面台设置成三片一体式结构，将上层板、基板、下层板分别作为上、中、下三层，使得结构紧凑，高度较小，适应性强；

2、本实用新型在基板与上层板之间设置X方向上的导轨和直线电机，让上层板做X方向上的直线运动；在基板与下层板之间设置Y方向上的导轨和直线电机，让基板做Y方向上的直线运动，实现平面台的二维平面运动；

3、本实用新型利用上、下两组光栅尺和读数头实现X、Y方向上的信号反馈，保证本实用新型的精度。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的平面台示意图；

图2是图1中的俯视图；

图3是图2中的AA剖面图；

图4是图2中的BB剖面图；

图中，1、上层板，101、第一挡板，102、第一固定板，2、基板，201、上挡板，202、上固定板，203、下挡板，204、下固定板，3、下层板，301、第二挡板，302、第二固定板，4、上电机，5、上导轨，6、上读数头，7、上光栅尺，8、下导轨，9、下读数头，10、下光栅尺，11、下电机，12、接线盒。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

实施例：

如图1、图2所示，一种一体式平面台，该平面台包括基板2，基板2上方设有上层板1、下方设有下层板3，上层板1相对于基板2做X向直线运动，基板2相对于下层板3做Y向直线运动，上层板1作为工作平台，下层板3固定位置不动，在基板2的作用下，上层板1相对于下层板3做二维直线运动。

如图3所示是图2中AA剖面图，图中显示出基板2与上层板1之间的连接关系，具体如下，基板2上侧面的两个相对端部均延伸设有上挡板201，基板2上侧面中间处延伸设置有上固定板202，上挡板201与上固定板202相互平行设置。上层板1的下侧面延伸设有与上挡板201相对应的第一挡板101。上挡板201与第一挡板101之间安装有上导轨5，具体的，上导轨5有2个，且采用交叉滚柱导轨，基板2与上层板1之间沿着上导轨5运动。上层板1的下侧面中间延伸设有第一固定板102，第一固定板102的侧面上安装上光栅尺7，上光栅尺7匹配有上读数头6，上读数头6安装在上固定板202上，在上层板1相对于基板2运动时，上读数头6和上光栅尺7配合限位。上层板1与基板2之间设有两个上电机4，上电机4采用直线电机，两个上电机4分别位于上固定板202的两侧，上层板1在上电机4的带动下相对于基板2做X向直线运动。

如图4所示是图2的BB剖面图，图4中显示出基板2与下层板3之间的连接关系，具体如下：基板2下侧面的两个相对端部均延伸设置有下挡板203，下挡板203与上挡板201分别位于基板2的下方、上方且相互垂直设置，上挡板201在X向上延伸，下挡板203在Y向上延伸，实现二维上的运动。基板2下侧面中间延伸设有下固定板204，下挡板203与下固定板204相互平行设置。下层板3的上侧面延伸设有与下挡板203相对应的第二挡板301，第二挡板301与下挡板203之间安装有下导轨8，下导轨8有2个且采用交叉滚柱导轨。下层板3的上侧面中间延伸设有第二固定板302，第二固定板302上固定有下读数头9，下读数头9匹配有下光栅尺10，下光栅尺10固定在下固定板204的侧面。下层板3与基板2之间设有两个下电机11，下电机11采用直线电机，两个下电机11分别位于下固定板204的两侧，基板2在下电机11的带动下相对于下层板3做Y向直线运动。

基板2一侧设有接线盒12。

本实用新型在基板2的上侧面设置X方向的上导轨5、上电机4，使得上层板1能够在上电机4的带动下相对于基板2做X方向的直线运动，在基板2的下侧面设置Y方向的下导轨8、下电机11，使得基板2能够在下电机11的带动下相对于下层板3做Y方向的直线运动，实现工作平台的二维运动，本实用新型采用三片一体式的结构，即上层板、基板、下层板三片安装成一体，压缩了整体装置的高度，降低了高度差，使其适用于多种高度较低的场合，并且，运动方向与测量方向在同一平面上，保证运动精度准确。

以上所述仅是对本实用新型的较佳实施方式而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (8)

1.一种一体式平面台，其特征在于：所述平面台包括基板(2)，所述基板(2)上方设有上层板(1)、下方设有下层板(3)，所述上层板(1)相对于所述基板(2)做X向直线运动，所述基板(2)相对于所述下层板(3)做Y向直线运动；

所述基板(2)上侧面的两个相对端部均延伸设有上挡板(201)，所述基板(2)上侧面中间处延伸设置有上固定板(202)；所述上层板(1)的下侧面延伸设有与所述上挡板(201)相对应的第一挡板(101)，所述上挡板(201)与所述第一挡板(101)之间安装有上导轨(5)；所述上层板(1)的下侧面中间延伸设有第一固定板(102)，所述第一固定板(102)的侧面上安装上光栅尺(7)，所述上光栅尺(7)匹配有上读数头(6)，所述上读数头(6)安装在所述上固定板(202)上；所述上层板(1)与所述基板(2)之间设有两个上电机(4)，两个所述上电机(4)分别位于所述上固定板(202)的两侧，所述上层板(1)在所述上电机(4)的带动下相对于所述基板(2)做X向直线运动；

所述基板(2)下侧面的两个相对端部均延伸设置有下挡板(203)，所述下挡板(203)与所述上挡板(201)相互垂直设置，所述基板(2)下侧面中间延伸设有下固定板(204)；所述下层板(3)的上侧面延伸设有与所述下挡板(203)相对应的第二挡板(301)，所述第二挡板(301)与所述下挡板(203)之间安装有下导轨(8)；所述下层板(3)的上侧面中间延伸设有第二固定板(302)，所述第二固定板(302)上固定有下读数头(9)，所述下读数头(9)匹配有下光栅尺(10)，所述下光栅尺(10)固定在所述下固定板(204)的侧面；所述下层板(3)与所述基板(2)之间设有两个下电机(11)，两个所述下电机(11)分别位于所述下固定板(204)的两侧，所述基板(2)在所述下电机(11)的带动下相对于所述下层板(3)做Y向直线运动。

2.根据权利要求1所述的一种一体式平面台，其特征在于：所述上挡板(201)与所述上固定板(202)相互平行设置。

3.根据权利要求1所述的一种一体式平面台，其特征在于：所述下挡板(203)与所述下固定板(204)相互平行设置。

4.根据权利要求1所述的一种一体式平面台，其特征在于：所述上导轨(5)有2个。

5.根据权利要求1所述的一种一体式平面台，其特征在于：所述下导轨(8)有2个。

6.根据权利要求1所述的一种一体式平面台，其特征在于：所述上电机(4)、所述下电机(11)均采用直线电机。

7.根据权利要求1所述的一种一体式平面台，其特征在于：所述上导轨(5)、下导轨(8)均采用交叉滚柱导轨。

8.根据权利要求1所述的一种一体式平面台，其特征在于：所述基板(2)一侧设有接线盒(12)。

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