CN210952733U - 一种同心测角摆台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种同心测角摆台，所述摆台包括上摆动块、上座、下摆动块、下座，所述上摆动块沿着所述上座在X方向摆动，所述上座固定在所述下摆动块上，所述下摆动块沿着所述下座在Y方向上摆动，所述上摆动块与所述下摆动块同心摆动。本实用新型利用上弧形直线电机、下弧形直线电机的直驱作用，代替现有技术中的蜗轮蜗杆，保证运动的精度和准确度，也保证运动的可控性，本实用新型结构紧凑，增大了承载力，保证了摆动的同心度。

Description

一种同心测角摆台

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体是一种同心测角摆台。

背景技术

在半导体加工技术领域中，一般会用到定位装置来辅助加工，摆台是其中一种定位装置，现有摆台利用涡轮蜗杆，存在着承载力小，体积大、定位精度和分辨率低的缺点。

实用新型内容

为解决上述现有技术的缺陷，本实用新型提供一种同心测角摆台，本实用新型利用上弧形直线电机、下弧形直线电机的直驱作用，代替现有技术中的蜗轮蜗杆，保证运动的精度和准确度，也保证运动的可控性，本实用新型结构紧凑，增大了承载力，保证了摆动的同心度。

为实现上述技术目的，本实用新型采用如下技术方案：一种同心测角摆台，所述摆台包括上摆动块、上座、下摆动块、下座，所述上摆动块沿着所述上座在X方向摆动，所述上座固定在所述下摆动块上，所述下摆动块沿着所述下座在Y方向上摆动，所述上摆动块与所述下摆动块同心摆动；

所述上摆动块包括基板，所述基板下侧面为第三弧形面，所述第三弧形面上开有凹槽，所述凹槽内开有固定槽；所述基板的其中一端设有第一滑块，所述第一滑块的下侧面为第一弧形面，所述第一弧形面的外侧设有第一挡板，所述第一挡板的下侧面为弧形面；所述基板的另一端设有第二滑块，所述第二滑块上设有第四弧形面，所述第四弧形面的一侧设有第二挡板，所述第二挡板底面为弧形面；

所述上座包括底板，所述底板上设有围板，所述围板内开有上槽，所述上槽内固定有上弧形直线电机的定子，所述上弧形直线电机的动子固定在所述固定槽内，所述上弧形直线电机沿X方向设置；所述围板嵌入在所述凹槽内；所述底板上侧面两端分别设有第五弧形面，所述第五弧形面在X方向上延伸，两个所述第五弧形面分别与所述第一挡板下侧面、所述第二挡板下侧面相对应设置；所述底板与所述第一弧形面之间、所述底板与所述第四弧形面之间均安装有上弧形导轨，所述上弧形导轨沿X方向设置；

所述下摆动块与所述下座之间安装有下弧形导轨，所述下弧形导轨沿Y方向设置；所述下摆动块内安装有下弧形直线电机，所述下弧形直线电机沿Y方向设置，所述下摆动块在所述下弧形直线电机的作用下沿着所述下弧形导轨摆动。

进一步地，所述下摆动块的结构与所述上摆动块的结构相同，所述下座与所述上座的结构相同；所述上摆动块沿着X方向摆动，所述下摆动块沿着Y方向摆动。

进一步地，所述下摆动块的尺寸大于所述上摆动块的尺寸；所述下座的尺寸大于所述上座的尺寸。

进一步地，所述上摆动块与所述上座之间安装有上光栅尺以及与所述上光栅尺匹配的上读数头。

进一步地，所述下摆动块与所述下座之间安装有下光栅尺以及与所述下光栅尺匹配的下读数头。

进一步地，所述上摆动块、所述下摆动块的摆动角度为±10°。

进一步地，所述第一弧形面、所述第三弧形面、所述第四弧形面、所述第一挡板的下侧面、所述第二挡板110底面的弧形角度相同；所述上弧形导轨的弧形角度与所述第三弧形面的弧形角度相同。

综上所述，本实用新型取得了以下技术效果：

1、本实用新型上摆动块的上侧面作为工作平台，能够在上弧形直线电机、下弧形直线电机的带动下沿着X、Y方向摆动，并且，上摆动块与下摆动块同心摆动，保证工作平台的稳定；

2、本实用新型利用上弧形直线电机、下弧形直线电机的直驱作用，代替现有技术中的蜗轮蜗杆，保证运动的精度和准确度，也保证运动的可控性；

3、本实用新型结构紧凑，增大了承载力，保证了摆动的同心度；

4、本实用新型利用弧形直驱电机驱动，弧形光栅尺和读数头进行测量，定位精度和分辨率能达到很高的精度。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的摆台结构示意图；

图2是上摆动块的结构示意图；

图3是上摆动块的侧视图；

图4是上座的结构示意图；

图5是上座的侧视图；

图6是图1的俯视图；

图7是图6的AA方向剖面图；

图8是图6的BB方向剖面图；

图中，1、上摆动块，101、基板，102、第一滑块，103、第一弧形面，104、第一挡板，105、固定槽，106、第三弧形面，107、凹槽，108、第二滑块，109、第四弧形面，2、上座， 201、底板，202、第五弧形面，203、围板，204、上槽，3、下摆动块，4、下座，5、上弧形直线电机，501、动子，502、定子，6、上弧形导轨，7、上读数头，8、上光栅尺，9、下弧形直线电机，10、下弧形导轨，11、下读数头，12、下光栅尺。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

实施例：

如图1所示，一种同心测角摆台，摆台包括上摆动块1、上座2、下摆动块3、下座4，上摆动块1沿着上座2在X方向摆动，上座2固定在下摆动块3上，下摆动块3沿着下座4 在Y方向上摆动，上摆动块1与下摆动块3同心摆动。

如图2所示是上摆动块1的结构示意图，如图3所示是上摆动块1的侧视图，上摆动块 1包括基板101，基板101下侧面为第三弧形面106，第三弧形面106上开有凹槽107，凹槽107内开有固定槽105，用于固定X方向的电机。基板101的其中一端设有第一滑块102，第一滑块102的下侧面为第一弧形面103，第一弧形面103的外侧设有第一挡板104，第一挡板104的下侧面为弧形面，第一挡板104与第一滑块102固定连接或者一体成型式设置。基板101的另一端设有第二滑块108，第二滑块108上设有第四弧形面109，第四弧形面109 的一侧设有第二挡板110，第二挡板110底面为弧形面，第二挡板110与第二滑块108固定连接或者一体成型式设置。具体的，第一弧形面103、第三弧形面106、第四弧形面109、第一挡板104的下侧面、第二挡板110底面的弧形角度相同，均在X方向上延伸。

如图4所示是上座2的结构示意图，如图5所示是上座2的侧视图，如图7所示是图6的AA剖面图并显示出上摆动块1与上座2之间的连接关系，如图4、图5所示，上座2包括底板201，底板201上设有围板203，围板203呈长方体形状，围板203内开有上槽204，上槽204内固定有上弧形直线电机5的定子502，上弧形直线电机5的动子501固定在固定槽 105内(图7示)，上弧形直线电机5沿X方向设置，实现上摆动块1的X方向摆动。本实施例中，围板203嵌入在凹槽107内(图7示)，上摆动块1罩在围板203的外侧，利于上摆动块1的摆动。如图4所示，底板201上侧面两端分别设有第五弧形面202，第五弧形面202 在X方向上延伸，两个第五弧形面202分别与第一挡板104下侧面、第二挡板110下侧面相对应设置(图7示)。如图7所示，底板201与第一弧形面103之间、底板201与第四弧形面109之间均安装有上弧形导轨6，上弧形导轨6沿X方向设置，使得上摆动块1沿着上弧形导轨6相对于上座2在X方向摆动。具体的，上弧形导轨6的弧形角度与第三弧形面106 的弧形角度相同，保持摆动的方向与角度准确，提高准确率。

如图8所示是图6的BB方向剖面图，显示出下摆动块3与下座4之间的连接关系，具体的，下摆动块3与上座2固定连接，且随着上座2的摆动而摆动。本实施例中，下摆动块 3的结构与上摆动块1的结构相同，下座4与上座2的结构相同；其中，上摆动块1沿X方向放置，使得上摆动块1沿着X方向摆动，下摆动块3沿Y方向放置，使得下摆动块3沿着 Y方向摆动。本实施例中，为了增大摆台的承载力，下摆动块3的尺寸大于上摆动块1的尺寸，下座4的尺寸大于上座2的尺寸。下摆动块3与下座4的具体结构在此不再赘述。

如图8所示，下摆动块3与下座4之间安装有下弧形导轨10，下弧形导轨10沿Y方向设置；下摆动块3内安装有下弧形直线电机9，下弧形直线电机9沿Y方向设置，下摆动块 3在下弧形直线电机9的作用下沿着下弧形导轨10摆动。具体的，下弧形导轨10、下弧形直线电机9的安装位置分别与上弧形导轨6、上弧形直线电机5的安装位置相同，区别仅在于方向不同，在此不再赘述。

本实施例中，上摆动块1与上座2之间安装有上光栅尺8以及与上光栅尺8匹配的上读数头7；下摆动块3与下座4之间安装有下光栅尺12以及与下光栅尺12匹配的下读数头11。本实施例利用两组光栅尺和读数头来反馈摆动信号，保证摆动的精度与准确度。

本实施例中，上摆动块1、下摆动块3的摆动角度为±10°，满足大部分场合的需要。

本实施例中，上摆动块1的上侧面作为工作平台，能够在上弧形直线电机5、下弧形直线电机9的带动下沿着X、Y方向摆动，并且，上摆动块1与下摆动块3同心摆动，保证工作平台的稳定。本实用新型利用上弧形直线电机5、下弧形直线电机9的直驱作用，代替现有技术中的蜗轮蜗杆，保证运动的精度和准确度，也保证运动的可控性。

以上所述仅是对本实用新型的较佳实施方式而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (7)

1.一种同心测角摆台，其特征在于：所述摆台包括上摆动块(1)、上座(2)、下摆动块(3)、下座(4)，所述上摆动块(1)沿着所述上座(2)在X方向摆动，所述上座(2)固定在所述下摆动块(3)上，所述下摆动块(3)沿着所述下座(4)在Y方向上摆动，所述上摆动块(1)与所述下摆动块(3)同心摆动；

所述上摆动块(1)包括基板(101)，所述基板(101)下侧面为第三弧形面(106)，所述第三弧形面(106)上开有凹槽(107)，所述凹槽(107)内开有固定槽(105)；所述基板(101)的其中一端设有第一滑块(102)，所述第一滑块(102)的下侧面为第一弧形面(103)，所述第一弧形面(103)的外侧设有第一挡板(104)，所述第一挡板(104)的下侧面为弧形面；所述基板(101)的另一端设有第二滑块(108)，所述第二滑块(108)上设有第四弧形面(109)，所述第四弧形面(109)的一侧设有第二挡板(110)，所述第二挡板(110)底面为弧形面；

所述上座(2)包括底板(201)，所述底板(201)上设有围板(203)，所述围板(203)内开有上槽(204)，所述上槽(204)内固定有上弧形直线电机(5)的定子(502)，所述上弧形直线电机(5)的动子(501)固定在所述固定槽(105)内，所述上弧形直线电机(5)沿X方向设置；所述围板(203)嵌入在所述凹槽(107)内；所述底板(201)上侧面两端分别设有第五弧形面(202)，所述第五弧形面(202)在X方向上延伸，两个所述第五弧形面(202)分别与所述第一挡板(104)下侧面、所述第二挡板(110)下侧面相对应设置；所述底板(201)与所述第一弧形面(103)之间、所述底板(201)与所述第四弧形面(109)之间均安装有上弧形导轨(6)，所述上弧形导轨(6)沿X方向设置；

所述下摆动块(3)与所述下座(4)之间安装有下弧形导轨(10)，所述下弧形导轨(10)沿Y方向设置；所述下摆动块(3)内安装有下弧形直线电机(9)，所述下弧形直线电机(9)沿Y方向设置，所述下摆动块(3)在所述下弧形直线电机(9)的作用下沿着所述下弧形导轨(10)摆动。

2.根据权利要求1所述的一种同心测角摆台，其特征在于：所述下摆动块(3)的结构与所述上摆动块(1)的结构相同，所述下座(4)与所述上座(2)的结构相同；所述上摆动块(1)沿着X方向摆动，所述下摆动块(3)沿着Y方向摆动。

3.根据权利要求2所述的一种同心测角摆台，其特征在于：所述下摆动块(3)的尺寸大于所述上摆动块(1)的尺寸；所述下座(4)的尺寸大于所述上座(2)的尺寸。

4.根据权利要求1所述的一种同心测角摆台，其特征在于：所述上摆动块(1)与所述上座(2)之间安装有上光栅尺(8)以及与所述上光栅尺(8)匹配的上读数头(7)。

5.根据权利要求1所述的一种同心测角摆台，其特征在于：所述下摆动块(3)与所述下座(4)之间安装有下光栅尺(12)以及与所述下光栅尺(12)匹配的下读数头(11)。

6.根据权利要求1所述的一种同心测角摆台，其特征在于：所述上摆动块(1)、所述下摆动块(3)的摆动角度为±10°。

7.根据权利要求1所述的一种同心测角摆台，其特征在于：所述第一弧形面(103)、所述第三弧形面(106)、所述第四弧形面(109)、所述第一挡板(104)的下侧面、所述第二挡板(110)底面的弧形角度相同；所述上弧形导轨(6)的弧形角度与所述第三弧形面(106)的弧形角度相同。

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