CN210246581U - 一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构 - Google Patents
一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210246581U CN210246581U CN201921293313.5U CN201921293313U CN210246581U CN 210246581 U CN210246581 U CN 210246581U CN 201921293313 U CN201921293313 U CN 201921293313U CN 210246581 U CN210246581 U CN 210246581U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- linear motor
- guide rail
- moving part
- service life
- rail mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Abstract
本实用新型公开了一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构，包括滚动副、直线电机定子、直线电机动子、读头以及光栅，滚动副由底座、2条导向轨道、运动部件以及2条滚子组成，直线电机定子固设于U型直槽的底面，直线电机动子设置在直线电机定子的上方且固设于运动部件的下端；读头固设于底座的上端一侧；光栅固设于运动部件的一侧部且其运行轨迹能够被读头感应。安装于底座上的导向轨道，其两个导向面的夹角为90度，上导向面与水平面的夹角为0到45度之间，不同的直线电机动子与定子的磁吸力不同，通过不同的夹角，调整导轨面滚动副的受力情况，使整个导轨副上下两面的受力均匀，提高寿命和刚性和精度。
Description
技术领域
本实用新型涉及LED、IC半导体金线键合机领域，具体的说是涉及一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构。
背景技术
随着半导体技术的不断发展，芯片不断向着小型化、高密度、高集成度和低成本的方向发展。金线键合机又是半导体封装的关键设备，为了适应这是需求，金线键合机必须达到高精度，高速度，高寿命，低成本的特点，为了因应这些需求，金线键合机的运动平台都是采用直线电机的方案，而带铁芯的直线电机因其高推力，低成本而被广泛使用，但是这种电机也有一个缺点就是动子和定子间的磁铁吸力很大，需要造成用来导向的导轨往往寿命和精度，刚性达不到要求。
鉴于现有技术的上述缺陷和市场需求，迫切需要研发一种新型的金线键合机的运动机构。
实用新型内容
针对现有技术中的不足，本实用新型要解决的技术问题在于提供了一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构。
为解决上述技术问题，本实用新型通过以下方案来实现：一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构，包括：
一由底座、2条导向轨道、运动部件以及2条滚子组成的滚动副，所述底座的上端部设置有U型直槽，在所述U型直槽的两个相向侧面上端角部设置有对称的直角槽，所述2条导向轨道对称的固设于两个直角槽上，2条滚子分别活动设置在2条导向轨道上并能够沿所述2 条导向轨道做X轴向移动，所述运动部件的两侧分别与所述2条滚子连接；
一直线电机定子以及一直线电机动子，所述直线电机定子固设于所述U型直槽的底面，所述直线电机动子设置在所述直线电机定子的上方且固设于所述运动部件的下端；
一读头，固设于所述底座的上端一侧；
一光栅，固设于所述运动部件的一侧部且其运行轨迹能够被所述读头感应。
进一步的，所述导向轨道，其与所述滚子的两个连接面相互垂直，其中，导向轨道的上导向面与水平面夹角的角度为0-45度。
进一步的，所述直线电机定子和所述直线电机动子之间留有气隙。
进一步的，所述直线电机定子和所述直线电机动子之间能够产生磁吸力，通过所述滚动副提供的约束力，保持所述直线电机定子和所述直线电机动子之间留有气隙。
进一步的，所述运动部件除了X轴方向以外的若干个自由度被约束。
进一步的，所述运动部件除了X轴方向以外的5个自由度被约束。
进一步的，所述滚子为直角L型。
进一步的，所述运动部件与所述滚子的相接面为直角面。
相对于现有技术，本实用新型的有益效果是：
1、安装于底座上的导向轨道，其两个导向面的夹角为90度，上导向面与水平面的夹角为0到45度之间，不同的直线电机动子与定子的磁吸力不同，通过不同的夹角，调整导轨面滚动副的受力情况，使整个导轨副上下两面的受力均匀，提高寿命和刚性和精度。
2、其结构简单紧凑，易于装配，成本低，可有效提高企业效益。
附图说明
图1为本实用新型导轨机构的结构示意图。
图2为本实用新型导轨机构的爆炸示意图。
图3为本实用新型导轨机构上的导向轨道导轨面于水平面夹角的示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。显然，本实用新型所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
实施例1，本实用新型的具体结构如下：
请参照附图1-3，本实用新型的一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构，包括：
一由底座1、2条导向轨道2、运动部件5以及2条滚子6组成的滚动副，所述底座1的上端部设置有U型直槽11，在所述U型直槽11的两个相向侧面上端角部设置有对称的直角槽12，所述2条导向轨道2对称的固设于两个直角槽12上，2条滚子6分别活动设置在2条导向轨道2上并能够沿所述2条导向轨道2做X轴向移动，所述运动部件5的两侧分别与所述2条滚子6连接；
一直线电机定子3以及一直线电机动子4，所述直线电机定子3固设于所述U型直槽11 的底面，所述直线电机动子4设置在所述直线电机定子3的上方且固设于所述运动部件5的下端；
一读头7，固设于所述底座1的上端一侧；
一光栅8，固设于所述运动部件5的一侧部且其运行轨迹能够被所述读头7感应。
本实施例的一种优选技术方案：所述导向轨道2，其与所述滚子6的两个连接面相互垂直，其中，导向轨道2的上导向面与水平面夹角的角度为0-45度。
本实施例的一种优选技术方案：所述直线电机定子3和所述直线电机动子4之间留有气隙。
本实施例的一种优选技术方案：所述直线电机定子3和所述直线电机动子4之间能够产生磁吸力，通过所述滚动副提供的约束力，保持所述直线电机定子3和所述直线电机动子4 之间留有气隙。
本实施例的一种优选技术方案：所述运动部件5除了X轴方向以外的若干个自由度被约束。
本实施例的一种优选技术方案：所述运动部件5除了X轴方向以外的5个自由度被约束。
本实施例的一种优选技术方案：所述滚子6为直角L型。
本实施例的一种优选技术方案：所述运动部件5与所述滚子6的相接面为直角面。
实施例2：
下面对本实用新型的金线键合机的导轨机构的工作原理进行说明：
1.所述底座1、2条导向轨道2、一运动部件5以及由保持架固定的2条滚子6组成了一对导向的滚动副，预紧后的X方向移动的运动部件5除了X方向以外的5个自由度被约束；5个自由度是指运动部件5通过导向轨道2的角度(0-45度)调节，还有5个方向能够运动，这5个方向根据实际需求设定。
2.所述直线电机定子3和直线电机动子4之间有磁吸力，通过所述的滚动副提供约束力，保证直线电机定子3和直线电机动子4之间留有气隙。
3.X方向移动的运动部件5在所述的直线电机动子4的电机力驱动下作X方向的运动。
4.X方向移动的运动部件5的位置由固定在运动部件5上的光栅8和固定在底座1上的读头7组成的位置检测系统确定。
综上所述，本发明通过特别设计的导向轨道的角度，该导轨机构不但提供高精度的导向作用，同时在直线电机动子和定子的磁铁吸力下保持高寿命。
以上所述仅为本实用新型的优选实施方式，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (8)
1.一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构，其特征在于，包括：
一由底座(1)、2条导向轨道(2)、运动部件(5)以及2条滚子(6)组成的滚动副，所述底座(1)的上端部设置有U型直槽(11)，在所述U型直槽(11)的两个相向侧面上端角部设置有对称的直角槽(12)，所述2条导向轨道(2)对称的固设于两个直角槽(12)上，2条滚子(6)分别活动设置在2条导向轨道(2)上并能够沿所述2条导向轨道(2)做X轴向移动，所述运动部件(5)的两侧分别与所述2条滚子(6)连接；
一直线电机定子(3)以及一直线电机动子(4)，所述直线电机定子(3)固设于所述U型直槽(11)的底面，所述直线电机动子(4)设置在所述直线电机定子(3)的上方且固设于所述运动部件(5)的下端；
一读头(7)，固设于所述底座(1)的上端一侧；
一光栅(8)，固设于所述运动部件(5)的一侧部且其运行轨迹能够被所述读头(7)感应。
2.根据权利要求1所述的一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构，其特征在于，所述导向轨道(2)，其与所述滚子(6)的两个连接面相互垂直，其中，导向轨道(2)的上导向面与水平面夹角的角度为0-45度。
3.根据权利要求1所述的一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构，其特征在于，所述直线电机定子(3)和所述直线电机动子(4)之间留有气隙。
4.根据权利要求3所述的一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构，其特征在于，所述直线电机定子(3)和所述直线电机动子(4)之间能够产生磁吸力，通过所述滚动副提供的约束力，保持所述直线电机定子(3)和所述直线电机动子(4)之间留有气隙。
5.根据权利要求1所述的一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构，其特征在于，所述运动部件(5)除了X轴方向以外的若干个自由度被约束。
6.根据权利要求5所述的一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构，其特征在于，所述运动部件(5)除了X轴方向以外的5个自由度被约束。
7.根据权利要求1所述的一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构，其特征在于，所述滚子(6)为直角L型。
8.根据权利要求1所述的一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构，其特征在于，所述运动部件(5)与所述滚子(6)的相接面为直角面。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921293313.5U CN210246581U (zh) | 2019-08-05 | 2019-08-05 | 一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921293313.5U CN210246581U (zh) | 2019-08-05 | 2019-08-05 | 一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210246581U true CN210246581U (zh) | 2020-04-03 |
Family
ID=69965112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921293313.5U Active CN210246581U (zh) | 2019-08-05 | 2019-08-05 | 一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210246581U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111431372A (zh) * | 2020-04-28 | 2020-07-17 | 歌尔股份有限公司 | 直线电机 |
-
2019
- 2019-08-05 CN CN201921293313.5U patent/CN210246581U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111431372A (zh) * | 2020-04-28 | 2020-07-17 | 歌尔股份有限公司 | 直线电机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI460047B (zh) | Sliding table and XY direction movable sliding table | |
| CN108206155B (zh) | 一种层架式解耦的xy高速运动平台 | |
| JP2001025229A (ja) | 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置 | |
| CN214591001U (zh) | 大负载精密气浮直线平台 | |
| CN111900896B (zh) | 气浮运动台 | |
| CN101404438B (zh) | 大推力短行程音圈电机 | |
| CN210246581U (zh) | 一种高寿命高精度的金线键合机的导轨机构 | |
| TW201705655A (zh) | 直線運動線性模組及應用該直線運動線性模組的位置控制伺服系統 | |
| CN102723842A (zh) | 多自由度长行程磁悬浮工作台 | |
| TW202012094A (zh) | 滑台裝置 | |
| CN208571892U (zh) | 直线位移平台及水平位移机构 | |
| CN110729230B (zh) | 一种超高精度平面气浮工件台 | |
| CN213386542U (zh) | 输送线系统及转运装置 | |
| CN110524500B (zh) | 磁浮导轨运动平台 | |
| JP4534194B2 (ja) | 可動コイル型リニアモータ及びその固定子の磁気回路の組立方法 | |
| JP4335704B2 (ja) | Ｘ−ｙステージ装置 | |
| CN210952733U (zh) | 一种同心测角摆台 | |
| JP3299629B2 (ja) | Ｘｙテーブル | |
| KR20050085223A (ko) | 구동장치 | |
| CN213094048U (zh) | 一种直线电机 | |
| CN114709998A (zh) | 直线运动平台 | |
| KR20210148401A (ko) | 리니어 모터 및 이를 포함하는 와이어 본딩 기계 | |
| CN216621003U (zh) | 一种气浮工作台 | |
| CN219746695U (zh) | 承载机构及激光加工设备 | |
| CN209998755U (zh) | 一种基于t型气浮导轨的运动平台 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |