CN216846093U - 一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置，包括上下导向机构、上下驱动机构；所述上下导向机构包括基板、交叉滚子滑台、固定支架；交叉滚子滑台的直线精度很高，能很好的保证整个上下导向机构一直在稳定平稳的状态下工作；所述上下驱动机构包括直线步进电机、固定基板、移动基板、传感器、移动触片；当所述直线步进电机通过所述直线步进电机推杆带动所述移动基板上下移动时，所述移动触片在某个位置时可挡住所述传感器所发出的信号，实现直线步进电机每次工作时的初始位置始终不变，保证了整个装置移动的位置精度非常高。本实用新型上下移动装置结构简单，性价比高，能满足大部份对上下位置精度要求很高的半导体检测设备上。

Description

一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置

技术领域

本实用新型涉及检测设备领域，尤其涉及一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置。

背景技术

高精度上下装置大量应用于半导体晶圆检测的设备上，晶圆检测时，晶圆首先要从传送带上脱离，晶圆脱离传送带就需要上下移动装置，目前比较多的上下移动装置中驱动力一般采用气缸或伺服电机两种方式，这两种方式都有比较明显的优缺点，气缸驱动的优点是成本低但是上下位置精度会比较低；伺服电机驱动的优点是上下位置精度高，但是结构会比较复杂从而会是成本比较高。

实用新型内容

鉴于目前上下移动装置存在的上述不足，本实用新型一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置采用交叉滚子滑台，滑动间隙非常小，直线精度很高，采用直线步进电机驱动，在保证上下位置高精度的同时其结构也非常简单，装置整体成本低，性价比高。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置，其特征在于：包括上下导向机构、上下驱动机构；所述上下导向机构包括基板、交叉滚子滑台、固定支架，所述交叉滚子滑台固定在所述基板上，所述固定支架固定在所述交叉滚子滑台上；所述上下驱动机构包括直线步进电机、固定基板、移动基板、传感器、移动触片，所述移动基板一面固定在所述固定支架上，另一面固定在所述直线步进电机推杆顶端，所述传感器固定在所述固定基板上，所述移动触片固定在所述移动基板上；当所述直线步进电机通过所述直线步进电机推杆带动所述移动基板上下移动时，所述移动触片在某个位置时可挡住所述传感器所发出的信号。

依照本实用新型的一个方面，所述上下驱动机构设有L形电机固定架，所述L形电机固定架一面固定在所述固定基板上，另一面固定在所述直线步进电机上；所述直线步进电机通过所述L形电机固定架与固定基板相连。

依照本实用新型的一个方面，所述固定支架呈凹形或呈中空方形，并设有第一支架面、第二支架面，所述第一支架面与所述第二支架面垂直相交，所述第一支架面与所述移动基板固定连接，所述第二支架面与所述交叉滚子滑台固定连接。

依照本实用新型的一个方面，所述固定基板上设有传感器固定支架，所述传感器固定在所述传感器固定支架上。

依照本实用新型的一个方面，所述移动基板呈凹形或呈中空方形，并设有第一移动基板面、第二移动基板面、第三移动基板面、第四移动基板面，所述第一移动基板面与所述第三移动基板面平行，且分别都垂直相交于所述第二移动基板面和所述第四移动基板面，所述第一移动基板面与所述直线步进电机推杆顶端固定连接，所述第三移动基板面与所述第一支架面固定连接。

依照本实用新型的一个方面，所述移动基板上设有触片固定块，所述触片固定块固定在所述第二移动基板面上或固定在所述第四移动基板面上，所述移动触片固定在所述触片固定块上。

本实用新型实施的优点：一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置，包括上下导向机构、上下驱动机构，结构简单；上下导向机构核心选用高精度交叉滚子滑台，高精度交叉滚子滑台的滑动间隙非常小，直线精度很高，能很好的保证整个上下导向机构一直在稳定平稳的状态下工作。上下驱动机构驱动力通过高精度直线步进电机提供，每次工作时，直线步进电机会先归位到电机初始位置，电机初始位置由位置固定的传感器确定，因此直线步进电机每次工作时的初始位置始终是不变，从而保证了整个装置移动的位置精度非常高，本实用新型装置能满足大部份对上下位置精度要求很高的半导体检测设备上。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型所述的一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置的立体示意图；

图2为本实用新型所述的一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置的正面图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1、图2所示，一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置，包括上下导向机构20、上下驱动机构30；上下导向机构20包括基板203、交叉滚子滑台201、固定支架202，交叉滚子滑台201固定在基板203上，固定支架202固定在交叉滚子滑台201上，交叉滚子滑台201的滑动间隙非常小，直线精度很高，能很好的保证整个上下导向机构20一直在稳定平稳的状态下工作；上下驱动机构30包括直线步进电机310、固定基板305、移动基板304、传感器311、移动触片302，移动基板304一面固定在固定支架202上，另一面固定在直线步进电机310推杆顶端，传感器311固定在固定基板305上，移动触片302固定在移动基板304上；当直线步进电机310通过直线步进电机310推杆带动移动基板304上下移动时，移动触片302在某个位置时可挡住传感器311所发出的信号，从而实现通过直线步进电机310上推杆的上下移动来带动移动基板304上下移动，同时也带动固定支架202上下移动，保证了整个装置上下移动高精度、高平稳性，结构简单。

在实际应用中，上下驱动机构30设有L形电机固定架301，L形电机固定架301一面固定在固定基板305上，另一面固定在直线步进电机310上，直线步进电机310通过L形电机固定架301与固定基板305相连，实现直线步进电机310悬空固定。

在实际应用中，固定支架202呈凹形或呈中空方形，并设有第一支架面204、第二支架面205，第一支架面204与第二支架205面垂直相交，第一支架面204与移动基板304固定连接，第二支架面205与交叉滚子滑台201固定连接，方便工作人员安装维修。

在实际应用中，传感器311采用U形光电传感器，固定基板305上设有传感器固定支架312，U形光电传感器311固定在传感器固定支架312上，方便调节U形光电传感器311的位置，提高U形光电传感器311的精度，同时也方便维护。

在实际应用中，移动基板304呈凹形或呈中空方形，并设有第一移动基板面306、第二移动基板面307、第三移动基板面308、第四移动基板面309，第一移动基板面306与第三移动基板208面平行，且分别都垂直相交于第二移动基板面307和第四移动基板面309，方便工作人员安装维修；第一移动基板面306与直线步进电机310推杆顶端固定连接，第三移动基板面308与第一支架面204固定连接，实现通过直线步进电机310上推杆的上下移动来带动带动固定支架202平稳上下移动。

在实际应用中，移动基板304上设有触片固定块303，触片固定块303固定在第二移动基板面307上或固定在第四移动基板面309上，移动触片302固定在触片固定块303上，方便调节移动触片302位置，提高触感精度，同时也方便维护。

工作原理：上下驱动机构30中直线步进电机310每次工作前都会向下移动到初始位置，初始位置通过U形光电传感器311控制，U形光电传感器311通过螺栓固定在传感器固定支架312上，传感器固定支架312通过螺栓固定在固定基板305上，移动触片302通过螺栓固定在触片固定块303上，触片固定块303通过螺栓固定在移动基板304上，移动触片302会跟着移动基板304上下移动，直线步进电机310向下复位时使电机推杆向下移动，直线步进电机310推杆向下会带动移动基板304向下，移动基板304向下会带动移动触片302向下，当移动触片302进过U形光电传感器311U形槽且移动触片302挡住了U形光电传感器311光电信号位置，U形光电传感器311会给上位机发一个从低到高数字信号，表示直线步进电机310已经到了最低初始位置，上位机马上发信号控制直线步进电机310停止向下移动，随后上位机再会发往上移动的指令，控制直线步进电机310推杆向上推出，向上后停止的位置由上位机控制。推杆向上最终驱动移动基板304向上，从而使这个机构向上移动。

本实用新型实施的优点：一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置，采用交叉滚子滑台201，滑动间隙非常小，直线精度很高；采用直线步进电机驱动310，在保证上下位置精度的同时其结构也非常简单，装置整体价格便宜，性价比高，能应用于大量需要在测试时需要上下移动的自动化半导体检测设备中。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本领域技术的技术人员在本实用新型公开的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (6)

1.一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置，其特征在于：包括上下导向机构、上下驱动机构；所述上下导向机构包括基板、交叉滚子滑台、固定支架，所述交叉滚子滑台固定在所述基板上，所述固定支架固定在所述交叉滚子滑台上；所述上下驱动机构包括直线步进电机、固定基板、移动基板、传感器、移动触片，所述移动基板一面固定在所述固定支架上，另一面固定在所述直线步进电机推杆顶端，所述传感器固定在所述固定基板上，所述移动触片固定在所述移动基板上；当所述直线步进电机通过所述直线步进电机推杆带动所述移动基板上下移动时，所述移动触片在某个位置时可挡住所述传感器所发出的信号。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置，其特征在于：所述上下驱动机构设有L形电机固定架，所述L形电机固定架一面固定在所述固定基板上，另一面固定在所述直线步进电机上；所述直线步进电机通过所述L形电机固定架与固定基板相连。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置，其特征在于：所述固定支架呈凹形或呈中空方形，并设有第一支架面、第二支架面，所述第一支架面与所述第二支架面垂直相交，所述第一支架面与所述移动基板固定连接，所述第二支架面与所述交叉滚子滑台固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置，其特征在于：所述固定基板上设有传感器固定支架，所述传感器固定在所述传感器固定支架上。

5.根据权利要求3所述的一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置，其特征在于：所述移动基板呈凹形或呈中空方形，并设有第一移动基板面、第二移动基板面、第三移动基板面、第四移动基板面，所述第一移动基板面与所述第三移动基板面平行，且分别都垂直相交于所述第二移动基板面和所述第四移动基板面，所述第一移动基板面与所述直线步进电机推杆顶端固定连接，所述第三移动基板面与所述第一支架面固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于半导体晶圆检测的上下移动装置，其特征在于：所述移动基板上设有触片固定块，所述触片固定块固定在所述第二移动基板面上或固定在所述第四移动基板面上，所述移动触片固定在所述触片固定块上。

Images