CN211015011U - 一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,包括:工作台,工作台上表面设有导轨,与导轨滑动连接有导杆,导杆一端垂直连接有定位杆,定位杆上连接有把手,导杆另一端连接有用于定位基片的V字型的定位板,工作台上设有与导杆平行的限位板,限位板与工作台滑动连接可平行的向导杆移动,限位板靠近导杆一端垂直连接有多个限位柱,在限位板上自靠近定位板一端的限位柱向靠近把手一端的限位柱的长度尺寸逐渐递减。本实用新型可应用于多种尺寸的圆形基片的圆心定位,不仅能够提高定位精度,且能够保证胶层厚度的一致性和均匀性。
Description
技术领域
本实用新型属于纳米压印技术领域,尤其涉及一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置。
背景技术
纳米压印技术通过机械转移的手段达到了超高的分辨率,是一种新型的微纳加工技术,纳米压印的基本步骤包括在基片上涂覆胶液,压印,固化,分离等,而压印胶的涂覆方式有旋涂、滴胶、滚涂、喷雾等方式,其中旋涂最为常见。
旋涂原理即在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液,旋转速度,旋转时间和基片间的粘滞系数而不同。在旋涂开始之前,需把基片放置在吸盘中心,保证基片的中心和吸盘的中心同轴,若基片圆心偏离吸盘圆心,会影响基片在高速旋转时的稳定性,影响胶层厚度的一致性和均匀性。
CN208945650 U公开了一种高精度定位圆心的工装,从导向孔内将工件插入定位座内的锥形孔内,然后向左压定位座至最大位移处,调节托座高度,使托座上的工件保持水平,调节后再通过固定机构将定位座固定,即可确保工件左端面的圆心与加工孔同轴。但是由于该装置通过弧形圆槽进行定位,在对不同尺寸基片的进行圆心定位时,需更换弧形圆槽,不能同时应用于多种尺寸的基片的圆心定位,降低了工作效率。
发明内容
本实用新型针对上述的技术问题,提出一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,此装置可应用于多种尺寸的圆形基片的圆心定位,不仅能够提高定位精度,且能够保证胶层厚度的一致性和均匀性。
为了达到上述目的,本实用新型采用的技术方案为:
一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,包括:工作台,所述工作台上表面设有导轨,与所述导轨滑动连接有导杆,所述导杆一端垂直连接有定位杆,所述定位杆上连接有把手,所述导杆另一端连接有用于定位基片的V字型的定位板,所述工作台上设有与所述导杆平行的限位板,所述限位板与工作台滑动连接可平行的向所述导杆移动,所述限位板靠近所述导杆一端垂直连接有多个限位柱,在所述限位板上自靠近所述定位板一端的限位柱向靠近所述把手一端的限位柱的长度尺寸逐渐递减。
作为优先的,上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,在所述导轨靠近所述定位杆一端设置有用于限定所述导杆运动行程的端部限位板。
作为优先的,上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,在所述限位柱上靠近所述导杆一端设置有磁体。
作为优先的,上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,所述圆心定位装置还包括控制器。
作为优先的,上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,与所述导杆靠近所述定位杆一端连接有用于驱动所述导杆沿导轨移动的驱动机构A,所述驱动机构A与所述控制器电性连接。
作为优先的,上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,在所述限位柱上靠近所述导杆一端以及端部限位板上分别设置有限位开关,所述限位开关分别与所述控制器电性连接。
作为优先的,上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,所述驱动机构A为液压缸、气缸或者电动缸中的任意一种。
作为优先的,上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,所述工作台上设置有导槽,所述限位板上设置有与所述导槽适配的滑块。
作为优先的,上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,与所述限位板连接有可驱动所述滑块沿导槽移动的驱动机构B,所述驱动机构B与控制器电性连接。
作为优先的,上述适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,所述驱动机构B为液压缸、气缸或者电动缸中的任意一种。
与现有技术相比,本实用新型的优点和积极效果在于:
结构合理,使用简单方便,每根限位柱的位置对应基片的相应尺寸,通过移动限位板使其靠近导轨,导杆在移动过程中会使定位杆卡在相应的限位柱上,此时,基片的圆心与真空吸盘的圆心重合,在定位基片与真空吸盘圆心时不接触基片表面,避免了污染和损坏基片,限位柱可按照需求,设置多种长度,满足多种尺寸的要求,实现基片的准确定位,提高定位精度,保证胶层的厚度的一致性和均匀性。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的结构示意图一;
图2为本实用新型工作过程图一;
图3为本实用新型工作过程图二;
图4为本实用新型侧视图;
图5为本实用新型的结构示意图二。
具体实施方式
下面,通过示例性的实施方式对本实用新型进行具体描述。然而应当理解,在没有进一步叙述的情况下,一个实施方式中的元件、结构和特征也可以有益地结合到其他实施方式中。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,实施例1,参见图1至4,为手动定位的方式,具体包括:工作台1,工作台1的高度与旋涂胶液的真空吸盘2的高度相同,而基片3放置在真空吸盘2的上表面,基片3在本实施例中采用圆形基片,真空吸盘2也为圆形,
工作台1上表面设有导轨11,与导轨11滑动连接有导杆12,导杆12长度方向的中心线与真空吸盘2的圆心相对应,
导杆12远离真空吸盘2一端垂直连接有定位杆13,定位杆13上连接有把手14,通过推拉把手14使导杆12在导轨11内移动进而使导杆12靠近或远离真空吸盘2,导杆12另一端连接有用于定位基片3的V字型的定位板15,V字型的定位板15的两条V型边的交点与真空吸盘2的圆心相对应,基片3与定位板15的两条V型边相切,
为了适用不同尺寸的基片3,工作台1上设有与导杆12平行的限位板16,限位板16与工作台1滑动连接可平行的向导杆12移动,滑动连接的方式具体在工作台1上设置有与导杆12垂直的导槽20,限位板16上设置有与导槽20适配的滑块,滑块在图中未给出,限位板16靠近导杆12一端垂直连接有多个限位柱17,在限位板16上自靠近定位板15一端的限位柱171向靠近把手14一端的限位柱172、173、174的长度尺寸逐渐递减,每根限位柱17的位置对应基片3的相应尺寸,通过移动限位板16使其靠近导轨11,导杆12在移动过程中会使定位杆13卡在相应的限位柱17上,此时,基片3的圆心与真空吸盘2的圆心重合,并通过真空吸盘2将基片3固定,在限位柱17上靠近导杆12一端设置有磁体18,磁体18为磁铁,定位杆13为可与磁体18相吸的金属材料以此来实现导杆12所处位置的固定,在导轨11靠近定位杆13一端的端部设置有用于限定导杆12运动行程的端部限位板19。
实施例2,参见图5,实施例2采用自动控制的方式,与实施例1不同之处在于,圆心定位装置还包括控制器,控制器采用MCU或PLC控制,工作台1上与导杆12靠近定位杆13一端连接有用于驱动导杆12沿导轨11移动的驱动机构A30,驱动机构A30与控制器电性连接,驱动机构A30为液压缸、气缸或者电动缸中的任意一种;
在限位柱17上靠近导杆11一端以及端部限位板上分别设置有限位开关40,限位开关40分别与控制器电性连接;
与限位板16连接有可驱动滑块沿导槽20移动的驱动机构B50,驱动机构B50与控制器电性连接,驱动机构B50为液压缸、气缸或者电动缸中的任意一种。
以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于,包括:工作台,所述工作台上表面设有导轨,与所述导轨滑动连接有导杆,所述导杆一端垂直连接有定位杆,所述定位杆上连接有把手,所述导杆另一端连接有用于定位基片的V字型的定位板,所述工作台上设有与所述导杆平行的限位板,所述限位板与工作台滑动连接可平行的向所述导杆移动,所述限位板靠近所述导杆一端垂直连接有多个限位柱,在所述限位板上自靠近所述定位板一端的限位柱向靠近所述把手一端的限位柱的长度尺寸逐渐递减。
2.根据权利要求1所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:在所述导轨靠近所述定位杆一端设置有用于限定所述导杆运动行程的端部限位板。
3.根据权利要求1所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:在所述限位柱上靠近所述导杆一端设置有磁体。
4.根据权利要求2所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:所述圆心定位装置还包括控制器。
5.根据权利要求4所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:与所述导杆靠近所述定位杆一端连接有用于驱动所述导杆沿导轨移动的驱动机构A,所述驱动机构A与所述控制器电性连接。
6.根据权利要求5所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:在所述限位柱上靠近所述导杆一端以及端部限位板上分别设置有限位开关,所述限位开关分别与所述控制器电性连接。
7.根据权利要求5所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:所述驱动机构A为液压缸、气缸或者电动缸中的任意一种。
8.根据权利要求4所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:所述工作台上设置有导槽,所述限位板上设置有与所述导槽适配的滑块。
9.根据权利要求8所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:与所述限位板连接有可驱动所述滑块沿导槽移动的驱动机构B,所述驱动机构B与控制器电性连接。
10.根据权利要求9所述的适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,其特征在于:所述驱动机构B为液压缸、气缸或者电动缸中的任意一种。
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