CN203503632U - 一种半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台 - Google Patents
一种半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型是一种半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台,包括L型底座,在所述L型底座的水平板内侧安装两条平行的水平直线导轨,在所述L型底座的竖直板内侧安装两条平行的竖直直线导轨,在所述水平直线导轨上方通过滑块设置一个楔形块,在所述楔形块的斜面上设置一倒楔形工作台,所述倒楔形工作台的竖直面与所述竖直直线导轨接触。采用本实用新型技术方案独创的楔形结构,定位升降台小巧紧凑、可实现高精度上下方向定位,且具有较大的上下方向行程。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备领域,具体涉及一种半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台。
背景技术
在半导体加工技术领域,需要用到高精度定位要求的精密测量仪器、精密装配机等,这些仪器上面需要配备多种高精度的定位工作台,而一般的X轴向和Y轴向的平面定位已经不能满足越来越复杂的定位要求,如果有一种能进行精确升降定位的工作台来进行Z轴定位,则它们组合起来便能进行复杂的空间定位,最大限度的满足各种定位要求。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术存在的问题,提供一种半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台。
为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本实用新型通过以下技术方案实现:
一种半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台,包括L型底座,在所述L型底座的水平板内侧安装两条平行的水平直线导轨,在所述L型底座的竖直板内侧安装两条平行的竖直直线导轨,在所述水平直线导轨上方通过滑块设置一个楔形块,在所述楔形块的斜面上设置一倒楔形工作台,所述倒楔形工作台的竖直面与所述竖直直线导轨接触。
进一步的,所述楔形块与所述L型底座的水平板通过所述水平直线导轨相对滑动。
进一步的,所述所述倒楔形工作台与所述所述L型底座的竖直板通过所述竖直直线导轨相对滑动。
进一步的,所述倒楔形工作台的斜面上安装有两条平行的倾斜直线导轨,所述倾斜直线导轨通过滑块与所述楔形块接触。
进一步的,所述楔形块与所述倒楔形工作台通过所述倾斜直线导轨相对滑动。
进一步的,所述楔形块内部固定有丝杠螺母,所述丝杠螺母内通过一根滚珠丝杠,所述滚珠丝杠一端与电机相联,所述电机安装在电机支架上,所述电机支架安装在所述L型底座的竖直板外侧。
进一步的,所述电机驱动所述楔形块在所述所述L型底座的水平板上作往复直线运动。
进一步的,所述楔形块向所述L型底座的竖直板方向移动时,所述倒楔形工作台上升,所述楔形块背向所述L型底座的竖直板方向移动时,所述倒楔形工作台下降。
进一步的,在所述水平直线导轨的一侧安装有传感器。
本实用新型的有益效果是:
采用本实用新型技术方案,所独创的楔形结构驱动升降台,定位升降台小巧紧凑、可实现高精度上下方向定位,定位精度达0.005mm,重复定位精度可达±0.001mm,作为空间定位上的Z轴,而且具有较大的上下方向行程。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中标号说明:1、L型底座,2、水平直线导轨,3、竖直直线导轨,4、滑块,5、楔形块,6、倒楔形工作台,7、倾斜直线导轨,8、滑块,9、丝杠螺母,10、滚珠丝杠,11、电机,12、电机支架,13、传感器。
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例,来详细说明本实用新型。
参照图1所示,一种半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台,L型底座1,在所述L型底座1的水平板内侧安装两条平行的水平直线导轨2,在所述L型底座1的竖直板内侧安装两条平行的竖直直线导轨3,在所述水平直线导轨2上方通过滑块4设置一个楔形块5,在所述楔形块5的斜面上设置一倒楔形工作台6,所述倒楔形工作台6的竖直面与所述竖直直线导轨3接触。
进一步的,所述楔形块5与所述L型底座1的水平板通过所述水平直线导轨2相对滑动。
进一步的,所述所述倒楔形工作台6与所述所述L型底座1的竖直板通过所述竖直直线导轨3相对滑动。
进一步的,所述倒楔形工作台6的斜面上安装有两条平行的倾斜直线导轨7,所述倾斜直线导轨7通过滑块8与所述楔形块5接触。
进一步的,所述楔形块5与所述倒楔形工作台(6)通过所述倾斜直线导轨7相对滑动。
进一步的,所述楔形块5内部固定有丝杠螺母9,所述丝杠螺母9内通过一根滚珠丝杠10,所述滚珠丝杠10一端与电机11相联,所述电机安装在电机支架12上,所述电机支架12安装在所述L型底座1的竖直板外侧。
进一步的,所述电机11驱动所述楔形块5在所述所述L型底座1的水平板上作往复直线运动。
进一步的,所述楔形块5向所述L型底座1的竖直板方向移动时,所述倒楔形工作台6上升,所述楔形块5背向所述L型底座1的竖直板方向移动时,所述倒楔形工作台6下降。
进一步的,在所述水平直线导轨2的一侧安装有传感器13。
本实用新型的原理:
在升降台工作时,电机11通过滚珠丝杠10驱动楔形块5在水平面上作直线运动,由于楔形块5独特的斜面设计,将水平位移分解成水平位移和竖直位移,竖直方向的位移带动同样具有斜面设计的倒楔形工作台6上下移动,从而达到Z轴向定位的目的,同时安装在水平直线导轨2一侧的传感器13,可以精确的捕捉这种Z方向的位置变化,并将它们转换为电信号反馈到主控系统,从而进行定位补偿,进一步提高精度。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台,包括L型底座(1),其特征在于,在所述L型底座(1)的水平板内侧安装两条平行的水平直线导轨(2),在所述L型底座(1)的竖直板内侧安装两条平行的竖直直线导轨(3),在所述水平直线导轨(2)上方通过滑块(4)设置一个楔形块(5),在所述楔形块(5)的斜面上设置一倒楔形工作台(6),所述倒楔形工作台(6)的竖直面与所述竖直直线导轨(3)接触。
2.根据权利要求1所述的半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台,其特征在于,所述楔形块(5)与所述L型底座(1)的水平板通过所述水平直线导轨(2)相对滑动。
3.根据权利要求1所述的半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台,其特征在于,所述倒楔形工作台(6)与所述L型底座(1)的竖直板通过所述竖直直线导轨(3)相对滑动。
4.根据权利要求1所述的半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台,其特征在于,所述倒楔形工作台(6)的斜面上安装有两条平行的倾斜直线导轨(7),所述倾斜直线导轨(7)通过滑块(8)与所述楔形块(5)接触。
5.根据权利要求4所述的半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台,其特征在于,所述楔形块(5)与所述倒楔形工作台(6)通过所述倾斜直线导轨(7)相对滑动。
6.根据权利要求1所述的半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台,其特征在于,所述楔形块(5)内部固定有丝杠螺母(9),所述丝杠螺母(9)内通过一根滚珠丝杠(10),所述滚珠丝杠(10)一端与电机(11)相联,所述电机安装在电机支架(12)上,所述电机支架(13)安装在所述L型底座(1)的竖直板外侧。
7.根据权利要求6所述的半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台,其特征在于,所述电机(11)驱动所述楔形块(5)在所述L型底座(1)的水平板上作往复直线运动。
8.根据权利要求1所述的半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台,其特征在于,在所述水平直线导轨(2)的一侧安装有传感器(14)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320551871.3U CN203503632U (zh) | 2013-09-06 | 2013-09-06 | 一种半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201320551871.3U CN203503632U (zh) | 2013-09-06 | 2013-09-06 | 一种半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN203503632U true CN203503632U (zh) | 2014-03-26 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103474384A (zh) * | 2013-09-06 | 2013-12-25 | 苏州凯欧机械科技有限公司 | 一种半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台 |
CN106386383A (zh) * | 2016-11-16 | 2017-02-15 | 贵州飞水利荣科技有限公司 | 一种猕猴桃种植装置 |
CN112453926A (zh) * | 2020-11-25 | 2021-03-09 | 姜堰经济开发区科创中心 | 一种超精密加工用高刚度升降装置 |
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2013
- 2013-09-06 CN CN201320551871.3U patent/CN203503632U/zh not_active Expired - Fee Related
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