CN205353575U - 一种曝光机用升降对位装置 - Google Patents
一种曝光机用升降对位装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN205353575U CN205353575U CN201521129413.6U CN201521129413U CN205353575U CN 205353575 U CN205353575 U CN 205353575U CN 201521129413 U CN201521129413 U CN 201521129413U CN 205353575 U CN205353575 U CN 205353575U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plate
- exposure machine
- alignment device
- cylinder
- machine according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种曝光机用升降对位装置，包括：升降机构及设于升降机构上平面运动的对位机构，所述升降机构包括传动部分和减重部分；所述传动部分由伺服电机通过同步带轮驱动丝杠上的滚珠花键上下运动，所述滚珠花键固定插接在下固定板上，所述丝杠顶端与上固定板固定连接；所述减重部分包括至少一个配重气缸，所述配重气缸的缸筒固定插接在下固定板上，配重气缸的活塞杆顶端与上固定板固定连接。本实用新型的升降机构带动上固定板相对于下固定板上下运动，从而使得对位机构能够处于不同高度的位置，对位机构在平面上运动，与升降机构配合实现在不同高度位置的基板与底片的对位动作。
Description
技术领域
本实用新型属于印制线路板行业曝光制程设备技术领域，特别涉及一种曝光机用升降对位装置。
背景技术
在印制线路板曝光制程中，是将底片上的线路图像移印到基板上，图像移印一个非常重要的问题是，如何快速准确的将底片与基板上的靶位对准。现有的双工位曝光机上通常设置有两个不同高度的台框，每个台框内上下装夹底片和基板，再由对位机构调整下方基板的平面位置使其与上方底片对准。但是，对于两个台框，在对位机构对接不同高度的基板时，都需要人工手动操作调整对位机构的高度，才能使对位机构上的对接板与基板的底面紧密贴合，上述操作过程费时费力，导致曝光机生产效率低下，工作稳定性差，加工精度低。
鉴于此，如何设计一种可以在不同高度位置完成对位动作的升降对位装置，是业界亟待解决的问题。
实用新型内容
为解决现有技术的不足，本实用新型是提出一种可以在不同高度位置完成对位动作的升降对位装置，以实现在不同高度位置的基板与底片的对位动作。
本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案是：一种曝光机用升降对位装置，包括：升降机构及设于升降机构上平面运动的对位机构，所述升降机构包括传动部分和减重部分；所述传动部分由伺服电机通过同步带轮驱动丝杠上的滚珠花键上下运动，所述滚珠花键固定插接在下固定板上，所述丝杠顶端与上固定板固定连接；所述减重部分包括至少一个配重气缸，所述配重气缸的缸筒固定插接在下固定板上，配重气缸的活塞杆顶端与上固定板固定连接。
作为优选方案，所述上固定板上方设有对接板，所述对位机构设于上固定板和对接板之间，对位机构包括四组同一平面上能够沿两个垂直方向滑动并且能旋转的滑台，由三个电机通过丝杠驱动滑台中的两组带动对接板同步平面运动。
作为优选方案，所述对接板顶面设有用于配合连接基板底面的基板卡槽。
作为优选方案，所述升降机构还包括插固在下固定板上的直线轴承以及与直线轴承配合的导杆，所述导杆一端与上固定板固定连接，另一端与直线轴承活动连接。
作为优选方案，所述同步带轮的传动比为5：3。
作为优选方案，所述配重气缸为四个，且四个配重气缸以丝杠为中心对称布置，四个配重气缸的气路并联连接液压控制阀。
作为优选方案，所述液压控制阀与0.5-0.6MPa的气源相连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果：本实用新型设置有升降机构，升降机构的传动部分由伺服电机通过同步带轮驱动丝杠上的滚珠花键上下直线运动，从而使得对位机构能够处于不同高度的位置。对位机构在平面上运动，与升降机构配合实现在不同高度位置的基板与底片的对位动作。本实用新型实现了双工位曝光机在不同高度完成对位的动作，具有响应速度快，精度高，结构紧凑等特点。同时，本实用新型的出现还能够实现通过工控控制完成对位动作，以达到高效稳定的生产。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，其中：
图1为本实用新型升降对位装置的结构示意图；
图2为本实用新型升降对位装置的结构示意图二；
图3为本实用新型升降机构的结构示意图；
图4为本实用新型四支配重气缸的气动原理图。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述。下述实施例中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等用语，仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
如图1至3所示，本实用新型设计的一种曝光机用升降对位装置，其具体包括：一个升降机构和一个平面运动的对位机构(图中未标示)，升降机构位于对位机构的下方，由升降机构带动对位机构上下运动，从而使对位机构处于不同高度的位置，完成对位动作。
其中，升降机构包括传动部分和减重部分。传动部分是由伺服电机1通过同步带轮2驱动丝杠3上的滚珠花键4上下直线运动，滚珠花键4固定插接在下固定板5上，丝杠3的顶端与上固定板6固定连接，以此使得上固定板6能够相对下固定板5上下运动。同时滚珠花键4确保了上下直线运动的精度，并且不会回转。减重部分包括多个配重气缸7，配重气缸7的缸筒固定插接在下固定板5上，配重气缸7的活塞杆顶端与上固定板6固定连接，当升降机构上升时，配重气缸7充气，当升降机构下降时，配重气缸7排气，通过配重气缸7平衡传动部分的重力，增加升降机构的响应速度。
配重气缸7优选设置有四个，且四个配重气缸7以丝杠3为中心对称布置，四个配重气缸7的气路并联连接液压控制阀，该液压控制阀与0.5-0.6MPa的气源相连接。四个配重气缸7的气动设计如图4所示，当升降机构上升时，气缸7充气，当机构下降时，气缸7排气，通过气缸7平衡传动部分的重力，增加升降机构的响应速度。
升降机构还包括插固在下固定板5上的直线轴承8及与直线轴承8配合的导杆9，导杆9的一端与上固定板6固定连接，另一端与直线轴承8活动连接，直线轴承8与导杆9的配合能够增强结构的稳定性。
上固定板6的上方设置有对接板10，对位机构安装在上固定板6和对接板10之间，由对位机构带动对接板10同步运动，对接板10用于贴合相接于基板底面。对位机构包括四组在同一平面上能够沿两个垂直方向滑动并且旋转的滑台，由三个电机通过丝杠驱动滑台中的两组在一定范围内运动，以达到控制对接板10运动的目的，从而实现对位动作。
为了便于与基板对接，在对接板10的顶面还设置有两条对称的基板卡槽11，基板卡槽11与基板底面上的凸扣相对应连接，使得对位机构能够带动基板运动，实现对位动作。
本实用新型的工作原理为：升降机构的传动部分由伺服电机1通过一对传动比为5：3的同步带轮2带动丝杠3上的滚珠花键4上下运动，以此使得上固定板6能够相对下固定板5上下直线运动，对位机构随着上固定板6处于不同高度位置，此时对位机构上的对接板10就可以与不同高度的基板底面紧密贴合，实现基板与底片的对位动作。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简介修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
Claims (7)
1.一种曝光机用升降对位装置，其特征在于，包括：升降机构及设于升降机构上平面运动的对位机构，所述升降机构包括传动部分和减重部分；所述传动部分由伺服电机(1)通过同步带轮(2)驱动丝杠(3)上的滚珠花键(4)上下运动，所述滚珠花键固定插接在下固定板(5)上，所述丝杠顶端与上固定板(6)固定连接；所述减重部分包括至少一个配重气缸(7)，所述配重气缸的缸筒固定插接在下固定板上，配重气缸的活塞杆顶端与上固定板固定连接。
2.根据权利要求1所述的曝光机用升降对位装置，其特征在于，所述上固定板(6)上方设有对接板(10)，所述对位机构设于上固定板和对接板之间，对位机构包括四组同一平面上能够沿两个垂直方向滑动并且能旋转的滑台，由三个电机通过丝杠驱动滑台中的两组带动对接板同步平面运动。
3.根据权利要求1所述的曝光机用升降对位装置，其特征在于，所述对接板(10)顶面设有用于配合连接基板底面的基板卡槽(11)。
4.根据权利要求1或3所述的曝光机用升降对位装置，其特征在于，所述升降机构还包括插固在下固定板(5)上的直线轴承(8)以及与直线轴承配合的导杆(9)，所述导杆一端与上固定板(6)固定连接，另一端与直线轴承活动连接。
5.根据权利要求1或3所述的曝光机用升降对位装置，其特征在于，所述同步带轮(2)的传动比为5：3。
6.根据权利要求1或3所述的曝光机用升降对位装置，其特征在于，所述配重气缸(7)为四个，且四个配重气缸以丝杠(3)为中心对称布置，四个配重气缸的气路并联连接液压控制阀。
7.根据权利要求6所述的曝光机用升降对位装置，其特征在于，所述液压控制阀与0.5-0.6MPa的气源相连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201521129413.6U CN205353575U (zh) | 2015-12-30 | 2015-12-30 | 一种曝光机用升降对位装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201521129413.6U CN205353575U (zh) | 2015-12-30 | 2015-12-30 | 一种曝光机用升降对位装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205353575U true CN205353575U (zh) | 2016-06-29 |
Family
ID=56172326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201521129413.6U Expired - Fee Related CN205353575U (zh) | 2015-12-30 | 2015-12-30 | 一种曝光机用升降对位装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205353575U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114911143A (zh) * | 2022-07-18 | 2022-08-16 | 苏州中特微电子科技有限公司 | 一种基于滚珠花键的旋转升降对位的装置 |
-
2015
- 2015-12-30 CN CN201521129413.6U patent/CN205353575U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114911143A (zh) * | 2022-07-18 | 2022-08-16 | 苏州中特微电子科技有限公司 | 一种基于滚珠花键的旋转升降对位的装置 |
| CN114911143B (zh) * | 2022-07-18 | 2022-10-18 | 苏州中特微电子科技有限公司 | 一种基于滚珠花键的旋转升降对位的装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105607428B (zh) | 一种自动曝光机机构 | |
| CN204222510U (zh) | 一种自动上下料的精雕机 | |
| CN104875514A (zh) | 一种丝网印刷机的网印方法及丝网印刷机 | |
| CN203266824U (zh) | 一种木料钻孔机 | |
| CN204148087U (zh) | 精密四轴全自动点胶机 | |
| CN208560915U (zh) | 一种用于激光打标的移载装置 | |
| CN205416915U (zh) | 一种多头五轴平面摆头雕刻机 | |
| CN105023869B (zh) | 半自动对准机 | |
| CN205353575U (zh) | 一种曝光机用升降对位装置 | |
| CN208948293U (zh) | 一种纸箱用滚筒提升平台机 | |
| CN203611546U (zh) | 固定式四柱型网版印刷装置 | |
| CN205232590U (zh) | 适合线路板精密替换加工的ccd对位装置 | |
| CN105538890A (zh) | 卷料自动对位的丝网印刷系统 | |
| CN203780045U (zh) | 一种居中定位装置 | |
| CN206087621U (zh) | 一种方形盒多面转角贴标机 | |
| CN204994098U (zh) | 一种半自动阻焊对位机构 | |
| CN211971025U (zh) | 一种视觉定位传输机 | |
| CN104553368A (zh) | 一种彩色3d打印机载物台升降装置 | |
| CN203719629U (zh) | 大行程影像测量仪的主体结构 | |
| CN203497789U (zh) | 芯片上料机 | |
| CN208746951U (zh) | 一种复合运动对位平台 | |
| CN203580465U (zh) | 雕刻机雕刻头移动定位装置 | |
| CN207841776U (zh) | 一种十字开槽机 | |
| CN105938301B (zh) | 一种升降机构以及移动对位模组 | |
| CN206663964U (zh) | 一种丝网印刷快速装夹治具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 518000 Guangdong city of Shenzhen province Baoan District Fuyong Street Bridge Road red Tianfu science and Technology Park Building second C Zone Third Patentee after: Shenzhen R & D Industrial Technology Co., Ltd. Address before: 518000 Guangdong city of Shenzhen province Baoan District Fuyong Street Bridge Road red Tianfu science and Technology Park Building second C Zone Third Patentee before: Shenzhen Sun-fubao Electronics Co., Ltd. |
|
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160629 Termination date: 20191230 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |