CN214591001U - 大负载精密气浮直线平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了大负载精密气浮直线平台，包括：基座，其上相对设有平行的气浮导轨；滑台组件，其滑动设置于所述气浮导轨上，所述滑台组件两侧相对设有多个多孔节流的气浮块，所述气浮块的出气方向朝向所述气浮导轨的侧壁，所述滑台组件底部设有多个小孔节流单元的出气孔；直线驱动组件，直线驱动组件驱动所述滑台组件滑动。本实用新型具有在多孔节流的气浮块和小孔节流单元均加载气流，可以使得滑台组件侧面和底面与气浮导轨之间形成气膜，从而实现无接触滑动，以及避免气浮块与气浮导轨发生抱死现象的有益效果。

Description

大负载精密气浮直线平台

技术领域

本实用新型涉及气浮平台技术领域。更具体地说，本实用新型涉及一种大负载精密气浮直线平台。

背景技术

在精密加工、精密测量及半导体等行业中直线运动平台得到广泛的应用，而随着这些行业的不断发展，对于直线运动平台的运行精度要求也越来越高。气浮平台因其无接触支撑，能够快速运动和精准定位，而得到越来越广泛的应用。但在现有的气浮平台中，气浮支撑多采用小孔节流的方式，气浮导轨和气浮块之间很容易发生抱死现象，同时小孔节流的方式很容易发生气锤自激现象，导致设备出现高频啸叫、失稳，刚性差，定位精度低，以及所承受负载能力差。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题，并提供至少后面将说明的优点。

本实用新型还有一个目的是提供一种大负载精密气浮直线平台，在多孔节流的气浮块和小孔节流单元均加载气流，可以使得滑台组件侧面和底面与气浮导轨之间形成气膜，从而实现无接触滑动，以及避免气浮块与气浮导轨发生抱死现象。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种大负载精密气浮直线平台，包括：

基座，其上相对设有平行的气浮导轨；

滑台组件，其滑动设置于所述气浮导轨上，所述滑台组件两侧相对设有多个多孔节流的气浮块，所述气浮块的出气方向朝向所述气浮导轨的侧壁，所述滑台组件底部设有多个小孔节流单元的出气孔；

直线驱动组件，直线驱动组件驱动所述滑台组件滑动。

优选的是，所述气浮导轨呈长方体形，所述滑台组件包括顶板和位于所述顶板两侧的侧板，所述顶板底部设有多个凸台，多个凸台底部分别与两个气浮导轨顶部接触，所述凸台上设有所述出气孔，两个侧板的内壁分别与两个气浮导轨的侧壁接触。

优选的是，所述气浮块和所述出气孔均与气源连通。

优选的是，还包括一对预载板，一对预载板相对卡设于所述基座两侧，所述预载板具有铁磁性，两个侧板底部均设有永磁铁，所述永磁铁与所述预载板磁吸引连接。

优选的是，所述滑台组件上设有气管接头，所述滑台组件上对应设有与所述气管接头连通的气流通道，所述气流通道上设有小孔节流单元，所述小孔节流单元与所述出气孔连通，所述气浮块与所述气流通道连通。

优选的是，在两个气浮导轨之间设置有限制滑台组件行程范围的防撞块。

优选的是，所述直线驱动组件为直线电机，所述直线电机的定子和光栅尺均安装于所述基座上，并且位于两个气浮导轨之间，所述直线电机的动子和读数头均安装于所述滑台组件底部。

优选的是，还包括无尘拖链，其设置于其中一个预载板上，所述无尘拖链用于穿设为所述气浮块和出气孔通气的气管，用于穿设为所述直线驱动组件提供电力和信号的线缆。

优选的是，所述滑台组件的其中一侧设有拖链板，所述无尘拖链的一端固定于所述拖链板上，另一端固定于所述预载板上。

优选的是，所述基座的材质为花岗石。

本实用新型至少包括以下有益效果：

第一、在多孔节流的气浮块和小孔节流单元均加载气流，可以使得滑台组件侧面和底面与气浮导轨之间形成气膜，从而实现无接触滑动，以及避免气浮块与气浮导轨发生抱死现象。

第二、小孔节流和多孔节流形成的类U字形气膜，确保气浮直线平台的高刚性、高稳定性和高定位精度，由上述性能决定可以提升气浮直线平台的负载能力。

第三、直线电机的动子可以驱动滑台组件沿气浮导轨在行程内来回移动，读数头和光栅尺可以直接得出移动距离，实现精准控制。将直线电机的定子和光栅尺安装于基座上，固定牢靠，空间利用率高。

本实用新型的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本实用新型的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。

附图说明

图1为本实用新型的其中一种技术方案的所述气浮直线平台立体结构示意图；

图2为本实用新型的其中一种技术方案的所述滑台组件的立体结构示意图；

图3为本实用新型的其中一种技术方案的所述侧板的截面图；

图4为本实用新型的其中一种技术方案的所述滑台组件的侧面结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

需要说明的是，下述实施方案中所述实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，所述试剂和材料，如无特殊说明，均可从商业途径获得；在本实用新型的描述中，术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，并不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如图1～4所示，本实用新型提供一种大负载精密气浮直线平台，包括：

基座1，其上相对设有平行的气浮导轨2；气浮导轨2可以是在基座1上开设沟槽形成，如此气浮导轨2与基座1的结合更加稳定，以适应高负载高速度的移动加载。

滑台组件3，其滑动设置于所述气浮导轨2上，所述滑台组件3两侧相对设有多个多孔节流的气浮块4，所述气浮块4的出气方向朝向所述气浮导轨2的侧壁，所述滑台组件3底部设有多个小孔节流单元37的出气孔34；

直线驱动组件，直线驱动组件驱动所述滑台组件3滑动。

在上述技术方案中，在多孔节流的气浮块4和小孔节流单元37均加载气流，可以使得滑台组件3侧面和底面与气浮导轨2之间形成气膜，实现无接触滑动，并且由于多孔节流的作用，可以使气浮导轨2与气浮块4之间形成气膜，避免发生抱死现象。以及小孔节流和多孔节流形成的类U字形气膜，确保气浮直线平台的高刚性、高稳定性和高定位精度，由上述性能决定可以提升气浮直线平台的负载能力。

在另一种技术方案中，所述气浮导轨2呈长方体形，所述滑台组件3包括顶板31和位于所述顶板31两侧的侧板32，所述顶板31底部设有多个凸台33，多个凸台33底部分别与两个气浮导轨2顶部接触，所述凸台33上设有所述出气孔34，凸台33可以是与顶板31一体成形，两个侧板32的内壁分别与两个气浮导轨2的侧壁接触。

在上述技术方案中，多个凸台33的设计与气浮导轨2一一接触，两个侧板32搭接于气浮导轨2外侧，两者结合使得滑台组件3与气浮导轨2接触限位稳定，在凸台33上设置出气孔34，使得小孔节流单元37气流稳定，可以在顶板31与气浮导轨2上表面间形成稳定的气膜。

在另一种技术方案中，多个气浮块4分别嵌设于两个侧板32上。可以使气浮块4固定更稳定。

在另一种技术方案中，所述气浮块4和所述出气孔34均与气源连通。可以充足的为气浮块4和出气孔34提供气流。

在另一种技术方案中，还包括一对预载板6，一对预载板6相对卡设于所述基座1两侧，所述预载板6具有铁磁性，两个侧板32底部均设有永磁铁7，永磁铁7嵌入所述侧32板内，所述永磁铁7与所述预载板6磁吸引连接。

在上述技术方案中，两个侧板32底部的永磁铁7，与基座1底部安装的预载板6一起提供垂直方向的恒定预载力，使得滑台组件3可以稳定的位于气浮导轨2上。

在另一种技术方案中，所述滑台组件3上设有气管接头35，所述滑台组件3上对应设有与所述气管接头35连通的气流通道36，所述气流通道36上设有小孔节流单元37，所述小孔节流单元37与所述出气孔34连通，所述气浮块4与所述气流通道36连通。将气源接到气管接头35后，即可向气流通道36通往气流，并可通过小孔节流单元37和出气孔34，可以稳定的为小孔节流单元37提供气流，以及稳定的为气浮块4提供气流。

在另一种技术方案中，在两个气浮导轨2之间设置有限制滑台组件3行程范围的防撞块11。在预设移动行程两端设置防撞块11，具有限位防撞作用。

在另一种技术方案中，所述直线驱动组件为直线电机，所述直线电机的定子51和光栅尺52均安装于所述基座1上，并且位于两个气浮导轨2之间，所述直线电机的动子53和读数头54均安装于所述滑台组件3底部。直线电机的动子53可以驱动滑台组件3沿气浮导轨2在行程内来回移动，读数头54和光栅尺52可以直接得出移动距离，实现精准控制。将直线电机的定子51和光栅尺52安装于基座1上，固定牢靠，空间利用率高。

在另一种技术方案中，还包括无尘拖链8，其设置于其中一个预载板6上，所述无尘拖链8用于穿设为所述气浮块4和出气孔34通气的气管，用于穿设为所述直线驱动组件提供电力和信号的线缆。可以使气管和线缆整齐，并且采用无尘拖链8收纳，可以实现线缆和气管的低摩擦跟随运动。

在另一种技术方案中，所述滑台组件3的其中一侧设有拖链板38，所述无尘拖链8的一端固定于所述拖链板38上，另一端固定于所述预载板6上。将无尘拖链8设置在一侧，布置整齐，减少气管和线缆零乱。

在另一种技术方案中，所述基座1的材质为花岗石。花岗石质地坚硬密实，耐酸碱，稳固形强。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (10)

1.大负载精密气浮直线平台，其特征在于，包括：

基座，其上相对设有平行的气浮导轨；

滑台组件，其滑动设置于所述气浮导轨上，所述滑台组件两侧相对设有多个多孔节流的气浮块，所述气浮块的出气方向朝向所述气浮导轨的侧壁，所述滑台组件底部设有多个小孔节流单元的出气孔；

直线驱动组件，直线驱动组件驱动所述滑台组件滑动。

2.如权利要求1所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，所述气浮导轨呈长方体形，所述滑台组件包括顶板和位于所述顶板两侧的侧板，所述顶板底部设有多个凸台，多个凸台底部分别与两个气浮导轨顶部接触，所述凸台上设有所述出气孔，两个侧板的内壁分别与两个气浮导轨的侧壁接触。

3.如权利要求1所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，所述气浮块和所述出气孔均与气源连通。

4.如权利要求2或3所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，还包括一对预载板，一对预载板相对卡设于所述基座两侧，所述预载板具有铁磁性，两个侧板底部均设有永磁铁，所述永磁铁与所述预载板磁吸引连接。

5.如权利要求1所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，所述滑台组件上设有气管接头，所述滑台组件上对应设有与所述气管接头连通的气流通道，所述气流通道上设有小孔节流单元，所述小孔节流单元与所述出气孔连通，所述气浮块与所述气流通道连通。

6.如权利要求1所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，在两个气浮导轨之间设置有限制滑台组件行程范围的防撞块。

7.如权利要求1所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，所述直线驱动组件为直线电机，所述直线电机的定子和光栅尺均安装于所述基座上，并且位于两个气浮导轨之间，所述直线电机的动子和读数头均安装于所述滑台组件底部。

8.如权利要求1所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，还包括无尘拖链，其设置于其中一个预载板上，所述无尘拖链用于穿设为所述气浮块和出气孔通气的气管，用于穿设为所述直线驱动组件提供电力和信号的线缆。

9.如权利要求8所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，所述滑台组件的其中一侧设有拖链板，所述无尘拖链的一端固定于所述拖链板上，另一端固定于所述预载板上。

10.如权利要求1所述的大负载精密气浮直线平台，其特征在于，所述基座的材质为花岗石。

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